Устройство для измерения перемещений

О П И С А Н И Е р 560133ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Санз Ссветскнх Сакчалистичвских(51) Ч. Кл.- С 018 11/О ЯВИ 1 ъ исоединение 1,суларственнын комитет вета Министров СССР(53) УДК 531.7151088,8) по делам изобретений крыт сания 04.0 Г.пуоликовапия о Дат(72) Авторы изобретения И. И, Гиржман и Л. Я. Густь 1) ЗаявительГР 1 т" 111=,1 т 11 14 ЛЯ 4 З 1 т 1 ЕРЕ 4) УСТРОЙ(. ЦСЛЬ ИЗООРСТСПП 5И 3 М Е Р Е Н И 51,Это достигаетсяустроиство ьведенГель, подВижныи э,подвижным зсркалжнем,11 а чертекс изосхема прсдлааемо расширение диапазона едлагасмосрсооразова 01 О связан слььь, .т .р ТСМ, ЧТО В П емкостноисмент котом и пзмсрп. бражсна принципиальнаяго устроЙства.до Изобретение относится к ооластп измсрительнои техники и предназначено для аосо- ЛЮТНЫХ и ОТНОСИТЕ;1 ЬНЫХ ТОЧНЫХ ИЗЛСРЕПИП линсиных пер смсщепии и длин различных О ОЬСК ГОВ.1 ЗВсстс дВ 5 хлучсвой кон Гактный иптсрфс- РОМСТР С НТа,ООм Ч 520 ИЕРО ДЛя 10 ВЕр 1 СП микроных индикаторов, микрокаторов и т, д., 2 Габкс дл измсрепи 51 с высокоЙ тоность 10 длины до 2 - 3 мм,гсдосгаком д 2 нноО уст 50 иств 2 явл 51 с 1 ся огранпчеНыи диапазон измерения.21005 СС ОЗЗКИ: ТСХНИЧССКПМ РСЩСНИСМ 1 изООрс 1 снпю 51 Влястс 51 двухлсвои конта 1 Г- пый нптсррер 05 стр, В которыи д,я ОпрсдслсНИ 51 ЦСЛОГО ЧИСЛа ИПТСРфЕРСНЦИОПНЫХ ПОЛОС Ввсдспа дОГ 10 лнительная Опт 1 чсск 5 Система.ОДпако это устроиство имеет Ог 021 П 1 сины ДИаПазон ИЗМСРСППЯ И ВОЗМОжПОСТЬ ОПРСДС.1 С- ппя лишь дпскрстно 0 зп 2 чени 51 псрс.сщсппй. Осовпьмп агсз 1 спта.и усГ 501СЯ ПНТЕРРЕРОЗСТР С СПСТСЗ 011120,110 ДСН 151 11 нСРфсРсп 410 н 110 ПСМ осПОИ рсоора О 2 ТС,Ь.чи се.а)1 схем , с Грспстьа пос ГРОспа и 1 ба с многол 5 чс о;о нг;рфсроь сра аорп 1 срО, 11 чдк лчсь ВВ 1.,О 51 ции 113 пстднп 102 1, Прохо,1, КО, СнсатОр ", ди ПраЗ3 и ВЬ;- ХОДП Г 13 00 Ьсг,1 нва - араЛЛС.иным.ОС.1 С ОО ЬСК Гнва ПУЧОК Лу 1 СП ПрПЗХОП д НанраВГ 1 ЯС 1- С 5 На и 1 еорсрспц 1011 ЬС зсока.2 О и . 1 Ос сркал п ч,Гт 01 с р - ;1 П Ч П Ы М Ч П С. 1 О Х О Т Р 2 52 СИ И и а П Р а В Л и 10 Т С 51 П ОВорогпоп иОизмоп 8 В ЗрптсгИ 1 уО тро) 9, В 110.1 с 3 РспЯ котОРОП тао 11 Одастс 5 1 п ГсИ 13 СРснцпонная картин 1.13 1 сритс;1 ьпь 1; 01 сржспь 10 жсс 1 ко св 1 зап с подвпжпыь акрапо1 смкостпого п 5000- зазовасля, алекроды 2 и 3 к 010 рого подвиж 10 устаповлсны В к 0 ОпусесГро 1 стВН,измерите,ьпыз стеркием жсс Гко связано пакпсс зеркало О ппгсрфсромсгра. 2 сим Ооразом перс.1 сщснпс изхСрпгсльпоО стержня Прнводит К ОдГоврСМСШоа; ПЗМ,НСПШО фективно ДЛ 1 ны систсзы а.скгродовС 1 НОО ПРСООРазоваГСЛ 51 И Раее 051 НИ 51 ХсжДУ Зврна;1231 ПН 1 срфсрОХстра. 5 рсзуаьтатс На выходе устропсгьа рс Пс трир стс 1 одповрсхсино изменение смкост претор,зов;тсля и пз:Сненис пптсрфсренцпонно 1 1 артпны. 113 зснепие емкости определяют с помогцыо моста переменного тока, а изменение пнтерфепенционной картины фиксируют либо визуально, либо с помощью фотоэлектрической системы.Связь с подвижным объектом осуществляете помощью наконечника 14, который зан через пьезокерамический элемент 15 с измерительным стержнем 10. Это необкодимо для осуществления дополнптсльнык плавнык перемещений измерительного стержня с цслью получения в центре поля зрения максимума интерференционной полосы, т. е. для получения расстояния между зеркалами интерфсрометра, кратного целому числу интерференционны полос.Работает устройство поэтапно: определение коэффициента преобразования х емкостного преобразователя; измерение перемещений.Определение коэффициента х емкостного преобразователя сводится к следующему,Наконечник измерительного стержня приводится в контакт с опорной поверкностью, путем плавного перемещения с помощью пьезокерамического элемента получают в поле зрения максимум интерференционной полосы и снимают значение емкости С, преобразователя. Далее задают известное перемещение (например, с помощью эталонной меры длиной У.), снимают отсчет Со, предварительно установив с помогцью пьезокерамического элемента в центре поля зрения максимум ближайшей полосы, и определяют коэффициенто о/: - пф/полосу,огде ЛО - целое число порядка интерференции,которое определяют пз соотношениягдс е - дробная часть;Х - длина волны излучения применяемого источника света. После того как определен коэффициентпреобразования, производят непосредственноизмерение перемещений.Измерительный стержень устанавливают в 5 псюдное положение, плавным перемещениемс помощью пьезокерамического элемента 15добиваются получения максимума ближайшейполосы и по устройству для измерения емкости снимают первый отсчет Сь 1 о Затем перемещают стержень на измеряемоерасстояние / и по устройству для измеренияемкости снимают второй отсчет С.Определяют приращение емкости ЛС=/.отбрасывая дробную часть е.Далее дополнительным смещением стержня эо устанавливают в центре поля зрения интерферометра максимум бликайшей полосы и определяют дробную часть полосыВеличина перемещений определяется изформулы/ = (Ло я,) )./2,ЗОФормула изобретенияУстройство для измерения перемещений, со,- держащее систему освещения с монохроматическим источником света, подвижное и неподвижное интерференционные зеркала, измерительный стержень, блок наблюдения интерференционной картины и блок определения .1 о целой части порядка интерференции, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, в него введен емкостной преобразователь, подвижный элемент которого связан с подвижным зеркалом и измернпгсльным стержнем,560133 Составитель А. Подобрянский Текред М. Семенов Корректор Л. Брахннна Редактор О. Юрко аказ 1392/3 Подписи ов СССР ииография, пр. Сапунова. 2 1 Г 7,7 Изд Лз 498 1 И 11 П 11 Госуларсгвешнно комизета по делам изобретений 113035, Москва, )К-ЗЗ, Раун