Датчик регистрации угловых перемещений объекта по муаровым полосам

(11)ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республикрисосднцсццсм заявк 1 Государственный номитвСаввтв Министров СССРпо делам изобретенийи открытийублнковацо 30.10,75. Бюг)лего;1, Ле 40 та опубликования описания 06.08,76 2) Ав) Оры изобрсгси И. 3. Семенов, Ф. М. Герасимо Ю, М1) Заявитель 51) ДАТЧИК РЕГИСТРАЦИИ УГЛОВЪХ ПЕРЕМЕЩЕНИ ОБЪЕКТА ПО МУАРОВЫМ ПОЛОСАМисточника 1 светл, к)цдснсорл 2 и диафрагмы,3, полупрозрачное цоворотнос зеркало 4, когли)п 1 ионн) О лцн:) О, д) Гп 1 к 6), сос 105 щий пз дву.; фазовых радиальных дцфракционнык решеток, первая из которых (решетка 7) выполцсца прозрачной, л вторая (решетка 8) - отражательной. Штри.;и 9, 10 решеток выполнены с симметричным, например с трсугол- цым профилем. Рдсцоложсццс цТри.;ов цд Од цой решетке рддц;пы 1 о-центральное, дьторой -- р ддц д)пно-цс центр лг)ьцос, ц ч;стцости по кслтсгьн 1.1 к Окржцостц р 1.Стц)Я)9.Яд Д =.т илмстрд где в- цена интсрфсрснциоцной полосы (муаровой);)( - радиус нарезанной чдстц;Н - размеры поля зрения; О л - доля полосы в поле зренияром О.РснСтки 7, 8 ) становлсцы в:лииО ц)риле,пн) и сопряжены рдбйчии новсрхност 51)и.Одна цз решеток закреплена нсподвцжцо,втор)я связана с Обтскто)1, уГ,1 Овос цсрс.Сц)с.1 ис 1(оторОГО цодгСжцт 1 ззе)Сц 1 ю. Ддтч 1 ксодержит также В 1.:Одцу 10 д 1 яфрлГму 1 1фотоцрцемццк 12 систсз 1 ь 1 измерения перемещения муаровы.; полос (вместо электронной из- О мсрцтслыой систлы используют нсцосрсдр;зм с Изобрстсцс От 10 с 1 тс 51 к Оолясти измерительной техники и предназначено для регистрации углои и( перемещений рдзличнык объектов в любык интервалах.Известны датчики для измерения угловык перемещений в широком диапазоне с помощью муаровых полос, содержащие две амплитудные радиалыцс дифракционные решетки, штрихи которы.; представляют собой прозрдчныс ц цсцрозрачньс ,частки с равными или близкими но значению угловыми цостояц 1 ясно;Ожснис штриховцентральным илц радиально-нецснтральцым (возможна комбинация этик вариантов), При параллельном сопряжении таких решеток получаются муаровые полосы.Целью изобретения является повышение чувствительности датчика, точности регистрации и уменьшение гаоаритов,Поставленная цель достигается тем, что радиальные дифракционные решетки выполнены фазовыми с симметричным профилем штрихов, например треугольным, цри этом одна из решеток выполнена прозрачной, а вторая отряжатс.1 ьной, соотношение постоя н 1 ы. которых равно 1:2, д расстояние между решетками составляет от 1 до 3 мм.Ия ертекс покязяця схема предляГясз 10 ГО датчика регистрации уггОвык перемещений.Датчик содержит осветитель, состоящий из Г, Н. Рассу 1 тов 1, А. И. МалышевБалясниковк1С 15(ИПОС 1)И) сЛЬИОС ИЯГ 1 О;ссппс И(РС)1(Ис(ПИЙ и и г с) р (1) с р с п 13 и О и п ь ; м ) я э О в ь ; и 0 Ос ) .ДсзтсИС РЯООтает СЛСДУЮЩИМ ОС)Рс)ЗОМ, 11 ри Осси(спин дифраксиопп:1 к рснстк 7, СС 1.Л) 1(ПИ(.)1Г ИСТОЧИИК 1 С 15 СТЯ 5 И(1 Л( 5 р. пп) 155 ника 101 л 1 уар 0151 с п10(1 5 91 с кс)п(СИрп 1 С(К 1 К К 0,1 СС.:)1 И ИО,0(.Ы 00 Эс)З,01(5 5 ) С.:3),1 Ь ГЯ ТС 11 Т(.) фСР(,1 11 11 с 1 Т,)1.; с 1: 3 Э С 1 ( - 10 К. В ДЯИНО С.(СМЕ ИСПОЛЬЗ СГС 51 ТОГСО И)- ,1 Е 50 Й РС;5 Т 1 ТИРОЦИ 1 ПОР 51 ДОК, 1 ЯК КЯК ДИС срс:я изменяется вдоль пТрик(15, что прспят- СТВСТ ПЭИМСИСИИ 0 ДР)ГИ:; )СЛУГ 1 ТИ 1 ОП(33.С СПЕКТрс)ЛЬИЬ;:10 р 51 дК 013. 11)И ПОВОрОТС ОС)1 ЕКТЯ 3.ССГс С СОО 15 СТСТ 3 ОЩС 1 ЭСПП.ТКОП 1".)ОИС.,С)ДГ ПСРСМСЩЕИИС МУ)РОББЭ; ИОЛОС В РЯДИиПОЗ Ис)11 Рс 11)г(.ПИ 1, ИЭИ ЗГ 01 ПОВОРОТ П 1 СТКИ Пс) 15 С,1 ИЧИПУ, РЯВН 10 ПОГ 1031 НС. ПОСТ 05 П 1. иой прозрачной рсшсси соответствует полк- ЛСНИЮ ГРОКОжДСНИЯ ОДНОЙ ПОЛОС В ПОЛС:;)ЭСИИ 51, Т. С.с)Где :,5, п с(,г, иост 051 И 1 ы( иэ:)эаИЙ 3 01 ряжятельпой решеток. 1 римснснис (1)язо)ь 1:с радиальнык рсшетс)к ДЯСТ ВОЗМОЖПОСТЬ РСПОГ 1 ЬЗОВс)ТЬ ПЭИ 1." ИЗ 10- тоьлсиии существующую тс:снологию нарезан 51 ди(1)расциспИыс э(.н)с 1 с)1, ООссис.ч 1 аоп)уО Бозмо)кность погучения мг)ы.с пост 051 ии 1; до 4 пэи дис)метре 44 ."1) ИГ 1 И .э ири дис 1- мстрс 90 мм и т, 1,),"(ИьГ(И 1 С 1 ЯЯ ): 5),5 1: Н,),Я 1Р; 1"ЧССКИ ОСМЦССС ГБИЬ РсР Г,;)С Не5: )СС 11 1;лем (В пределгк Зс)0) (эсз д(эпс),с;.гель 5 ОчТИ 1 ССКИ. ПЭИС 50 СС)О) 1)П 1:И, ТГ),)с ")К Ь (. 1) Ь) Ь;5 НГ 1 П 1)сдпьК репС Г(51 ПС 5:(.И 5:)К:5:5ПН 1),1,К ЯК И 5;И 5)1 Л, И(ИО, ЬССя ", , С;,;1) )1 с489936 63 Ц 111 П Изл. ЛЪ 19201 Гостларствеаного по лелач изоо 11,3035, Москва,;К ТРк Полписиокочитета Совета .Л 1 ииистров ГСГРетений и откр,тио, Раюска иа,:1. 4 о Зяка Ла МОТ, Загорска фили; . Составитель А. Иванов ликтор Т, Рыоалова Текред Ч. Сеченов Корректор 3. Тарасов;