Установка для климатических испытаний полупроводниковых приборов

ОП ИКАНИЕИЗОБРЕТЕЙ ИЯ й АВТОееСХОМУ СВИДВе ЕЛЬт".е ВУ Союз Советсиик Социалистических Республик(и) 534811 61) Дополнительное к авт. свидву 22) Заявлено 06.01.75(21) 2093044/2рисоединеиием заявки ММ, Кл,еН 01 Ь 21/б си осударстоеиный комит Совете Мннистроо ССС па делом иэооретеняйи открытий(1) Заявител УСТАНОВКА ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРмере,дклкрдля перемещения спутников в ка е контактное устройство для по приборов к измерителю,остатки этой установки заключаютсячто испытании приборов возможны в плоских спутниках, транспортноееет малую емкость, и, как ысокую проиэводительностьв становка имеет значительные эмери, что приводит к неэкоользованию производственных низмченияНе устройство им следствие, нев Кроме того, у; плоттйдей. Цель иэобр дительности устан киии и еконоиэводственных мру омия пр дей. Дли этого рабочая ка Биде Образующих Замкнут:вертикальнык раэновысок 2 О якицего их наклонного о;агрудщное устройство с ет установлено в обьем рснованием и отсеками ра Установка обеспечива 25 ортировиу трвивиоторовера выполнена в ый объем двух их отсеков и соед тсека, при этом приемником каообра зованном бочей камеры, ет бестарную треи других полупр 45) Дата опубликования аписа Изобретение относится к установкам, ио1пользуемым в полупроводниковом производ-стве, Оно может быть применено для клима;тических испытаний готовых полупроводииковых приборов при одновременном измерении их электрических параметров,Известна установка для климатическихиспытаний гранзисторов, содержащая основание, рабочую камеру с установленным вней накопи тельно-транспортным устройством, авыполненным в виде неподвижного цилиндрас винтовой нарезкой и барабана с продольными пазами 1,Недостатками известной установки являротся ее сложность и невысокая производигельностьвНаиболее близким техническим решениемк предложенному является установка дляклиматических испытаний полупроводниковыхприборов, содержащая основание, рабочуюкамеру, устройство для питания камеры иопытуемыми приборами, уложенными в технологические спутники, механизм подачиспутников в линейное транспортное устройство, которое имеет направляющие и меха нияувеличение произвоки, упрощение ее конст3водниковых приборов. Увеличение ее произ водительности достигается за счет увеличения емкости транспОтной системь 4На чертеже показана предложенная усмяковка в разрезе,Установка для климатических испытанийсодержит основание 1, вертикальные отсеки 12,3 рабочей камеры и наклонный отсек 4,И объеме, образованном основанием и отсе- щкателями рабочей камеры, установлено загруьеочное устройство 5 (иа чертеже показаноусловно), включающее. кассету, многоканальмую точку с анкерным механизмом и досылателем. В основании 1 расположены вентиблятор 6, воздухавод 7, пневмоцилиндры 8и 9 и разбраковщик приборов 10,Вертикальные и наклонный отсеки вмеоте с воздуховодом 7 образуют замкнутыйКонтур, в котором создан микроклимат для 20испытуемых приборов,;В этом контуре размещена транспортно-накопительная системавключающая неподвижные стенки 11 и 12 с,полками 13, подвижные стенки 14 и 15 сполками 16, системутолкателей, состоя- фщую из рам 17 2 О р приводами 21-24 икронютейнами 25, а также иэ досылателей26-29, Полки 13 и 16 представляют собой планки с пазами, размер которых состветствует размеру выводов приборов. Кронштейны 25 рам 1 ч и 18 выполнены ввиде планок о выемкой, форма которой соответствует корпусу транзистора, что позволяет транзисторам сохранять ориентациюот начала транспортировки до позиции конЗЬтактирования с групповым подключающимустройством ЗО, Лоток 31 предназначендля вывода транзисторов из камеры в раэбраковщик 10,Установка для климатических испьпений40работает следующим образом. Из эагрузочного устройства 5 транзисторы по одному:с помощью анкерното механизма под действием собственного веса подаются на ниж 4нюю полку подвижной стенки 14, а досыла 1тель 27 обеспечивает их точное положениена ней,:Затем подвижная стенка 14 пере-мещается вверх на шаг пневмоцилиндром 8,а рама 17 передвигает транзисторы на пы-4ку 13 неподвижной стенки 11. После этогс ,подвижная стенка 14 опускается в исходное положение, рама 18 сдвигает транзио- :,торы с полки 13 стенки 11 на полки 16 ;стеикн 14. Таким образом, цикл за циклом тпанэисторы поднимаются выше, НепрерывГо поступая из кассеты загрузочного устойства б, транзисторы накапливаются в от.еке 2 рабочей камеры по высоте. При доо ижении верхней полки подвижной стенки 14 транзисторы додылателем 29 сдвигаются втечку наклонного отсека 4 и, двигаясь под 1 действием собственного веса, достигают верхней полки 16 подвижной стенки 15, подле чего начинается перемещение их вниз, На нижней полке неподвижной стенки 12 осуществляется контактирование транзистор ров в устройстве ЗО, После измерения электрических параметров транзисторы переходят на нижнюю полку подвижной стенки 15, откуда досылателем 26 смещаются в лоток 31, а из него йопадают в раэбраковщик 10,Формула изобретенияУстановка для климатических испытанийполупроводниковых приборов, содержащая:в ней накопительно-транспортным устройством, загрузочное и разгрузочное устройства,о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности установки, упрощения ее конструкции и экономиипроизводственных площадей, рабочая камеравыполнена в виде образующих замкнутыйобъем двух вертикальных разновысоких отсеков и соединяющего ик наклонного отсека,при этом загрузочное устройство усмновдено в объеме, образованном основанием иотсеками рабочей камеры.Источники информации, принятые во внемание при экспертизе:1. Оборудование для производства полупроводниковых диодов и триодов, под редакцией П. Н, Масленникова, "Энергияф, М1970 стр. 145,2"Электронная промышленность," % 10,1973, стр, 75 (прототип),Составитель Ю, ЦветковРедактор Т, с)рловгкан Техред А, Богдан Корректор А. Х 1 лкид 1Лак( з ),) 1 7/5 1 Тираж 962 Подписное 13Г суд 1 рственного коглитета Совета Минисг он СО по делам изобретений и огклиги