Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей

ВОЕСОЮВНав О Л -Ф"АМ"И Е И ЗОБРЕТЕ И ИЯ Союз Советскихтоциалисти чески иРеспублик(45) Дата опубликования Оиисания 05,07,76 сГосударственный комитет Совета Мнинстров СССР по делам изобретений и открытии(72) Авторы изобретения Лтпенградский институт точной лссзха.п 1 ки и оптики(4 11 Г ГФ 10 Е:Т 1 Д,(1 Я 1;О 1 ГРОЛЯ Ф 01,л 11 1(1 СХ,;1,Х 10 ЛИ 10 ВА 1 Ь 1 Х0 Й 1;Р 0 СТ.Й Изобретение относится к измерительнойТЕХНИКЕ, ПРЕДНОЗНаЧОНсо ДЛЯ КОНТРОЛЯ ППОСкостностц оптических деталей и может найтц прилсененце НЕзи зготовл 11 иц Высокоточных плоских поверхностей деталей,Известен цнтерферометр для контроля формы плоских полцГ 1 ован 1 п.сх иоперхе 1 сгстсзй, содержашцй точечный источник света, сферическое зеркало, плоское Гзркало, блок анализа изображения точечного источника света 11,Наиболее близким к данному изобретениюявляеЕся интерферометр для контроля формыплоских поверхностей, соетержащий источниксвета, конденсор, диафрагму, плоские зеркала, вогнутое зеркало, клиновидную эталонную пластину, гцнзовую двухкомпонентную наблюдательную систему Е 21. В этоминтерферометре используются зеркала малых размеров, вьшолненные в виде призмы,которая наклеивается на клиновидную эталонную пластину, что усложняет настройкуприбора, кроме гого, известный интерферометр не обеспечивает достаточной точности ттзмерений. ЕЕОл 1,1, изобрс тония явля еся ун 1 зоее 1 пцс.настРО Йк ц ц ЛОЕ)ы 11 ни ГО 111 ос.т 11 конгг 1 О 11 Я,Для этот с предлагаелн 1 й ннтерфромтрснабжен понско 1 зой системой, ыполнеч 1 гой5 в виде. сферического зеркала, рг 1 сио 11 оженн 01 О мсзжду БОГ 1 тутел 1 зеркалолс ц набл 1 с 1-фдатель 1 ГОЙ системой такр что Ого вор 111 цн 1 гаяточка совмегдена с автоколлцмапиош 1 ымизображ 11 исл. дцафраглть 1, а лтсежду 111 снзоО выл 111 колспоннталсц наблюдательной стист- лгы Ломсцены две призмы Довс 1 ак чтоих глав 1 ты сечения ц отража 1 оедце граниперпендикулярны друг другу, а осц базцрова 11 ия параллель 1 сь 1 друг друту ц оптической5 оси сцст.лты,На фпг. 1 представлена схма предла 1 аемого цнтерферометра; на фиг, 2 - е 1 с 1 блюдательная система.Интерферометр содержит источник 1 свс 20 та, расположенные по ходу луча копдечсорИЗ дВуХ ЛИЧЗ 2,3, СВЕтофИЛЬТЗ 4, дцаф 1 Л 1- му 5, плоское зеркапо 6, вогнут;, 1 Г,1 сапо 7 (внеосевой парабсолоид(, к 1 н 111 О 11 ил 1 г есэталонную пластину 8, сферичеСкое зрк,1 Ю ло 9, двухкомпонентную наб 11 юдатеГЕьтгсистему 10 матовое стекло 11, две призмы 12, 13 Дове в лулу 14;Нить источника 1 света проецируют двух 1 комлонентным конденсором , 2 3 в плоскость диафрагмы 5 с увеличением пятью.В параллельном пучке устанавливают светофильтр 4, свет от диафрагмы 5, находящей-, ся в фокальной плоскости внеосевого парабоддоида 7, попадает на плоское зеркало 6, веосевой парабоплоид 7 и далее парал лельным пучком падает на клиновидную эталонную пластину 8, нижняя поверхность которой является образцовой. Интерферендионные пучки (от образцовой поверхности плас тины 8 и контролируемой поверхности детали 15) возврашаются назад на.параболлоид 7 и, вследствие небольшого смешения входной диафрагмы 5 с оптической оси нарабол/ ланда (смещаются прибди;.нтельно на 30 не- сколько в старо. у) попадая нд центральнуючасть сф:рического зеркала 9, обраэукт на его поверхности изображение 5 диафрагмы 5, которое снова наблюдательной системой 10 переносится в следующую плоскость, давая изображение 5, Вблизи этой плоскости наиходится глю наблюдателя.Сферическая отражающая поверхность зеркала О выполняет роль оптического элемены (коллектива), пригибающего. все отражаю:.:;не:я от него наклонные лучи к оптической . ос, Это амого прощает и ускоряет поиск адтокоддимационного блика от контродируе,;й поверхности детали 15 при настройке прибора. В отличие от известного интерферометра 2 . наклон детали 15 даже. на угол в несколько градусов не вносит ника ких затруднений в поиск блика и его выведение иа ось. Если же перед выходным зрачком 5 системы поставить матовое стекло 11 с отверстием посередине (как у автоколпимациоиной трубки Забелина), то начальное положение контролируемой поверхности может быть произвольным, т.к. на матовом стек.-е всегда будет виден бдик, указываю иий направление и величину угла рм:согласзвчия сравниваемых поверхностей.На фиг. 1 показан ход лучей при произвольной установке контролируемой детали.Рри укаэанном рвтогла.ования (непаралдедьности) эталонной пластины 8 и контра флируемой детали 15, блик 5 находится в стороне от оси и виден на матовом стекле 11.Наклоняя юстировочными винтами столика контролируемую деталь 15, выводят1 блик 5 на.оптическую ось 00. Это положение обеспечивает согласование поверхностей эталонной пластины 8 и детали 15, Ф е. появляется интерференционная картина первьц порядков которая и оценивается оператором. С целью повышения точности измерения между компонентами проекционной системы 10 помещены две призмы Па-. ве, делящие попе зрения на две половины. При установке этях призм в положение, когда их главные сечения и отражающие грани перпендикулярны друг другу, а визирные оси параллельны друг другу и оптической оси системы, наблюдается наложение друг на друга обоих частейноля зрения. Это дает возможность удвоить. значение прогиба поФормула изобретоенияИнтерферометр для контроляфорин пдоских иолировакных поверхностей, содержащий расположенные последовательо источник света, конденсор, диаФрагму, плоскоезеркало, вогнутое зеркало, кдиовидило эталонную пластину, линзовую двухкомдонент-.ную наблюдательную систему, о т д и ч аю ш я й с я тем что, с целью у;рощециянастройки и повышении точности контроли,он снабжен поисковой систе. ой выполненной в виде сферического зеркала расподоженного между вогнутым зеркалом и наблюдательной системой так, что его вершинная точка совмещена с автокодлимационнь:мф иэображением диафрагю 4, а ежду г.индовыми компонентами наблюдательой системы помещены две призмы Дове так, что ихглавные сечения и отражающие грачи.перпендикулярны друг другу, д оси визировдфитяфф параллельны другдругу и оптической оисистемы.Источники информации,принятые во внимание при эксиергизе:1. Захарьевский А. И. Интерф.реестры,йф Оборонгнз 1956 г.2. Техническое описание интерс остраПК-А 52,Составитель В. ГордкоеТехред А. Богдан корректор И, Мии 1;1 зетеИеобос 11 р 261 ак сновтров СС Х 11 П.ПИ Госуд г13035,Тираж 864арственного комитета Совепо делам: изобретений и о4 осюа, Ж 335, РаушсканПодл а Мии 1 крытий аб., д