Способ измерения вакуума

р 514374 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Со 1 оз Советских СоциалистическихРеспублик ТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬС ч.(б 1) Дополнительное к авт. св 11 д-ву 22) Заявлено 04.06.73 ( 25095/10 21/3 7 псоединением заявки че Сосу парствеичый комитета Мынистров СССРевам изобретений(23) Приорит убликовано 15.05.76. Бюллетень М 18 53) 31.78 й 088.8) открытий Дата опубликования описания 22.11.7 б) Авторь 1 изобретения орнейчук и В. В. Свиридовецкий завод Эльта 1) Заявитель 54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМ сти измерения приборах, нание относится к облэлектровакуумныхктронно-лучевых труспособ измерениярение ионного токаи том же значеничение тока утечки вреохордом.(ами этого способастабилизации элекфункционалыые воая надекность изме вакуума, в копроизводится и электронного цепи анода завляются ропного т можности рения. ка, поДля расширения функциональных возможностей и повышения надежности изме 11 снпя вакуума в элсктровакуумных приборах, как в готовом приборе, так и в процессе его вакуумной обработки, когда катод не актпвпрован и его ток эмиссии не может быть стябилизирован, предлагается способ, по которому после измерения электронного тока анода и фиксации тока утечки с помощью запоминающего устройства одновременно усиливают нестабилизированный электронный ток и пропорциональный ему ионный ток за вычетом поправки вводимой запоминающим устройством, автоматически логарифмируют эти сигналы, измеряют разность логарифмов усиленных сигналов и по полученной разности судят о всличине вакуума. К К - коэффициент пр определяемый ко трон;1 о-оптической 1, - ионный ток анода 1. - электронный токэффицпспт усиления ПОДООР 1 ПЫ Г 11 К Опоя.11 Оп,л 11 Ос и, 1 стру 1 цпсй э:1 с,- системы ЭЛТ, трубки,ато З,д тр " Окгптсл 51 1 и рсзпРбь 1 вы О,п 15 лос 1 где: Ко стор.с. Изобрете вакуума в пример, элеИзвестен тором изме при одном тока, а зна поминается1.1 едостат ходимость что сужает соба, и мал На чертеже представлена принцип 151электрическая сыма, поясняющая р ацию предложен ого способа.Схема состоит 1 з усилителя 1 постоянного 5 тока типа модуляция-дсмодуляц 1 я, балапспого усилителя 2, выполненного пд двойном триоде, запомпна 1 ощего конденсатора 3 и коммутиручощего ретс 4. В :,атоды триод; вкл 001 ы диоды Д и Д, между которымп пр:1 помощи 10 коммутирующего реле 4 ьключдст;я пзмсрптель 5. Усилитель 1 выполнен на вдрпкд:1 дх,соп 70 тпвлс:1 пс50 мом.Через пзмерительньш резистор Я 1 1 Вход 1)протекает поп 1 ьш ток щ 1 одд э.7 сктронпоу 1 свой (ЭЛТ) трубки, Чс 1 осз рсзп тор Ро (Вход 2) протекает электронный ток кдодд электронно-лучевой трубки 1 Вакуум в электронно-лучевой трубке опрсдсляся формулой: 20(2) и 1 е где: 0 р, - падение напряжения на резисторе Й 4,пропорциональное току 1;,Он, - падение напряжения на резисторе Рщ от протекающего тока 1 еПоказания измерителя 5 определяются формулой:К, и = К(Цо, - Ь,) (3)где: Кгр - коэффициент градуировки измерителя 5, Уп 1/и, - напряжения на диодах й и Осоответственно. Напряжение на диодах.О, иОопределяется формулой:Уд= 1 п 1+1 3где: 1 - ток, протекающий через диод В или1121, - обратный ток насыщения,- коэффициент пропорциональности,Из выражений (2, 3, 4) видно, что показания измерителя 5 прямо пропорциональны отношеюнию - , и его шкала линейная.еТогда, исходя из выражения (1), шкалу измерителя 5 можно непосредственно градуировать в единицах давления (мм рт, ст.)Терморезистор Л 8 предназначен для компенсации влияния температуры на вольтамперные характеристики диодов й 4 и 0. Резистор Р предназначен для предварительной установки нуля балансного усилителя 2.Для компенсации утечки и дрейфа нуля измерительного тракта в схеме имеется запоминающий конденсатор 3 с незначительным током утечки. Процесс измерения происходит следующим образом; в исходном состоянии реле 4 обесточено, и на модулятор ЭЛТ через контакт 4 Р подается запирающее напряжение. В цепи резистора Я 40 электронный ток катода трубки отсутствует, в цепи резистора Р, протекает только ток утечки анода трубки, Конденсатор 3 заряжается до напряжения, которое определяется величиной тока утечки анода трубки и дрейфом нуля измерительной схемы.Кнопкой б включается реле 4, контакты 1 Р, 2 Р5 и 3 Р переключаются, и ЭЛТ открывается.Через резистор Я 4 протекает ионный ток анода трубки, а через резистор Р 40 электронный ток катода трубки. Конденсатор 3 через резисторы Я и Р разряжается на вход усили теля 1, в результате чего компенсируется токутечки анода трубки и корректируется нуль измерительной схемы. Показания измерителя 5 будут прямо пропорциональны отношению в .15еРазряд конденсатора 3 происходит черезочень большое сопротивление, поэтому в течение времени измерения ток разряда можно считать постоянным.20формула изобретенияСпособ измерения вакуума в электровакуум ных приборах, например электронно-лучевыхтрубках, основанный на измерении ионного тока, возникающего в результате ионизации молекул газа стабилизированным электронным током, при котором процесс измерения автомаЗ 0 тически разбивают на два этапа, причем напервом этапе измеряют электронный ток анода и фиксируют ток утечки с помощью запоминающего устройства, а на втором этапе измеряют ионный ток коллектора за вычетом З 5 поправки, автоматически вводимой запоминающим устройством, о тл и ч а ю щи й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения надежности измерения, на втором этапе измерения одновременно уси ливают нестабилизированный электронный токи пропорциональный ему ионный ток за вычетом поправки, вводимой запоминающим устройством, автоматически логарифмируют эти сигналы, измеряют разность логарифмов уси ленных сигналов и по полученной разности судят о величине вакуума.514374 Составитель О. Полевктор С. Хейфиц Техред Е. Подурушина Корректор Т. Добровольска 23524ЦНИИП одписн в СС ипография, пр. Сапунова, 2 Изд,1623Государственного комитет по делам изобретений 3035, Москва, Ж, Рау Тираж 963Совета Министоткрытийкая наб., д. 4/5