Проектор

,)ф .фи чмк.- " 46 И 2-2 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 11,05.73с присоединением (23) Приоритет - Опубликовано 15,02.75 918206/18-10 киГасударственный камит Совета Министров ССС па делам иэааретений и открытий(54) П РО Е КТО Изобретение относится к оптико-механической промышленноспи.Известны проекторы, например, для контроля технологических операций сборки больших интегральных схем и полупроводниковых приборов, содержащие осветитель, светоделительный элемент и два оптических канала, проецирующих изображения объектов на просветлый эзраи.В предлагаемом проекторе повышена точность сборки интегральных схем благодаря тому, что один из оптических каналов расположен по другую сторону установленного с возможностью перемещения вдоль оптической оси экрана, на котором выполнены отражательные участки, форма которых соответствует контуру,наблюдаемых объектов.На фиг, 1 и 2 показана схема описываемого проектора, содержащего два проекционных канала (фиг. 1), один из которых включает в,себя полупрозрачное зеркало 1, объектив 2, призму Наше 3, осветитель 4, зеркало 5, ахроматическую линзу 6, зеркало 7, окулятор 8, призму 9 и экран 10.Второй проекционный канал включает в себя зеркало 11, окуляр 12, призму 13, ахроматическую линзу 14, призму 15, осветитель 16, призму Наше 17, механизм 18 фокусировочного перемещения объектива с объективом 19, Оба канала расположены по разные стороны экрана 10, так что проецируют изображение навстречу друг другу, а их оптические оси составляют заминутый контур.Полупрозрачное зеркало 1 и экран 10 являются общими для обоих проекциовных каналов. Объективы 2 и 19 вьаполнены с возможностью фокусировочного перемещения с помощью мехаиизма 18. Зкран 10 может перемещаться вдоль оптической оси для,регули О ровки масштаба увеличения.Проектор работает следующим образом.Объективов 2 первого проекционного кимвала через полупрозрачное зеркало 1 совместно с ахроматической линзой 6 проецирует поверх ность кристалла 20 в предметную плоскостьокулятора 8 и далее на экран 10. Экранов 10 (фиг. 2) содержит просветную зону А и отражательные зоны Б. На просветной части экрана 10 изображение кристалла не просматм ривается, а на отражательных зонах Б изображение 1 аристалла с контактными площадками видно отчстливо, Ориентирование кристалла производится относительно знаков, нанесеяных на отражательных участках экра на 10 (на фиг. 2 показаны пунктирной линиОбьоктив 19 (фиг, 1) второго проекционного канала проецирует изображение поверхности корпуса 21 интегральной схемы, на коза торой расположены контактные площадки460522 12 3совместно с ахроматической линзой 14 и окуляром 12 на эиран 10 (фиг. 2).Изображение ковтактных площадок корпуса будет видно только на просветной части А экрана 10, Ориентация корпуса 21,осуществляется вписываниом изображений контаквных площадок в специальные знаки (показаны пунктиром), выполненные на просветной части эирана 10. Изображение кристалла 19 на проовевной части экрана при большом расстоянии между плоскостями кристалла и корпуса не будет видно. Отражательные участки Б экрана 10 могут иметь самую различную конфигурацию, в зависимости от форыы наблюдаемых объектсв, увеличения каналов и алгоритма ориентацви. Отражательные участки выполняот путем напыления в вакууме алюминия или другого металла,на матовую поверхность экрана. При необходимости от 4ражательные участки могут быть выполнены полупрозрачными или подвижными ва плоскости экрана. 5 Предмет изобретения Проектор, например, для контроля сборкипнтегралвных схем, содержащий осветитель, светоделительный элемент и два оптических 10 канала, проецирующих изображения объектовна прооветный экран, отличаощийся тем, что, с целью повышения точности сборки, один из оптических каналов расположен по другую сторону установлевного с возможностью пере мещения вдоль оптической оси экрана, на котором вьпюлнены отражательные участки, форма которых соответствует контуру наблюдаемых объектов.Коррект Аук Заказ2557ЦНИИПИ Подписи ров С ОТ, Загорский филиал Изд,1090осударственного комитетапо делам изобретений иМосква, Ж, Раушская Тираж 5овета Миноткрытий,наб., д. 4/5