Устройство для скрайбирования if полупроводниковых пластин

4 В 78 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(61) Зависимое от авт. свидетельства -22) Заявлено 06.04.7 1) 1645841/26 л. Н 011 7/68 с присоединением заявки-Государственный комитет СЪвета Министров СССР ао делам изобретений и открытий, 72) Авторы изобретени 71) Заявитель СКРАЙБИРОВАНИЯВЫХ ПЛАСТИН 54) УСТРОИСТВО Д " ПОЛУЙРОВОДНИ на ти Изобретение относится к области производства; полупровод 1 тиковых приборов и предназначено, в частности, для резки пластин на кристаллы.Известен станок для скрайбирования полупроводниковых пластин, с помощью которого резка пластин на кристаллы осуществляется нанесением посредством алмазного резца сетки рисок на поверхности пластины.Однако известный станок обладает рядом недостатков. Во-первых, он имеет низкую производительность вследствие ограниченной .ско. рости рабочего хода режущего инструмента. Увеличение скорости рабочего хода в известном станке ограничено наличием инерционных сил, возникающих при возвратно-поступательном движении каретки с резцом. Эти инерци онные силы приводят к перегрузкам.в узлах трения. Во-вторыхв известном станке наблюдаются сколы и разрушения на поверхности скрайбированных рисок, что также объясняется ограниченной скоростью резания.Целью настоящего изобретения является устранение перечисленных недостатков, а именно разработка такого устройства, кото- рое позволило бы увелйчить производительность и повысить качество скрайбирования.. Поставленная цель достигается тем, что привод рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела,а привод холостого хода выполнен в виде цепной передачи с захватами для фиксации крайних положений каретки, причем упомянутая каретка свободно установлена на направляющих и не связана во время рабочего хода с приводом холостого хода.На фиг. 1 показан общий вид устройства; фиг. 2 - взаимодействие узлов на кинемаческой схеме.10 На станине 1 установлен механизм пневмовыстрела, содержащий пневмоцилиндр 2, пор-.шень 3 с закрепленным на нем толкателем (ударником) 4 и устройство взвода, состоящее из кулачка б и тяги б, соединенной с поршнем 1 б 3 Кулачок 5 с пневмораспределительным устройством 7 установлен на валу 8 и кинемати-.чески связан с механизмом перемещения 9, который имеет столик 10 для закрепления полупроводниковой пластины 11, Каретка 12, сна ряженная резцом 13, подпружиненным с помощью пружины 14, перемещается по направляющим 1 б, которые оснащены демйферным устройством 1 б. Привод холостого хода состоит из цепнойпередачи 17 с захватами 18 и ки нематически связан с механизмом 9 перемещения пластины.Устройство работает следующим образом.Обрабатываемая полупроводниковая пластина 11 закрепляется (например, мастикой) З 0 на столике 10. Поршень 3 посредством тяги413б, кулачка б и вала 8 выводится в крайнееле-, вое положение. Привод холостого хода, управляемый валом 8, выводит каретку 12 с помощью одного из захватов 18 также в левое крайнее положение; при этом захват 18 отжимает резец 18, в результате чего при холостом ходе резец не касается поверхности полупроводниковой пластины 11. При повороте вала 8 на определенный угол пневмораспределительное устройство 7 подает сжатый воздух (давлением порядка 4 - 6 кг/слР) из магистрали в левую полость пневмоцилиндра 2, После достижения необходимого давления в цилиндре 2 поступление сжатого воздуха прекращается, и кулачок б освобождает тягу б, в результате чего происходит пневмовыстрел, При этом тол. катель 4 ударяет по каретке 12, которая с большой скоростью перемещается по направ. ляющим 1 б вправо, и резец 13, поджатый пружиной 14, производит царапание полупроводниковой пластины 11. Скорость каретки 12 после нанесения царапины гасится демпферным устройством 1 б, При крайнем правом положении каретки 12 механизм перемещения пластины осуществляет подачу столика 10 с пластиной 11 на заданный шаг, а полость ра 57584бочего давления пневмоцилиндра 2 соединяется с атмосферой посредством пневмораспреде-лительного устройства 7. Затем цикл повторяется,5 Таким образом, каретка во время рабочегохода перемещается с большой скоростью и осуществляет скрайбирование пластины. При этом достигаются высокая производительность и повышение качества скрайбирования.оПредмет изобретеничУстройство для скрайбирования полупро.водниковых пластин, содержащее каретку с 15 закрепленным режущим инструментом, приводы рабочего и холостого хода инструмента, кинематически связанные с механизмом перемещения пластины, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности, привод о рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела, а привод холостого хода содеркит цепную передачу с захватами для фиксации крайних положений .каретки, причем каретка, свободно установлен ная на направляющих, не связана во времярабочего хода с приводом холостого хода.415758 Составитечь Н. Островская Техред Т. Ускова Корректор А. Васильева Редактор Б, Нанкина Подписное Загорская типография Заказ 3069 Изд Жо 1301 Тираж 760ЦНИИПИ Государственного комитета Совега Министров СССРпо делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5