Колытин

Номер патента: 415758

Опубликовано: 15.02.1974

Авторы: Колытин, Комиссаров, Кучеров, Новак, Тригуб, Шаталов

МПК: H01L 21/00

Метки: пластин, полупроводниковых, скрайбирования

...7 установлен на валу 8 и кинемати-.чески связан с механизмом перемещения 9, который имеет столик 10 для закрепления полупроводниковой пластины 11, Каретка 12, сна ряженная резцом 13, подпружиненным с помощью пружины 14, перемещается по направляющим 1 б, которые оснащены демйферным устройством 1 б. Привод холостого хода состоит из цепнойпередачи 17 с захватами 18 и ки нематически связан с механизмом 9 перемещения пластины.Устройство работает следующим образом.Обрабатываемая полупроводниковая пластина 11 закрепляется (например, мастикой) З 0 на столике 10. Поршень 3 посредством тяги413б, кулачка б и вала 8 выводится в крайнееле-, вое положение. Привод холостого хода, управляемый валом 8, выводит каретку 12 с помощью одного из захватов...