Полупроводниковый тензодатчик

Номер патента: 401291

Авторы: Жадько, Романов, Сердега

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(45) Дата опубликования опнсання 05,09.77 2(51) М. Кл,Н 01 Ь 41/ ооуаарстеонныи комитетСомта Ииииотроо СССРио долам изобретоиийи открытий 3) УДК 621.382(72) Авторы изобретения В, А. Романов, И. ПЖадько и Б. К.,Сер 3) Заявитель нститут полупроводников АН Украинской ССР 54) ТЕНЗОДАТЧИ Изобретенйе относится к датчикам механических и акустических давлений и может быть использовано в качестве преобразователя последвих в щтектрические сигналы,Известны пювупроводниковые тензорезисторы, содержащие брусок или пленку иэ германии, кремния или других полупроводниковых материалов с двумя токовыми, электроПринцип действия полупроводниковых тенэоО резисторов основан на эффекте пьеэосопротивления, который, как правило, сильно анизотропен. Анизотропия пьезосопргтивления в полупроводниках обусловлена сложной структурой их энергетических эон. Криствллогрв фическая ориентация бруска или пленки, из которых затем изготавливают тенэорезистор, обычно такова, что деформирующее усилие прикладывают в направлении максимального значения коэффициента пьеэосопротивленитп .20 направление электрического тока обычно совладает с направлением деформации. Вследствие этого ток и электрическое поле в таком бруске или пленке коллинеарны. В частности, для тензореэисторов, наготовленных нз гер мании те- или- типа и кремния- типа, мвксимапьный тенэозффект достигается,когда направление деформации н тока совпадает с крнсталлографическим направлением111, а для кремния 1- типа - с 100,Для преобразования механической деформации в соответствующее изменение электрического сигнала, тензореэисторы обычно используются как активные элементы потенциометрических (в) или мостовых (б) схем. Тензопреобразователем фактически, является твеэорезнстор в совокупности с одной иэ указанных схем,Величина изменения падения напряжения нв тензорезнсторе в первом случае (а) или величина раэбаланса моста во втором случае (б) служит мерой деформации,Зависимость выходного. сигнала для схем обоих типов от величины относительного изменения сопротивления активного элемента а 3 в общем случае нелинейна, что особенно заметно при больших деформациях и соответственно болыцих ЬЯЯ, достигающих 20- 30% для полупроводниковых тензорезисторовСоставитель А. КотТехред3. Фанта:,Корректор С, Патрушева Редактор И, Груэова Заказ 2830/46 Тираж 976 Подписное БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП фПатентф, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 4012да равна ЩЯно Ща любых его температурах.Температурная зависимость) твнэочувстви. тельности такаа же, как и у тензодатчикапрототипа, выполненного иэ материала с таким же, как и у предлагаемого датчика удельным сопротивлением,Датчик работает в режиме) постоянного приложенного напряжения, поэтому КПД его выше, чем у твнзодатчика-прототипа. Так как сам по себе датчик является генератором напряжения, величина его полного сопротивления не существенна, а величина выходного сопротивления важна люпь для цели согласования с усилительным устройся вом, если таковое должно быть использова" но, и, вообще говоря, некритична.Предлагаемый тензодатчик может быть выполнен на основе монокристаллической полупроводниковой пленки.ф ормула изобретения Тенэодатчик на основе полупроводниковой пластины, ориентированной под углом к глав ным кристалл ографическим направлениям, с двумя, токовыми контактами, о т л и ч а в щ и й с я тем, что с целью линеариэации его характиристик и темпваатурной их стабилизации, полупроводниковая пластина снабжена двумя дополнительными боковыми электродами, являющимися эквипотенциальными в отсутствий деформации.

Смотреть

Заявка

1675684, 06.06.1971

ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН УКРАИНСКОЙ ССР

РОМАНОВ В. А, ЖАДЬКО И. П, СЕРДЕГА Б. К

МПК / Метки

МПК: H01L 41/10

Метки: полупроводниковый, тензодатчик

Опубликовано: 05.08.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-401291-poluprovodnikovyjj-tenzodatchik.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Полупроводниковый тензодатчик</a>

Похожие патенты