Способ изготовления электролюминесцеитных

364127 Союз Советских Социалистических РеспубликТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬ С ависимое от авт. свидетельства.Ч, Кл. Н ОаЬ 33/1 явлено 11.Ч,1970 ( 14присоединением заявки 52/26-25) Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Мииистрое СССРтет УДК 621.385(088.8) бликовано 25.Х 11,1972, Бюллетень,е а 1973 ата опубликования описания 12.11.19 Авторызобретения, Антипов, О, А. Изумрудов, Н. П. Лазарева и Г. ельев енинградский электротехнический институт им, В. И, УльяноЗаявител ИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХНДИ КАТОРОВ ОТОВ ПОСО И ров, и ван н толщи рый и сона зо Изобретение относится к технологии изгоовления электролюминесцентных индикатовестныи способ изготовления ицдикатоьеющих полутоновое изображение, осноа использовании профилированного по е электролюминесцентного слоя, котоолучают с помощью специального пуанОднако при использовании известного способа нарушается электрическая прочность электролюминесцентного слоя; кроме того, примеььяемый при этом пуансон сложен в изготовлении.Цель изобретения - упрощение технологии изготовления электролюминесцентных индикаторов со сложной конфигурацией и оражения, а также обеспечение возможности получения сложного полутонового изображения.Для этого в качестве материала внутренцего диэлектрического трафарета, располагаемого между электролюминесцентным слоем и непрозрачным электродом, используют пленку из прозрачного электроизоляционного лака, а требуемое изображение получают путем фотохимической обработки лаковой пленки в определенных режимах и последовательности.Применение предлагаемого спо б озволяет изготовлять электрогиоминесцентные ццдикаторы с высокой степецью сложности изображения и с полутоновым изображением. Существенным преимуществом индикаторов, изготовленных по предлагаемому способу, является маскировка изображения в выключенном состоянии. Кроме того, электролюминесцентные слои таких индикаторов могут быть использованы многократно.На чертеже изображен электролюминесцентный индикатор, изготовленный по предлагаемому способу.1 Лндикатор содержит стеклянную подложку 1, прозрачцыц электрод 2, электролюмьшесцентный слой 3 (порошковый электролюминофор в диэлектрическоц связке), диэлектрический трафарет 4 (плецка электроизоляционного лака), металлический непрозрачный электрод 5,Электролюминесцентные индикаторы со сложной конфигурацией изображения изготовляют в следующей последовательности.На стеклянной подложке 1 с прозрачным электродом 2 любым из известных способов получают электролюминесцентный слой 3. Затем поверх электролюминесцентного слоя методом пульверцзации или полива наносят сплошной слой электроизоляционного лака. Получившуюся после сушки лаковую пленку 4 покрывают слоем роторезыста, которьшподвергают фотохимической обработке по любой известной методике (например, после засвечивания через фототрафарет проявчяют изображение в теплой воде, после чего отпечаток зядуоливс 1 ют хиъ иескиы и термнческпм путем). Целью фотох 1 ческой обработки является получение поверх лаковой п.чецки за 1 цитного слоя фоторезиста ца участках индикатора, которые не должны светиться. После этого удаляют лакову 1 о пленку на участках, це покрьпых защитным слоем фоторезиста, путем растворения ее в органическом растворителе. При этом подбирают такой растворитель, который растворяет только лаковую пленку и це растворяет фоторезист и электролюминесцентное покрытие (наприхер, если в качестве связуюгцего диэлектрика использовать эпоксидную смолу, а диэлектрический трафарет изготовить из п,ченки цитролака, то в этом случае в качестве растворителя можно использовать ацетон или изоамиловый эфир уксусной кислоты). Последней операцией является панесецпе сплошного металлического электрода б, например, путем термического испареция в вакууме.Если на такой индикатор подать переменное напряжение, то ца участках, где нет лака, к электролюминесцентному слою оно приложено полностью, а в местах, покрытых лаковой пленкой, на электролюминесцентный слой действует напряжениеЕ,д Гф, - Е.,11 где Г и сГ - диэлектрическая проницаемость и толщина электролюминесцентного слоя соответственно;Е, и с, - диэлектрическая проницаемость и толщина лакового слоя.Если выорать толщину пленки лака и ця- ПРЯжЕНИЕ ПИТЯНИЯ ТЯК, ЧТО ЬУ оп пор ГДЕ Уэп пор - ПороГОВОЕ ЫЯПРЯЖЕНИЕ СВЕЧЕНИЯ электролюмипофора, то будут светиться только те участки индикатора, где нет лака.Применение в качестве диэлектрического трафарета тонкой лаковой пленки, расположенной поверх электролюминесцентного слоя, и использование фотохимического метода ооработки трафарета позволяет получить электролюмицесцептцые индикаторы со с.чожной конфигурацией изображения при минимальном расстоянии между соседними светящимися участками 0,2 мм.Из выражения для У видно, что если изготовить диэлектрический трафарет с переменной толщиной, то можно получить полутоновое изображение. Для этого на участка.". индикатора, которые должны светиться, лаковую пленку удаляют не полностью, оставляя пленку определенной толщины, обеспечивающей желаемую яркость свечения того или нного участка индикатора. Диэлектрический трафарет переменной толщины можно получить, если растворять лаковую пленку через слой фоторезиста, частично растворп.,;ого и проницаемого для растворителя. Извест 1 о, что расч 1 воримссть с.чся фоторезиста и его проницаемость для растворителя зависят от времени и5 интенсивности засветки, а также от режимовзадублнва;ия. Чем больше время и интенсивность засветки, тем лучше защитные свойствафоторезиста. Если засвечивать фоторезист через негативный полутоновый трафарет, то10 можно подобрать такие режимы засветки изадубливация, что растворимость и проницаемость для растворителя слоя фоторезиста будут пропорциональны оптической плотностифоторезиста. При растворении лаковой плен 15 ки через такой слой фоторезиста можно получить диэлектрический трафарет переменнойтолщины,Для придания оольшей прочности слоофоторезиста, осооеш о слабо засвеченным его20 участкам, засветку можно производить в дваэтапа,Сначала производят засветку через негативный полутоновый трафарет, а затем черезфототрафарет, представляющий собой нега 25 тивцое изображение мелкоструктурной сетки(использовался сетчатый фототрафарет с размером ячейки 0,5,1, при толшице линий0,1 .1,), Суммарпдое время засветки выбираютравным времени, необходимому для получеЗ 0 ния нерастворимого фоторезиста на участкахминимальной оптической плотности фототрафаретов. При этом время засветки через сетчатый фототрафарет берут много меньшим,чем через полутоновый фототрафарет (прибЗ 5 лнзительно в два разя).Во всех разновидностях способа изготовления индикаторов необходимо обеспечитьравномерное растворение лаковой пленки. Например, этого можно добиться, если раство 40 рение производить путем равномерного смачивания растворителем слоя фильтровальнойбумаги, который накладывают поверх лаковой пленки с фоторезистом.Если использовать в качестве материала15 диэлектрического трафарета электроизоляционный лак, пленка которого прозрачна (например, нитролак), то можно обеспечить маскировку изображения индикатора в выключенном состоянии (оставшийся поверх лако 50 вой пленки слой фоторезиста, имеющий послезадубливания коричневый цвет, может бытьудален химическим путем).При применении предлагаемого метода изготовления индикаторов электролюминесцецт 55 цые слои могут быть использованы многократно, Для этого диэлектрический трафаретсмывают растворителем, а участки непрозрачного электрода, нанесенные непосредственнона электролюминесцентный слой (в местах от 60 верстий в диэлектрическом трафарете), удаляют путем обработки травителем. Пред м ет и зооретенияСпособ изготовления электролюминесцентТираж 404 Подписноеытпй при Совете Министров СССРнаб., д. 4/5 Изд.1058елам изобретений и оМосква, Ж, Раушск Заказ 2/271ЦНИИПИ Комитета п ип. Харьк. фил. пред. Патент ных индикаторов с фиксированным изображением, образованным диэлектрическим трафаретом на поверхности электролюминесцентного слоя, отличающийся тем, что, с целью получения полутонового изображения, диэлектрический трафарет формируют путем диффузии растворителя через пористый слой фоторезпста, полученный экспонирозанием требуемого негативного изображения.5