Инверсный магнетронный манометр

35956 ОП ИСАЙЙЕИ ЗОБРЕТЕ Н ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сооз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства-аявлено 20,Ч 11.1971 ( 1686795/18-10 011 21/3 М с присоединением за иКомитет оо делам зооретений и открытий оои Совете Министров СССРПриоритет -Опубликовано 21.Х 1.1972. БюллетеДата опубликования описания 15.Х 531,788.7. Смирнов и И. Заявител ВЕРСНЪЙ МАГНЕТРОННЫЙ МАНОМЕТР Изюбр(етение опноеится к области (в(акуумо(мецрии, в частности (к ма(гнитны(м электроразрядным ма(номет(рам и(иверано-магнетронного тапа.Из(весвны(е внв(ерсные м(апнетронны(е (манометры, содержавцне н(олый цилиндр(ический катюд, закрытый с торцюв юрышками, с центральными опв(е(рстияхьи, стержнев(о(й анюд, р,азмещ(евный,по оюи ка(тода, (и м(агн(ит, обла; дают рядом н(ед(остатков.(Нижвий пре(дел давлен(ий, измеря(емых ма(гноитными эл(6 кпрора(зряд(ным(и маном(етра. ми, от 1 ранич(ен труди(остью (в(оэн(июновени(я и поддержания разряда при низких давлениях. Дл(я за(жвгания (и п(одде(р(ж(аНи(я ра(зр(яда, а также для обеспе(чения,высо(к(ой ч(ув(ств(вттельности нео(бх(оди(мы (б,ольш,и(е (размеры разряд(ного промежутка и большое анодное на(пряжени(е с х )2,5 кв,При;высююих давлениях для,иоклю(чения возм(очности,перера(атания ра(зр(яда в дуговой, умен(ьшения катодНого раопылевия, а также уменыш(е(ния,до(щности, выделяемюи в ма(ном(етреи вотцнос пи,и(сто 1 чн(и(ка пита(нация анодного напря(жен(ия в цепь аиода включается (балластно(е соп(р(отивл(ение, которое ограничивает ток,в ц(е(п(и измерен(и(я в(ел(ич(иной Уб,:не превышакхтцей нескольких милл(иампе(р. Это приво(дит к тому, что с,ростом да(вл(Они(я (р(акр(ядн(ый ток манометра (п(ер(естает (и(зм(еняться, когда ето вел(иввна стан(о(в(ится соизмеримой стоком 1, . Поэтому дл(я рас(ширен(ия обласвв измерен(ия в сторону болеее высоких давд(еви(й н(еобходимю, чтобы Ь чувствительность мано(метр а (прои высокихдавлениях была как можно меньш(е. Для этого (необход(имы небольшие,размеры разрядного,п(ромежутка и мал(ое аноди(ое напряж(ени(е с А (2, 5 кв, чтю (проти(вор(ечит услов(вям, 1 о нео(бх(од(имых для (и(змерения визк(и(х да(вле(ни(й.(Поэтому (нижн(и(й (пред(ел да(влвн(ий, пз(м(еЪЯ(ЕМ Ы Х М аН О М СтР(а М(И, П Р(ЕДН а З(Н ЗЧ(ЕН Н Ы МВДЛЯ измерения высоких давл(ен(ий, л(еокит в облас;- ти 10 -- 10-мм. рт, ст.,При, и(зм(ераен(иив более (ши(р(оком д(иапазоне давлен(ий нер(еклкхч а(ют р(ежи(м ан(о(д(н(ого питави(я высокое напряжеви(е при низюих дав(лен(вях, малое нап(ряж(ен 1 ие пр(и (высоких да(вл(ени(ях) и(ли созда 2 о ют конструюц(ии с двумя разор(яд(ным п(ромехкуткам( большего и мень(шло размера. Это у(сл(ожНяет (блок(в пита(вия, пр(ивод(ит к,ошибкам иза(ерезания (из-за,перех(одиных процессо(в ,при переключении р(еиимов,питавия, зат(руд няет прим(ен(еНи(е таких мано(метр(ов в автоматизет(роваНных вакуумных сиотемах( усложняет конструкцию манометра, делает невоспрюиз(водимыми его характе(р(истистпосле раз(борки и сборки эл(ектродн(ой сист(емы из-за Зо трудности фксаци( элетспродов отноеи(тельйо друг друга и отвосительно мапнипного поля.Для расапирения ра(бочего диапазона измеряемых давлений, повышения точностями:иупрощения,конструкциии в предлагаемом инверсном мапнепровнам манометре катод выполнен в виде полого цилиндрического магвита, а крышии - в виде полюоных яакокечнииов из мапнитомягкого мапервала:и образуют,вместе,мапнипную оиспему манометра,Катод для исключония утечек между анодом е катодом может быть изолирован откорпуса маяометра,На фиг. 1:изображена схема маномепра;на фиг. 2 - график зависимости разрядноготока 1 от давления Р.Элекпродная сиспема манаметра содержиткатод 1 и аиод 2. Катод 1 представляет собойполый цилиндрическвй мапнет, выполвенный,например, из сплава ЮНДК - 24 Т 2, закрытыйс тюрцов полюсными наконечниками Зизготовленнымя из мапниэомягкого матервала,например, из сплова армю, Полюоные вакояе внвии д удерживаются на мапните (катоде 1) мапнищным припяжением и могут сниматься с мапнита,. Анод 2 представляет собой стержень, проходящий по оси,катода 1через опверспия,в полюоных наконечниках дкатода. Для присоединения к вакуумномуобъему элекпроды смонпированы на фланце 4,имеютем два ввода на иаоляторах 5.Одии из вводов является одновременноспержяевьгм аиодом 2, другой ввод б служитвводом катода 1,и соединяепся с кольцом 7,к копорояу с помощью кожуха 8 ирепится каТОд 1. Для доПОЛнит Ол ьн оГо киьп ЛОния кол ь 4ца 7 могут,быть использованы дополниаельные изолящоры 9 с глумими Божками 10.Рабочий режим рабаты манометра может быть следующям:напряженке ва аиоде Ул =2,5 кв;,катод, соедиыенный с уоилителем постояяного тока, находится под нулевым потенциалом;напр яженно сть мапнищнопо поля Н =106 Оэ.Под дейотввем переоекающихоя мапнипного и элекпрвчеекого,полей в маяометре возникаеп газовый разряд, По величине разрядвого тока судят о давлениии газа (см. Фиг, 2).Ианометр мажино легко разобр ать для чисти)и элекПродов. Для этого снимают кожух 8, а полюсные наконечниии 3 отсоедивяютоя от цилиндрического магнита. При, оборке элекпродов положение катода 1 относителыно аиода 2 фикоируется с помощью посадочнопо места на кольцове 7 Пр едм ет и 3 о бретен ия25Инвероный мапнетронный маноме пр, оодержааций цидиндричесиий катод, закрытый с торцов крышками с центральньвми о 1 пверстиями, и сщржневой аиод, размецценный .по оси ЗО катода, отличающийся тем, что, с целью расширения,рабочего диапазона повышенея точности и упрощения конспрукции, в нем катод выполнен в виде полого циливдрлческого мапнпла, а крышии - в виде полюаных накоз 5 нечдиков из магнитомягкого мапериала и образуют вместе мапнипную сиспему манометра.0-5 т. ст. 10 70 70 70 10 10 10 ХО 10.1 а Составитель О. Полеведактор С. Хейфиц Техред Л. Богданова Корректоры Л. Чуркина и Е, Михее Загорская типография Заказ 6666 Изд.1774 Тираж 406ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовеМосква, Ж-Зо, Раушская наб., д. 4/6 Подп испо Министров СССР