Патенты с меткой «евко»

Номер патента: 289147

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Голованов, Кириллов, Луки, Петров, Чужко

МПК: C23C 16/08

Метки: евко, захаров, институт, ленделеева, наздзгдвд-и, р.и, ссср, физической, химии, э.и

...предварительно очи. щают от окислов путем их восстдиовлсиия в потоке чистого водорода, скорость которого 15 с,цсек, при температуре 800 в 12 С 1 течение 30 дган. Лля полсипя моиокристдллически.( покрытий исобходимо предотвратить гомогенное протекдиис реакции. Это достигается поддержанием определенного соотиошеиия между водородом и гсксдфторидом водьфрама, а имсгшо 3 - 6. 11 ачдльиос парцидльиос давлсиие гсксафторида вольфрама поддери(ивдкг 1 0,03 ат,ц, д водорода 0,09, Сииж 1 ют парилы 10 с Д 2 влсиис либО разбаВлеиием редкциоииой смеси инертным газом - аргоиом, гелием, либо разрежением. Скорость потока компонентов от 15 до 100 с,ц,.сек, время пребывдиия в реакционной камере 0,1 - -1 сск. Гсксдфторид вольфрама предвари.тельно...