Интерференционный компаратор для определения

и та"т".л".руОПИСАНЙЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихоциалистическиРеспублик ависимое от авт. свидетельства1384327 25-28 ПК т.х 01 Ь 9 Заявлено 12.Х 11.19 присоединением заявкиПриорит Комитет по делам аобретеиий и открытий при Совете Министров СССРУДК 531,715.1(088,8 1. Бюллетень М исания 8 Ч 1.197 убликовано 21.1 Ч.19 Дата опубликования Автор зобретения М. Кандел аявител ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ КОМПАРАТОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С ПАРАЛЛЕЛЪНЪМИ ЛИНИЯМИ ИЗМЕРЕНИЯсов1 -1 л - воде 1 - тол щ и - пока пласт г - угол Р - расст руем раже ке отпластины, п еломления мате иа затель р р ла ины, падения луча на пластину,ояние между осями контролиой меры и пучка лучей света, отнного от укрепленного на каретражателя. Известен интерференционный комп аратор для определения линейных перемещений с параллельными линиями измерения, содержащий осветительное устройство с монохроматическим источником света, светоделительный блок, установленный на пути светового луча, каретку с устройством для наблюдения, например микроскопом, перемещаемую вдоль линий измерения, интерференционные отражатели, один из которых укреплен на каретке, и электронный счетчик интерференционных полос.В известном компараторе компараторная погрешность исключена применением коррекционной системы, позволяющей вручную наклонять установленные на каретке микроскоп и интерференционный отражатель при помощи системы рычагов на угол, равный углу наклона каретки, Следовательно, оператор вынужден вручную восстанавливать положение микроскопа и интерференционного отражателя относительно контролируемой меры,Таким образом, недостатками известного компаратора являются низкая производительность, невозможность автоматизации измере. ний и невысокая точность коррекции, вызванная утомляемостью оператора.Предлагаемый компаратор отличается от известного тем, что он снабжен плоскопараллельной прозрачной пластиной, укрепленной на каретке наклонно к направлению ее пермещения и имеющей толщину, равную Такое выполнение компаратора обеспечивает повышение производительности и точности определения коррекции.20 На чертеже показана принципиальная схема предлагаемого компаратора.Компаратор содержит осветительное устройство 1, состоящее из источника 2 монохроматического света, конденсатора т, щели 4 и 25 объектива б, светоделительный блок б, каретку 7 с устройством для наблюдения, например фотоэлектрическим микроскопом 8, неподвижный интерференционный отражатель 9, интерференционный отражатель 10, укрепленный на Зо каретке, плоскопараллельную прозрачнуюЛ= 21 з 1 п 1 1 При указанной выше толщине пластины Л = Л, т, е. при наклонах каретки происходит непрерывная автоматическая компенсация компараторной погрешности за счет изменения оптической плотности в одном из плеч интерферометра. пластину 11, вспомогательное зеркало 12, объектив 1 З и электронный счетчик 14 интерференционных полос.Предлагаемый компаратор работает следующим образом.Осветительное устройство 1 дает параллельный пучок лучей, разделяющийся на блоке б. Часть лучей, проходящая блок, направляется зеркалом 12 через пластину 11 на укрепленный на каретке 7 отражатель 10. Объектив И создает изображение интерференционной картины. При измерении контролируемого объекта, например штриховой меры 15, микроскоп В, отражатель 10 и пластина 11 вместе с кареткой 7 перемещаются относительно неподвижной меры 15.При перемещении каретки 7 световой поток интерференционной картины модулирует на фотоприемниках электронного счетчика 14 электрические сигналы, регистрируемые указанным счетчиком, Величина перемещения каХретки 1 при этом равна 1 = К - , где К - чис 2ло полос, сосчитанных электронным счетчиком, Х - длина волны монохроматического источника света.При перемещении каретки 7 и ее наклонах вследствие непрямолинейности направляющих возникает компараторная погрешность Ь = = й р. Кроме того, наклон каретки вызывает наклон пластины 11, которая вносит в одно из плеч интерферометра добавочную разность хода Л, равную 4Например, для автоматической компенсациикомпараторной погрешности при расстоянии между линиями измерения Я = 30 мм при помощи пластины из стекла Тф - 10, и = 1,8, 5 наклонной под с = 45, толщину ее следуетвзять2.30- 35,7 мм.212 1102 У 3,24 - 0,5Предмет изобретенияИнтерференционный компаратор для опре деления линейных перемещений с параллельными линиями измерения, содержащий осветительное устройство с монохроматическим источником света, светоделительный блок, установленный на пути светового луча, каретку с 20 устройством для наблюдения, например микроскопом, перемещаемую вдоль линий измерения, интерференционные отражатели, один из которых укреплен на каретке, и электронный счетчик интерференционных полос, отличаю икайся тем, что, с целью повышения производительности и точности определения, он снабжен плоскопараллельной прозрачной пластиной, укрепленной на каретке наклонно к направлению ее перемещения и имеющей толщи ну, равную1 и - 81 п с35 где 1 - толщина пластины,и - показатель преломления материалапластины,1 - угол падения луча на пластину,Л - расстояние между осями контроли 40 руемой меры и пучка лучей света, отраженного от укрепленного на каретке отражателя.30 520 бзо корректор Т. А, Абрамова дактор Т. А. Киселе сова каз 1365/8 Изд.614 Тираж 473НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типорафия, пр, Сапунова, 2 Составите Техред Е. Ъ, с ч О