Лазерный интерферометр

.ЫХ 2596 0 ТЕНТНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВедОмстВО сссР (ГОСПАТЕНТ СССР) ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 393113 1 а 1. 1: лви ф(71) Малое государственное предприятие -Научно-производственный центр "СИБИС"(56) Коронкевич В;ПЛенкова: Г.А. Лазерные интерферометры для измерения длины.- Автометрия, 1971, М 1,Коронкевич В;П Ханов В.А, Современные лазерные интерферометры, - Новосибирск: Наука, 1986.. Коронкевич В.П Соболев В.С, О потенциальйой точМости лазерных интерферо. метров. В сборнике . Лазерныеинтерферометры. - Новосибирск: Институтавтоматики и электрометрии СО АН СССР,1978, с.3.(54) ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Иэобрегение относится к измерительной технике, а конкретно к интерференциТехническое решение относится к измерительной технике, а конкретно к оптикофизическим измерениям, и можетиспользоваться для прецизионных измерений линейных перемещений, скорости, ускорения, вибраций, изменений показателейпреломления прозрачных сред и др,Целью изобретения является повышение точности измерения,, На чертеже приведена блок-схема инерометра.Она состоит из лазера 1, Иа пути излучекоторого установлены,четвертьволноонным измерениям, и может использовать.- ся для определения линейных перемещений, а также показателей преломления жидких и газообразных сред. Цель изобретения в . повышение точности измерений, Поляризованный пучок света, проходя через четверть-волновую пластинку, стано-.вится поляризованным по кругу, на поляризационном светоделителе делится надва световых луча, равных по интенсивности и имеющих ортогональные поляризации На поляриэационном светоделителе каждый из возвращенных уголковыми отражателями лучей делится на два с одинаковыми интенсивностями и пары световых пучков, имеющих одинаковую поляризацию, интерферируют, После про- Я хождения поляризаторов интерференционные поля считываются, что позволяет обеспечить высокую точность измерения, 1 ил. вая пластинка 2 и поляриэационныи свето- делитель 3. Измерительное плечо образовано линейной фазовой пластинкой 4 и уголковым отражателем 5, а опорное плечо - линейной фазовой пластинкой 6 и уголковым отражателем 7. На пути отраженных уголковыми отражателями 5 и 7 лучей (на выходе интерферометра) установлены два поляризатора 8 и 9. Лазер 1 выполнен с линеиным поляризаторрм, четвертьволновая пластинка 2 установлена так, что ее оптическая. осьориентирована под углом 45 к плоскости падения светового пучка на светоделитель.Интерферометр работает следующим образом,Коллимированный линейно поляризованный пучок света от лазера 1, проходя через четвертьволновую пластинку 2, становится поляризованным по кругу. На поляризованном светоделителе 2 он делится на два световцх луча, равных по интенсивности и имеющих ортогональные поляризации, В измерительном плече световой луч проходит линейную фаэовую пластинку 4, уголковый отражатель 5 и возвращается обратно к поляризационному светоделителю 3. При этом поляризация также преобразуется иэ линейной в круговую. Аналогичное происходит в опорном плече. Здесь световой луч проходит линейную фазовую пластинку б, уголковый отражатель 7 и возвращается к поляризационному свето- делителю 3. На поляризационном светоделителе каждый иэ возвращенных уголковыми отражателями лучей снова делится на два с одинаковыми интенсивностями и пары световцх пучков, имеющих одинаковую поляризацию, интерферируют. После прохождения поляризаторов 8 и 9 интерференционные поля считываются одним из известных способов.Интенсивйость излучения на выходе лазерного двухлучевого интерферометра типа Майуельсона можно представитьв виде;(ь=ь хч:2 т т соаьа(Ц,где 11 и 1 г - интенсивности интерферирующих первого и второго пучков, р 1) = 2 л 1- ч - ,(. - рааность хода а плечах интер ферометра;А - длина. волны излучения лазера.5 Следуя (3), запишем выражение для минимальной среднеквадратичной ошибки измерения разности хода 1102гдеА= А ==М-1 - отношение максимальной ин 11тенсивности интерферирующих пучков к минимдльнои).Из этого выражения следует, чтоточность измерения фазы интерференционного сигнала зависит от контраста интерференционного сигнала К.25 Ф о р мул а и 3 о б ретен ияЛазерный интерферометр, содержащийлазер, последовательно установленные светоделитель излучения на измерительное и опорное плечи, каждое из которых включает линейную фазовую пластинку и уголковый отражатель и два поляризатора, установленные соответственно на выходе интерферометра, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен четвертьволновой пластинкой, установленной между лазером и светоделителем, выполненным поляризационным, 401825968 Составиель В. Техред М. Мор о Корректор сиз Редакт ула 14 В И Гос ри ГКНТ ССС на, 10 оизводственно-издательский комбинат "Па г. Уж.Га Тираженного ко13035, Мос Подписноеета по изобретениям и открыа, Ж, Раушская наб 4/5