Вакуумный держатель

(54) ВАКУУМНЫЙ (57) Использовани деталей. Вакуумн корпус 1 с боково КжтюдакуБа кууноройнин ц 5 У а го йа. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР% 963639, кл. В 2 ДЕ РЖАТЕЛ Ье: для удержания плоских ый держатель содержитй наружной поверхностью 2 и рабочей плоской поверхностью 3, а также сквозной центральный канал 5 с боковой стенкой 6, На поверхности 3 выполнены сквозной паз 7 и гнезда 9 и 10, каждое из которых содержит дно 11. В дне выполнен канал 12, сообщенный с поверхностью 2 каналом 13 и со стенкой 6 каналом 14. В гнезде 9 размещен гибкий стержень 16, а в гнезде 10 - стержень 15. Одни концы стержней закреплены на дне 11, а другие расположены в положении вылета за поверхность.З, Возможно заглубленное положение стержней в гнездах 9 и 10 относительно поверхности 3 с перекрытием каналов 12. 3 ил.Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для подачи из россыпи на рабочую позицию кристаллов полупроводниковых приборов и других малогабаритных деталей плоской формы из любых жестких материалов, имеющих шероховатость поверхностей до 8=0,012 мкм или благородные легкоповреждаемые покрытия.Целью изобретения является повышение надежности в работе вакуумного держателя,На фиг,1 изображен вакуумный держатель, вид со стороны рабочего торца; на фиг.2 - разрез А-А на фиг, 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 2.Вакуумный держатель содержит корпус 1 с боковой наружной поверхностью 2 и рабочим торцом с плоской поверхностью 3 для контакта с деталью 4 пунктир), выполненный в корпусе центральный питающий канал 5, имеющий цилиндрическую боковую стенку 6. Питающий канал сообщен с рабочей плоской поверхностью и источником вэкуумирования. Рабочая плоская поверхность снабжена пазом 7, имеющим полость 8, сообщенную с боковой наружной поверхностью корпуса и боковой стенкой питающего канала.Рабочая плоская поверхность снабжена также продолговатыми гнездами 9 и 10. Каждое продолговатое гнездо имеет дно 11, в котором выполнен управляющий канал 12, сообщенный каналом 13 с боковой наружной поверхностью корпуса и каналом 14 с боковой стенкой питающего канала.Указанные отверстия несоосны и смещены по длине питающего канала на отрезок а. В продолговатых гнездах размещены гибкие стержни 15 и 16, изготовленные, например, из резины прямоугольного сечения, Конец 17 каждого гибкого стержня закреплен, например, с помощью клея на дне продолговатого гнезда, а конец 18 расположен в положении вылета (удаления) на отрезок б за пределы рабочей плоской поверхности корпуса с возможностью контакта точкой 19 с деталью 20,изображенной пунктиром. Заглубленное в продолговатом гнезде положение гибкого стержня показано пунктиром 21.Вакуумный держатель работает следующим образом, При отключенном от питающего канала 5 источнике вакуумирования давление вокруг всех поверхностей корпуса 1 равно атмосферному, и концы 18 гибких стержней 15 и 16 расположены в положении вылета (удаления) на отрезок б от поверхно 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 сти 3 корпуса 1, что соответствует процессуотделения детали 20 (пунктир).В процессе приближения рабочей поверхности 3 к очередной детали, расположенной на позиции перегрузки, из канала 5источником вакуумирования начинаетсяоткачивание воздуха, в процессе которогогибкие стержни 15 и 16 под действием перепада давления атмосферы в управляющемканале 12 и канале 14 располагаются заглубленно в продолговатых гнездах 9 и 10,перекрывая по дну 11 управляющие каналы 12.При дальнейшем указанном приближении через определенный зазор б либо приего отсутствии деталь 4(пунктир) захватывается с помощью перепада давления атмосферы и в питающем канале 5, надежноудерживаясь на рабочей плоской поверхности 3. Поскольку масса детали мала и составляет 0,08-0,26 г при соответствующейплощади 14-64 мм, деталь надежно удергживается при наличии натекания воздуха изатмосферы через каналы 13, 12 и 14, а такжеполость 8 паза 7 в питающий канал 5.После транспортирования деталь устанавливается нэ рабочую позицию и подачавакуума в канал 5 прекращается,Наличие натекания воздуха в канал 5через полость 8 сегментного паза 7 обеспечивает быструю ликвидацию перепада давления атмосферы и в питающем канале 5, аналичие натекания воздуха из атмосферы вуправляющие каналы 12 через каналы 13ввиду малых объемов их полостей - ещеболее быструю ликвидацию указанного перепада давления в продолговатых пазах 9 и10.Гибкие стержни 15 и 16 с силами упругости опираются точками 19 концов 18 вплоскую поверхность детали 4 пунктир).При удалении рабочей плоской поверхности3 на отрезок б стержни надежно отделяютдеталь 20 (пунктир) даже при наличии в стыке между поверхностью детали и рабочейплоской поверхности 3 инородных примесей, способствующих залипанию детали.Сегментный профиль паза 7 обеспечивает свободное натекание воздуха в питающий канал 5.Наличие у вакуумного держателя увеличенного размера в толщины стенки, равной2-4 мм, обеспечивает равномерное распределение удерживающей силы по поверхности детали,Вакуумный держатель целесообразноиспользовать для деталей типа полупроводниковых кристаллов, имеющих форму квадратов со стороны 6-14 мм толщиной 0,4-0,5мм, форму прямоугольников с габаритными1738642 1 б УМ 1 Я ЮЛ Рог. Я Составитель С, Грибоведактор Л. Гратилло Техред М.Моргентал Корректор С. Че ри ГКНТ СССР каз 1967 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытия113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужго.Гагарина, 101 размерами бх 4 х 0,4 - 24 х 12 х 0,5 мм и форму дисков диаметром 6 - 25 мм толщиной 0,3- 0,5 мм. Питание вакуумного держателя осуществляется от источника вакуумирования с перепадом давления 0,3 - 0,6 10 Па.Формула изобретения Вакуумный держатель, содержащий корпус с центральным сквозным каналом, соединенным с источником вакуумирования, при этом на рабочем торце корпуса выполнены проточки, соединенные посредством соответствующих каналов с центральным каналом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности в работе, на рабочем торце корпуса выполнен радиальный сегментообразный в поперечном сечении сквозной паз, причем проточки выполнены в виде гнезд, а каналы, соединяющие полости гнезд с центральным каналом, 5 снабжены соответствующими дросселями исоединены посредством дополнительных каналов через боковую поверхность корпуса с атмосферой, при этом на дне каждого гнезда закреплен одним своим концом до полнительно введенный упругий стержень,другой конец которого выступает за рабочий торец корпуса, кроме того, стержень имеет возможность перекрытия. канала, соединяющего полость гнезда с атмосферой и 15 центральным каналом.