Способ измерения давления разреженного газа

(5 Ц 5 6 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ и институт рнетики при университе 5,АВЛ ЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство СЬЬ 1394077, кл. 6 01 1 21/02, 19(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДРАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА(57) Изобретение относится к измерительной вакуумной технике, Цель изоберетения - повышение точности измерения путем снижения газовыделения в вакуумной системе в процессе измерений, Снижения газовыделения добиваются проведением предварительной вакуумной . температурной тренировки входных элементов вакуумной измерительной системы: входного клапана 8 и входной части молекулярного насоса 3, для чего перед отбором пробы газа в камеру отбора подключают выход молекулярного насоса 3 к входу форвакуумного насоса 4, 2 ил.Изобретение относится к вакуумной измерительной технике, а именно к способам измерения давления разреженных газов, и может найти применение в вакуумной технологии, экспериментальной физике и при космических исследованиях, и является усовершенствованием изобретения по авт.св, М 1394077,Цель изобретения - повышение точности измерения давления,На фиг.1 изображена схема устройства, реализующего способ измерения давления разреженного газа; на фиг,2 - узелна фиг.1.Устройство содеркит объем 1 с исследуемым газом, камеру 2 для отбора пробы, вакуумный молекулярный насос 3 с ротором на магнитном подвесе, форвакуумный насос 4, Камера 2 снабжена датчиком 5 давления, который через регулятор 6 воздействует на привод 7 ротора и управляет скоростью его вращения. К входу молекулярного насоса 3 подсоединен двухходовой кран 8 своим центральным патрубком 9, Патрубком 10 при верхнем основании кран 8 подсоецинен к исследуемому обьему 1, патрубком 11 при нижнем основании - к форвакуумному насосу 4. Кран 8 снабжен верхним клапаном 12 с седлом 13 и штоком 14 и нижним клапаном 15 с седлом 16 и штоком 17, На фиг.2 представлена возможная конструкция прогрезаемого пластически деформируемого тарельчатого клапана, для примера нижнего, изготовленного из меди и уплотняющегося на твердом бурте 18 седла 16.Шток 17, снабженный герметизирующим сильфоном 19, подсоединен через муфту 20 к винту 21, пропущенному через гайку 22, которая закреплена на корпусе крана 8 кронштейнами 23, винт 21 снабжен рукояткой 24, Выход молекулярного насоса 3 подсоединен к центральному патрубку 25 крана 26, аналогично по конструкции крану 8, к верхнему патрубку 27 крана 26 подсоединена камера 2 отбора, к нижнему патрубку 28 - форвакуумный насос 4,Способ измерения давления осуществляют следующим образом,На первом этапе вращением рукоятей винтов штоков соответствуюших клапанов переводят верхний 12 и нижний 15 клапаны крана 8 в крайнее верхнее полокение, при котором клапан 12 уплотняется с седлом 13, а верхний и нижний клапаны крана 26 - в крайнее нижнее положение, При этом камера 2 отбора оказывает"я присоединенной к выходу модекулярного насоса 3, а вход молекулярного насоса - к форвакуумному на сосу 4, Ротор молекулярного насоса приводится в обратное вращение с номинальной скоростью, и молекулярный и форвакуумный насосы откачивают камеру отбора. При этом для обезгаживания камера 2 отбора, кран 26 и молекулярный насос 3 прогреваются (устройства прогрева не показаны),На втором этапе переводят верхний клапан крана 8 в верхнее положение, нижний - в нижнее положение, оба клапана крана 26 - в верхнее положение. При этом вход молекулярного насоса 3 изолирован и от исследуемого объема 1, и от форвакуумного насоса 4, а выход молекулярного насо 15 са 3 подсоединен к форвакуумному насосу4, Меняют направление вращения роторамолекулярного насоса 3 и откачивают кран8 молекулярным насосом 3 и форвакуумнымнасосом 4, прогревая кран 8 и молекуляр 20 Формула изобретения Способ измерения давления разреженного газа по авт,св, М 1294077, о т л и ч а юньил насос 3. При этом происходит обезгаживание входного крана 8 и дополнйтельное обезгаживание входной части молекулярного насоса 3.На третьем этапе клапаны кранов 8 и 26переводятся в нижнее положение (фиг,1).При этом к входу молекулярного насоса 3 через кран 8 подключен исследуемый объем 1, к выходу - камера 2 отбора через кран 26, 30 Происходит отбор пробы в камеру 2 и егосжатие. При отборе пробы скорость вращения ротора насоса 3 плавно регулируется датчиком 5 давления через регулятор 6 до получения заданного давления Р 2. По получении заданного давления измеряют установившуюся скорость вращения ротора и по градуировочным кривым определяют степень сжатия Ко насоса 3 и вероятность р 12 прохода молекул газа через насос 3 соответ ственно.На червертом этапе верхний клапанкрана 26 переводят в верхнее положение, нижний - в нижнее. При этом камера 2 отбора оказывается изолированной, и вследствие остаточного газоотделения ее стенок давление в ней начинает повышаться, Реакцией регулятора служит нарастающее ускорение ротора, направленное в сторону, противоположную его вращению, Опреде ляют давление Р 1 исследуемого газа.Дополнительное обезгаживание входной части устройства уменьшает примесь выделяющегося из стенок входного крана 8 и входной части насоса 3 газа к исследуемому газу, поступающему иэ объема 1, что повышает точность измерений.едактор М,Бла Корректор Л.Беск Заказ 2995 Тираж 329 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 45 водственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, перед отбором пробы газа в предварительно обезгаженную камеру соединяют выход вакуумного молекулярного насоса с входом форвакуумного насоса и дополнительно обезгаживают входной клапан и входную часть молекулярного насоса.5