Способ получения рисунка спиральных элементов на фотошаблонах печатных плат

= - (точк и а со ыми след рисунка иг.1); опкон зоны ента, где збивают элемента иями+Х,це ляют ра ГОСУДАР СТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР У СВИДЕТЕЛЬСТВ 28.04.8930,08.91, Бюл. 3 Ф 32(56) Глазков И.М. Оборудование для прои водства фотошаблонов и выполнения оп раций фотолитографии, М.: Советское радио, 1975, с, 40-60.Авторское свидетельство СССР ЬЬ 1534452, кл. 6 06 Г 3/02, 1988. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА СПИРАЛЪНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ФОТОШАБЛОНАХ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ(57) Изобретение относится к электротехни.ке и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов со сложной Изобретение относится к электротехнике и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов, которые имеют сложную конфигурацию.Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов.На фиг.1 показан спиральный элемент; на фиг,2 приведен образец фотошаблон спиральными элементами, полученн предлагаемым способом.На фиг.1 изображен спиральный элемент 1 с центром в точке О и шагом витков Р, зона фЬрмирования которого ограничена двумя окружностями 2 и 3 с радиусами В - начальный и Вк 0 н - конечный.Зона формирования спирального элемента 1 разбита на п секторов (п 3) осевыми линиями+Х, -Х, +У, - У, +2, -2, проходящими через центр О, Н данном частном случае и = 5 О 167 конфигурацией, Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов. Получение рисунка осуществляется разбиением эоны формирования спирального элемента на и секторов (и3) осевыми линиями последовательным перемещением сфокусированного на фотопластинку светового луча из начальной точки спирального элемента по окружности радиуса В, где В - начальный радиус спирального элемента, в пределах первого сектора, с последующим скачкообразным увеличением радиуса дуги по соотношению Вк = В,-1+ О/и (к = 1,2),где О - шаг витков спирального элемента, при переходе из одного сектора в другой, 2 ил,. Центры дуг, формируемых в секторах, расоложены в.точках пересечения упомянутых севых линий с окружностью 4 радиуса с, б, е, 1), Направление ремещения центров ду каэано стрелкой 5, а на ки спирального элемента скачкообразного пепо окружности 4 поправление разверт- стрелкой б,Способ включает следующую вательность операций.Задают на фотопластине центр спирального элемента 1 (точка О, ф ределяют радиусы границ В и В формирования спирального элем ВаВкон (окружности 2 и 3); рд зоны формирования спирального 1 на и секторов (и3) осевыми лин - Х, +У, - У, +2, -2, проходящими чер О спирального элемента 1; опреде5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Дискретно увеличивают радиус дуги доОзначения В 2 = В + - в момент пересечелния экспонирующим луча, -";. -У, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку Ь по окружности 4 в направлении стрелки 5 и затем перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Вр в пределах сектора -УО+Е,Дискретно увеличиваот радиус дуги доОзначения Вз =- В 2 + = в момент пересечеиния экспонирующим лучом оси +7, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку С по окружности 4 в направлении стрелки 5 и перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Вз в пределах сектора +70+Х и т,д. до достижения экспонируюдиус расположения центров дуг спирально,О,го элемента 1 из условия г =- - ; устанавлиивают экспонирующий луч в начальную точкуспирального элемента 1, расположенную напересечении окружности 2 радиуса г и первой оси (в данном случае - оси -Х), проходящей через центр спирального элемента,перемещают экспонирующий луч в каждомиз секторов по круговой дуге, при этомцентр дуги, формируемой между 1-й и +1-йосью, располагают на +2-й оси по направлению развертки спирального элемента(стрелки 5 и б), где=: 1,2,.п; при каждомпереходе экспонирующего луча из одногосектора в другой: а) дискретно увеличиваютрадиус Вкформируемой дуги из соотношения В = Вк+ - , где к = 1,2,; б) скачкоОобразно перемещают центр дуги наследующую ось в направлении разверткиспирального элемента (по окружности 4 внаправлении стрелки 5); осуществляют перекрытие апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спиральногоэлемента при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой.Формирование дуг спирального элемента 1 осуществляется в следующей последовательности.Сфокусированный на фотопластинеэкспонирующий луч помещают на начальную границу радиусом Во и перемещают поОкруговой дуге радиусом В 1 = Во + - вПсекторе - ХО - У относительно центра дуги,расположенного на окружности 4 в точке а,щим лучом конечной границы - окружности3 радиусом Вкон зоны формирования спирального элемента 1.Сопряжение дуг спирального элемента1 осуществляют при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой путемперекрытия апертур конца предыдущей иначала последующей дуги спирального элемента.На фиг.2 изображен фотошаблон одного слоя печатной платы со спиральными элементами, изготовленный по предлагаемомуспособу с использованием кругового интерполятора, встроенного в устройство управления фотокоординатографом.Формула изобретенияСпособ получения рисунка спиральныхэлементов на фотошаблонах печатных плат,основанный на задании на фотопластинецентра рисунка спирального элемента, определении радиусов границ Во и Вкось, где Вои Вкон соответственно начальный и конечный радиусы границ спирального элемента,причем ВоВкось,и перемещении экспонирующего луча по заданной траектории, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности формирования рисунка спиральных элементов, разбивают зонуформирования спирального элемента наи секторов (и3) осевыми линиями, про-.ходящими через центр спирального элемента, определяют радиус расположения дугОспирального элемента из условия г = - ,игде О - шаг витков спирального элемента,устанавливают экспонирующий луч в наНальную точку спирального элемента, расположенную на пересечении границырадиуса Во и первой оси, перемещают экспонирующий луч в каждом из секторов покруговой дуге, при этом центр дуги, формируемой между -й и. +1.й осью, располагаютна +2-й оси по направлению развертки спирального элемента, гс,е= 1,2п, при каждом переходе экспонирующего луча изодного сектора в другой дискретно увеличивают радиус Вк формируемой дуги по услоОвию Рк = Вк+ - , где к = 1,2 а центридуги скачкообразно перемещают на следующую ось в направлении развертки спирального элемента, причем при переходеэкспонирующего луча из одного сектора вдругой осуществляют перекрытие апертурконца предыдущей и начала последующейдуги спирального элемента, 1674400