Способ получения пленки заданной толщины

(5 ТО (5 ДЯ1 1, свежит лаэкала 7 идуляторяют сле Устрои елит ел тво содер 2-6, зер 9-10 и мо осуществл 8, фото12 т и ении одно- и многос заданным распредея преломления по толпри пол эованослойны мни покр оказ НИ Цель изобретения - рологических возможност ширение техпутем по- расположеия по толучения пленок с .заданн ем показателя преломп устройствонки в проце ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯ1 РИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство, СССР )1 13887)9, кл. С 01 В 11/06, 1987.4) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ЗАДАННОЙ ЛИИНЫ7) Изобретение относится к измерительной технике и может бытыиспольэовано при получении одно - и многослойньм покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Цельюизобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком Изобретение относится к измериельной технике и может быть испол щине.На чертеже изображендля контроля толщины плсе ее получения. вещества, под углом к ней, а на осталь ую часть поверхности образца - по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаэ пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаэ напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициентмодуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции, Определяют параметры отраженного света и по нчм сут о достижении заданной толщины. Способ дующим образом.Монохроматический свет от лазера1 с помощью световодителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П 2участка контрольного образца, непредназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом О( к ней, а на поверхность П 1участка контрольного образцназначенную для напыпения мванным потоком вещества, по нормали к ней, Задают шаг изменения угла, под которым направляют свет. Производят напыпение на. контрольный образец, в процессе которого осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции /3, близким к единице ,О,758( 1,00), и ступенчато изме- няют с заданным шагом угол с падения света на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную дпя напыления модулированным потоком ВеществаОпределяют разность фаэ пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца Для этого пучок, отраженный от участка П 1, с помощью светоделителя 5 на" правляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от. участка П 2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напылениепрекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования принапылении на контрольный образец и подложку. Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец,имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и через светоделители 2, 4, 5 и б освещают образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, осуществляют модуляцию потока вещества, напыпяемого на участок П 1 контрольного образца, с определенным по расчетным формулам коэффициентом модуляции. Фотоприемниками 9 и 11 измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков П 2 и П 1 И прошедших по пути к фотоприемникам 9 и 11 соответственно через светоделители 3 и б. По соотношению параметров судят о достижении заданной толщины,Формула изобретенияСпособ получения пленки заданной толщины, заключающийся в том, что производят напыление вещества на подлокку и контрольный образец, имеющийдва участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют потоквещества, напыляемого на один изучастков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных приотражении или пропускании света черезоба участка, и посоотношению параметров судят о достижении заданнойтолщины, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью расширения техноло-гических возможностей путем полученияпленок с заданным распределением пока-.зателя преломления по толщине, переднапылением на подложку и контрольныйобразец направляют монохроматическийсвет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную длянапыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность участка контрольного образца,предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, задают шаг изменения угла,под которым направляют свет, производят. напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции, близким к еди нице, и ступенчато изменяют с заданным шагом угол падения света на 35поверхность участка контрольного об-разца, не предназначенную. для напыления модулированным потоком вещества, определяют разность фаз пучковизлучения, отраженного от обоихучастков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам упо-.мянутой модуляции определяют показатель преломпения пленки и соответствующую этому показателю оптическуютолщину пленки, а модуляцию потока 45вещества, напыляемого на один изучастков контрольного образца при напыпении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентоммодуляции, выбираемым в зависимостиот оптической толщины.1583 73 7 Составитель В. Костюченкор Н. Тупица Техред А.Кравчук Корректор И. Кучерявая Редак 90 одписное и тельский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 Произ ственноЗаказ 2246 Тираж ВНИИПИ Государственного к113035, Ио итета по изобретениям и открытия ква, Ж, Раушская наб., д. 4/5