Устройство для напыления пленок

Номер патента: 590597

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Барзилович, Капличный, Короткоручко, Костроменко, Пластюк, Чемерис, Яременко

МПК: G01B 11/06

Метки: напыления, пленки, процессе, толщины

...стороны рабочей подложки, индикаторный блок 5 и испаритель (на чертеже не показан).590597 Формула изобретения в вг Составитель О. СтрогановТехред И. Карандашова Корректор Л. Денискина Редактор О, Юркова Подписное Заказ 3182/6 Изд. Хв 159 Тираж 907 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 475Типография, пр, Сапунова, 2 Между рабочей подложкой и светочувствительным элементом 4 размещен блок подавления световых лучей от испарителя, выполненный в виде полостей 6 с центральными отверстиями 7, уменьшающимися в направлении светочувствительного элемента так, чторазность диаметров предыдущего отверстия нпоследующего Й - .Оотносится к суммедиаметров предыдущего...

Номер патента: 174503

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Дубиненко, Надель, Плиитиз, Специальное, Тенин

МПК: B23G 3/06

Метки: дополнительного, крепления, нежестких

...связаны со свободно проходящим валиком б, что 5 позволяет опорам 2 самоустанавливаться попрофилю головки изделия 7 независимо от его конфигурации и точности и распределять усилие перемещения, регулируемое гайками 8, равномерно, не требуя тарировки пружин О 4, Опоры 2 разводятся упорами 9, действующими от профилированного стержня кулака 10 при его повороте в положение загрузки.Усилия подвода замыкаются через изделие 7 и воздействуют на него с минимальным уси лием, равным разности сил сопротивления перемещению. Кулак 10 установлен в точном направляющем отверстии, легко вращается и может перемещаться вдоль оси. Поворот кулака 10 устанавливает сходящиеся опорные О поверхности Б и В по торцам малой головкиТираж 1800 Формат бум. 60)(90/в...

Номер патента: 201043

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Диденко, Кочерга, Центральна

МПК: A62B 7/02, A62B 9/00

Метки: дополнительной, кислородав, подачи

...нажимают наПри этом стакан упираесчет его перемещения оглавная пружина нескодальнейшем взаимодейсройства такое же, как вв результате чего кислорклапан 4, камеру 2 и отвступает в систему респирскоростью, не зависящейлоне.Величина скорости посзависит от усилия предваглавной пружины и устанке и регулировке устройст тупления кислорода рительного сжатия вливается при сбор стройто же, 20описываемоеда; на фиг. 2 ода. подво водящ пруж пру;юп го и такана котор ногодящий канал 1, ий калиброванну 5 клапана и а 7 находится 2 з трех деталей: 9 и нажимной ой регулируется сжатия главной3 едмет изобретения Устройство для дополнительной лорода в систему регенеративного ра на сжатом кислороде, выполне газового редуктора и состоящее щего и отводящего...

Номер патента: 246085

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Кацнельсон, Фурман

МПК: G01B 11/02, G01B 11/06

Метки: вакууме, напыления, пленок, процессе, толщины, тонких

...на контролируемую пленку от источника света направляют световой поток, определяют величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока, по которой судят о толщине пленки. Однако эти способы имеют недостаточную точность контроля, когда оптические толщины слоев покрытия не кратны четверти одной и той же длины волны,Предлагаемый способ отличается от известных тем, что величину интенсивности прошедшего через контролируемую пленку светового потока в зависимости от длины волны определяют спектральным прибором в диапазоне длин волн, перекрывающем не менее половины октавы.Это позволяет повысить точность контроля толщины пленок.Описываемый способ заключается в с щем.Контроль толщины пленки в процессе напыления слоев...

Номер патента: 423509

Опубликовано: 15.04.1974

Авторы: Всесоюзный, Вторичных, Ерошенко, Использованию, Очистке, Проектный, Сточных

МПК: B03C 3/38

Метки: двухзонных, зарядки, зоны, электрофильтров

...точек коронирующих электродов, устацовлеццых в области Б, а общие площади 5, ц 5. осалцтельвых перфорироваццых электродов и отверстий перфорации, расстояние 6 20 между коронирующими ц осадительцымиэлектродами, поперечный размер д отверстий перфорации и расстояние 1 между фиксированными разрядными точками связаны между собой указанными отцошсциями.25 ъ стройство работает следующим образом,Запылеццый газ проходит в областях А и Бмежду перфорированными осадительцыми электродами 3 и коронирующими электродами 1. В межэлектродпых промежутках при З 0 разряде с фиксцроваццых разрядных точек 2123519 Составитег 5 ь О. Догаев Техред Т. Курнлко Редак Коррекгор О, Усова. Корченко Тираж 59мптета Совета Митсиий и открытийугискаи наб., д....