Способ получения пленки заданной толщины

(51)5 О 01 В 11/06 К АВТОРСКО ВИДЕТЕЛ ЬСТВУ ССР87.ЛЕНКИ ЗАэом. СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ И ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СМ 1388709, кл. 6 01 В 11/06, 19(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПДАННОЙ ТОЛЩИНЫ(57) Изобретение относится к измерительной технике, Целью изобретения являетсярасширение технологических возможностей путем получения пленок с заданнымраспределением показателя преломленияпо толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, непредназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом кней, а на оставшуюся поверхность - по норИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине,На чертеже изображена устройство для контроля толщины пленки в процессе ее получения.Устройство содержит лазер 1, светоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники9-11 и модулятор 12.Способ осуществляют следующим обрамали, и производят напыление, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил. Монохроматическии свет от лазера 1 с помощью светоделителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П 2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность П 1 участка контрольного образца, предназначеннуюдля напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, Производят напыление на контрольный образец, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества. Модуляцию начинают осуществлять при коэффициенте модуляции, близком (или равном) к единице, В процессе напыления этот коэффициент ступенчато уменьшаютчерез равные интервалы времени на постоянную величину, Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца. Для этого пучок, отраженный От участка П 1, с по мощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, Отраженный От участка П 2 с помощь)о зер кала 8 через светоделитель 5, При нулевой разностй фаз напыление прекращают, ПО )О параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю Оптическую толщину пленки, По расчетным формулам определяют коэффициент модуляции 15 при напылении на кОнтрольный Об)азец и подложку, Осуьцествля)от напыление вещества НЯ подлОжку и контрольный Образец, имеюший два участка, (. помошь;о светоделителей 2 и 3 и ерез свегоделители 2, 4, 5 20 и б освещают контрольный образец моно- хроматическим све)ом, по нормали к поверхности, Осуществляют модуляции потока вещества напыляомогг на учагток П 1 контрольного образца, с определенным по рас четным формулам коэффициентом модуляции, Фотоприемниками 9 и 11 измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков П 2 и П 1 и прошедших по пути к фотоприемникам 9 и 11 соатветст вен но через светоделители 3 ; 6, по соотношению параметров судят О достижении заданной голщины.Формула изобретенияСПОсоб получений пленки заданной 35 толщины, заключа)Ощийся в том, что Г)роизводят напылеие вещества на подложку и контрольныи обг)азец, имеощии два учасгка, освещают контрольный образец моно- хроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданнойтолщины, отл ича ю щи йся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, перед напылением на подложку и контрольный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, производят напыление на контрольный образец и в процессе напыления осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости от оптической толщины,1583736 Составитель В.КостюченкТехред М.Моргентал едактор Н.Тупиц Корректор ЛЛата Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 Заказ 2245 ВНИИПИ Го Тираж 490 арственного комите. 113035, Москва, Подписноео изобретениям и открытиям при ГКНТ С35, Раушская наб 4/5