Способ изготовления контрастного узкополосного фильтра с одним слоем металла

СООЗ СОНЕТСНИХ СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИ 9) (И) РЕСПУБЛ 51)5 В 01 П 33/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ИПРИ ГННТ СССР МИТЕТ ОТНРЫТИЯНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ О ТВУ 2ляет увеличить пропускание и уменьшить искажения формы спектральной кривой. Способ включает нанесение слоев покрытия в вакууме при одновременной регистрации интенсивности,пропущенного монохроматического излучения, Напыление слоев четвертьволновых стоп прекращают в поворотных точках характеристики регистрируемой интенсивности излучения, первого резонирующего слоя - в. заранее определенной точке, при. этом фиксируют точку, соответствующую окончанию напыления первого резонирующего слоя, а напыление слоя металла прекращают при значениях интенсивности излучения, находящихся в интервале между интенсивностью излучения в зафиксированной точке и в заранее определенной точке окончания нанесения первого резонирующего слоя.2 ил е. опт ашиноЪ пйпсейя, ч.20,ТРАСТНОГОМ СЛОЕМ(57) Изобретение гии оптических ф сения интерференподложку физическ зготовленн емому способу првакуумных устанодругих с подколпизготовления инт тии и с системои слоев по экстреь В систему фответитель (лампащая и передающаякала, стеклянныематор МДР, фотрующий прибор КСслоев, формирующдится непосредстмым деталям. конт ГМ 9 я входят: ос), фокусирую(линзы, зертика пластины), монохроприемн 4. Кон х филь регистроль толщи роизвоенн изготовляеАВТОРСКОМУ СВИ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КУЗКОПОЛОСНОГО ФИЛЬТРА С ОДМЕТАЛЛА относится к технолольтров путем нанеционных покрытий на им методом и позвоИзобретение относится к технологи изготовления оптических фильтров путем нанесения интерференционных по.крытий на подложку физическим методом.Целью изобретения является увеличение пропускания и уменьшение искажений формы спектральной кривой.На фиг, 1 изображено изменение регистрируемого сигнала при изготовлении фильтра; на фиг.2 - спектральные кривые получаемых фильтров.Кривые 1 и 3 относятся к случаям, когда значение сигнала находится за пределами интервала значений, зафиксированных до и после нанесения первого резонирующего слоя. ильтров по предлагаизводят на серийныхках типа УВНМичной оснасткой длярференционных покрыфотоконтроля толщинльным точкам.Изготовление фильтра на Ьс550 нм, например со слоем серебра, конструкции ВНВНВ 1,75 Н А 1,75 Н,.В Н В Н В П где В - слой диэлек" трика ЬпБ с высоким показателем преломления, Н . - слой диэлектрика Иа А 1 Р с низким показателем преломления, Аа - слой серебра, П - подложка из стекла проводят следующим образом. 1 ОУстанавливают на монохроматорещЦРконтрольную длину волны 550 нм. Загружают в испарители пленкообразу-. , ющие материалы ЬпБ, МаА 1 Р и Аа, а также подложки из стекла К 8. Откачи- .15 вают установку УВНИдо давления 10-4 Па. Включают вращение подложек и систему фотоконтроля. Устанавливают на регистраторе КСП 4 98 делений и последовательно напыпяют первые пять 20 слоев Ьп 8 и ИаА 1 Р, прекращая напыление в первых поворотных (экстремальных) точках. Примерный отсчет по делениям КСП 4 будет1-й слой В 98-66 252-й слой Н 66-813-й слой В 94-. 344-й слой Н 34-505-й слой В 90-22ЗОШестой слой является первым резонирующим слоем и он должен быть нанесен с учетом фазового сдвига от металла, т.е. 1,75 Н. Его наносят следующим образом: устанавливают на КСП 4 50 делений и напыпяют 1,75 Н. Отсчет будет таким: 50 - 81 - 54. Фиксируют значения 50=А, и 54=АЗатем напыпяют слой металла (серебра), Для того, чтобы получить 40фильтр с максмиальным пропусканием и неискаженной формой спектральной кривой, напыление прекращают после прохождения сигналом А резкого макси мума в интервале А) А 1 А.Оставшиеся слои напыляют по экстремумам, включая и второй резонирующий слой.Формула изобретенияСпособ изготовления контрастного узкополосного фильтра с одним слоем металла, заключающийся в нанесении на подложку многослойного покрытия в вакууме, состоящего из четвертьволновых. стоп, первого резонирующего слоя, слоя металла и второго резонирующего слоя, регистрации интенсивности пропущенного монохроматического излучения в процессе нанесения слоев, при этом напыление слоев четвертьволновых стоп прекращают в поворотных точках характеристики регистрируемой интенсивности излучения, первого резонирующего слоя - в заранее определенной точке, а напыление слоя металла прекращают после прохождения максимального значения регистрирующей интенсивности излучения, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью увеличения пропускания .и уменьшения искажений формы спектральной кривой, дополнительно фиксируют точку характеристики до нанесения резонирующего слоя, а нанесение слоя металла прекращают при значениях регистрируемой интенсивности излучения, находящихся в интервале между интенсивностью излучения в зафиксированной точке и в заранее определенной точке окончания нанесения первого резонирующегослоя,