Номер патента: 1553856

Авторы: Клочихин, Солотов

ZIP архив

Текст

15538Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления в жидких и газообразных средах.Целью изобретения является повыше 5 ние точности измерения и уменьшения габаритов.На фиг.1 приведена конструкция датчика, разраз; на фиг.2 и 3 - вари О анты топологий с тангенциальными тенэорезисторами на мембранах с жестким центром и дополнительным кольцом жесткости, изготовленных из кремниевых пластин в плоскости (111).15Датчик содержит гибкую мембрану 1 с утолщенной периферийной частью 2 и жестким центром 3. На равном расстоянии от периферийной части 2 и жесткого центра 3 находится дополнительный элемент 4 жесткости, выполненный в виде кольца. На гибкой части мембраны расположены в тангенциальном направлении тензорезисторы 5 в количестве не менее двух пар, причем 25 тенэорезисторы положительной и отрицательной деформации расположены по разные стороны от дополнительного элемента жесткости, Тензорезисторы соединены с контактными площадками 6, расположенными на утолщенной периферийной части мембраны, токопроводящими дорожками 7. Тенэорезисторы могут быть одинаковой длины (вариант1). Выбор соединения мостовой схемы при этом определяется подбором харак 35 теристик тензорезисторов с идентичными параметрами (номиналы и ТКС). Один из мостов может быть также резервным. Тензорезисторы могут быть разной длины (вариант 11), что позволяет наряду с подбором характеристик тензоре 56зисторов осуществлять балансировку мостовой схемы.Работа датчика заключается в следующем.Тензорезисторы, подобранные по номиналам и ТКС, соединяют в мостовую схему. На одну диагональ мостовой схемы йодается напряжение питания, к другой диагонали подключается измерительный прибор, фиксирующий величину выходного электрического сигнала. Измеряемое давление воздействует на мембрану и деформирует ее вместе с тензорезисторами, расположенными на гибкой части мембраны, Деформация тензорезисторов преобразуется мостовой схемой в электрический сигнал, изменяющийся пропорционально изменению давления.Формула изобретенияДатчик давления, содержащий мембрану с жестким центром, утолщенной периферийной частью и дополнительным элементом жесткости, на которой расположены тенэорезисторы, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения и уменьшения габаритов, в нем дополнительный элемент жесткости выполнен в виде кольцевого выступа и расположен на равном удалении от жесткого центра и утолщенной периферийной части, а тензорезисторы в количестве не менее двух пар расположены равномерно по окружностям, причем один тензорезистор каждой пары расположен по окружности между кольцевым выступом и периферийной частью, а другой - между кольцевым выступом и жестким центром,1553856 8 аианя 1 тель 0 рев М.Дид актор Р.Иаковска ектор Л.Бескид тт еиаеае щ тет иеещи ттететтваанно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул.Гагарина, 101 Проиэводс оста ехре Заказ 451 Тираж 465 . Под ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытия113935, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 сноери ГК

Смотреть

Заявка

4315870, 15.07.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5696

КЛОЧИХИН ГЕННАДИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, СОЛОТОВ ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчик

Опубликовано: 30.03.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1553856-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>

Похожие патенты