Устройство для испытания изделий на герметичность

, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ПЯТ СССР ТОРСНОМУ СВИДЕТ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛФНА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ(57) Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичностьс помощью масс-спектрометрическоготечеискателя и позволяет улучшитьзксплуатационные характеристики устройства при накоплении пробного газа 2.в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя. К испытательной камере 1 с изделием. 2 последовательно подключены первый высоковакуумный насос (ВВН) 4, селективно настроенный второй ВВН 5 и форвакуумный насос (ФВН) 6, вход которого соединен с входом селективно настроенного третьего ВВН 7, выход которого соединен с входом ВВН 4. В течеискатель 9 поступает поток газа, обогащенного пробным газом, Часть последнего возвращается на вход ВВН 4, а поток, обогащенный газом-носителем, откачивается ФВН 6. 1 ил.Изобретение относится к испытательной технике, в частности к испытаниям на герметичность изделий с помощью масс-спектрометрического течеискателя.Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик устройства при накоплении пробного газа в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя,На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.Устройство для испытания изделий на герметичность включает испытатель ную камеру 1 с изделием 2, подсоединенные к ней последовательно входную магистраль 3, первый высоковакуумный насос 4, селективно настроенный второй высоковакуумный насос 5 и форвакуумный насос 6. Вход последнего соединен с входом селективно настроенного третьего высоковакуумного насоса 7, включенного в магистраль 8 возврата пробного газа, соединенную с 25 входной магистралью.Масс-спектрометрический течеискатель 9 соединен с выходом первого высаковакуумного насоса 4 и имеет свой селективно настроенный четвертый высоковакуумный насос не показан),Устройство работает следующим образом.Испытуемое изделие 2 помещают в ис- пытательную камеру 1, после чего вакуумируют ее высоковакуумными насосами 4 и 5, и механиче.ским насосом 6, Включают высоковакуумный насос 7 и вакуумные насосы масс-спектрометричес- кого течеискателя 9. Испытательную камеру 1 вакуумируют до заданной степени разрежения, например, 10 -10 торр, подцерживают эту степень разрежения и подают в испытательную камеру 1 газноситель, например углекислый газ, а 45 изделие 2 заполняют пробным газом, например гелием. Высоковакуумнь 1 м насосом 5 отбирают, путем селективной настройки последнего, из потока газа, поступающего в течеискатель 9, часть потока с повышенной концентрацией газа-носителя, При этом вакуумные насосы течеискателя 9 селективно настраивают на максимальную скорость откачки по пробному газу. Затем ор-.55 ганизуют отбор части потока с повышенной концентрацией дробного газа из потока, поступающего в механический насос 6. Отбор части потока с повышенной концентрацией гелия осуществляют селективной настройкой на максимальную скорость откачки по гелию высоковакуумного насоса 7 и подают эту часть потока в поток, поступающий из испытательной камеры 1, который снова попадает в высоковакуумные насосы 4 и 5.При регулировке нагревателей (не показаны) высоковакуумных насосов 5, 7 изменяют температуру рабочего тела, например вакуумного масла ВМ, что ведет к изменению скорости истечения паров последнего и, как следствие, к различной скорости откачки молекул с разными молекулярными массами, Причем используют в качестве газа-носителя и пробного газа газы с максимальной разницей молекулярных масс например для СО молекулярная масса равна 44, а для Не - 4, что обеспечивает эффективное разделение газов по массам.Высокая чувствительность испытаний достигается за счет того, что от бирают часть пробного газа, поступающего в механический насос 6, и вновь подают его в течеискатель 9.Предлагаемое устройство свободно от накопления всего потока газа и необходимости периодической регенерации средств, селективной откачки, т.е. работает неограничено долго в режиме измерения.Формула изобретенияУстройство для испытания изделий на герметичность, содержащее входную магистраль, средство селективной откачки, течеискатель, первый высоко- вакуумный насос, форвакуумный насос и соединенную с входом форвакуумного насоса магистраль возврата пробного газа, соединенную с входной магистралью, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик при накоплении пробного газа в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя, средство селективной откачки выполнено в виде селективно настроенного второго высоковакуумного насоса, первый высоковакуумный насос, второй высоковакуумный насос и форвакуумный насос, последовательно соединены с входной магистралью, течеискательСоставитель Л. Рвсянникова Техред А.Кравчук Корректор Т. Малец Редактор А. ШандорЗаказ 323 Тираж 446 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 5 1552026 6соединен с выходом первого высоко- умными насосами, первым из которых вакуумного насоса, а устройство установлен в магистрали возврата снабжено селективно настроенными пробного газа, а второй - в течеистретьим и четвертым высоковаку- . кателе5