Высоковакуумный криогенный насос

Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 070777 (21) 2505927/25-06с присоединением заявки Мо(1) М ) 3 Е 04 В 37/08 Государственный комитет СССР но дедам изобретений н открытийДата опубликования описания 25, 11. 80 В.П.Беляков, Н.В.Филин, В,В,Леонов, В.И.Куприянов, Н.П,Юшин, В.П.Кряковкин, А.И,Кутыловский и М.И.Синяговский(54) ВЫСОКОВАКууМНЫЙ КРИОГЕННЫИ НАСОС Изобретение относится к вакуумной технике,Известны высоковакуумные криоген- ные насосы, содержащие размещенные в корпусе конденсирующие элементы, 5 охлаждаемые жидким водородом или жидким гелием, расположенные между охлаждаемыми теплозащитными экранами 1 .Насосы соединяются с откачиваемь 1 м 0 объемом магистралью. Это влечет за Собой ограничение быстроты откачки насоса проводимостью магистрали.Наиболее близкими по технической сущности и достигаемому результату 15 являются высоковакуумные криогенные насосы, содержащие конденсирующие элементы, расположенные между плос.ким и шевронным теплозащитными экранами, снабженными каналами для хлада гента (2.Быстрота откачки насосов встроен- ного типа определяется коэффициентом захвата системы теплозащитнйй экран - 25 конденсирунщие элементы, т. е, отношением количества газа, поглощенногокрионасосом, к количеству газа, посту пающего к входной поверхности теплоэащитного экрана. В известном насосе теплозащитный экран шенронного типа выполнен оптически непрозрачным по отношению к конденсирующим элементам и к плоскому экрану. Это условие необходимо, так как конденсирующие элементы насоса расположены перед плоским экраном и.параллельно ему. Попадание теплового потока на конденсирующие элементы недопустимо, так как при этом существенно увеличивается расход хладагента, используемого для охлаждения конденсирующих элементов, и ухудшается экономичность насоса, Кроме того, тепловой поток на поверхность конденсирующих элементов нызывает перегрев наружного слоя криоосадка, что повышает предельное давление, достигаемое насосом, а в отдельных случаях может принести к срыву режима работы насоса. Шевронный экран снижает тепловой поток, попадающий на конденсирующие элементы до 0,7 от потока, падающего на входную поверхность шеврона. Однако вероятность пропета молекулы через оптически непрозрачный шеврон не превышает 0,23, и коэффициент захвата криопанели с экраном не может быть больше 0,23.779626 Формула изобретения Составитель О.Тиш Техред А,Ач Редактор И.Кова У ПодписноСССРийФаб д. 4/5 Тираж 725ственного комитетобретений и открыЖ, РаушскаяУгород, ул. Прое 47 НИИПИ Госуда по делам и 13035, Иоскв АЗаказ 7990 лиал ППП "Патент", г. ая Цель изобретения - увеличение быстроты откачки.Цель достигается тем, что с внеш"ней "тороны угла при вершине шевроноввйполнены приливы, и каналы для хла "дагента размещены внутри них, а конденсирующие элементы установлены заприливами в теневой для теплового излучения зоне, ограниченной поверхностямиприлива и шевронов.На чертеже изображена, криогеннаяпанель насоса,Высоковакуумный криогенный насос"содержит конденсирующие элементы 1,"расположенные между плоским 2 и шевронным 3 теплозащитными экранами,снабженными каналами 4 для хладагента. С внешней стороны угла при вершине шевронов 5 выполнены приливы б иканалы 4 для хладагента размещены"внутри них, а конденсирующие элементы 1 установлены за приливами б и теневой для теплового излучения зоне,ограниченной поверхйостямййрилйваб и шевронов 5,Предлагаемый насос работает следующим образом.Откачиваемый газ поступает к входной поверхности шевронного экрана 3"и проходит внутрь откачной "ячейкикрионасоса, образованной экранами 2и 3, в которой размещены конденсирующие элементы 1.В предложенном насосе повышаетсявероятность пролета молекул сквозьшевронный экран 3 до 0,4. Ту же величину будет иметь коэффициент захватакриогечной панели при коэффициентеконденсации откачиваемого газа наповерхности конденсирующих элементов1, равном 1,0, Конденсирующие элементы 1 полностью защищены шевроннымэкраном 3 от попадания прямого потока теплового излучения на их поверхность.Для того, чтобы уменьшить переотраженный тепловой поток, поверхностиэкранов 2 и 3 внутри ячейки, доступные для прямого теплового излученияпочернены. Газ; поступающий в откачйую ячейку криопанели после нескольких соударений с поверхностями экра- О нов 2 и 3 прйнимает ихтемпературу и,попадая на конденсирующие .элементы 1насоса, поглощается ими, образуятвердый слой криоосадка. Высоковакуумный криогенный насос,содержащий конденсирующие элементы, 2 О расположенные между плоским и шевронным теплозащитными экранами, снабженными каналамидля хладагента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, с внешней Сторойы угла при вершине шевроноввыполнены приливы, и каналы для хладагента размещены внутри них, а кояденсйрующие элементы установлены за приливами в теневой для теплового излучения зоне, ограниченной по- ЗО верхностями прилива и шевронов. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Пипко А.И. Конструирование и 35 расчет вакуумных систем И., "Энергия", 1970, с. 202.2. Патент Англии 9 1128123,кл, Г 1 И, 19 бб. на Корректор В.Синицка