Высоковакуумный сорбционный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 355381
Авторы: Ермакова, Лейн, Мартинсон, Нестеренко
Текст
Союз СоветскихСоциалистических Республик Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 25.т/11,1969 ( 1352849/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 16,Х,1972, Бюллетень3Дата опубликования описания 1.Х 1.1972 М. Кл. Г 04 Ь 37/02 итет по делам изобретении и открытипри Совете МинистровСССР 21,528.5 (088.8) Авторы зобретени Н, Мартинсон, А. Г, Нестеренко, ф, Я. Лей и М. П. Ермаковааявител ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС ения скочками из бретениярбционный насос, и пер аспыляемый полненный из сор. Предмет изо1. Высоковакуумный с одержащий нагреваемы орбирующий элемент, вь Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам,В качестве геттеров в электровакуумныхприборах или рабочих материалов в сорбционных вакуумных насосах широко используются такие активные металлы, как титан,цирконий, тантал, ниобий и др.При работе сорбционных насосов в условиях натекания или поглощения продуктовгазоотделения геттер постепенно насыщается 1кислородом, и на его поверхности образуетсяпленка окислов, что снижает сорбционнуюспособность насосов. Для обеспечения постоянной работы сорбционных насосов снова создают пленки, например, титана напылением 1геттера на охлаждаемую поверхность.Целью изобретения является предотвращение образования пленок продуктов реакциина поверхности нераспыляемого геттера,Предлагаемый сорбционный насос содержит нагреваемый нераспыляемый сорбирующий элемент, выполненный из сорбционноактивного металла, например ниобия, и отличается от известных тем, что сорбирующийэлемент выполнен в виде герметичного полого сосуда из ниобия, в полости которого помещается щелочной металл, например литий,для очистки сорбирующего металла от кислорода. Благодаря этому увеличивается продолжительность работы сорбирующего элемента,На фиг, 1 показан сорбирующий элемент.В камеру или непосредственно в вакуумный объем вводится на фланце 1 герметично заваренный сосуд 2 из ниобия, заполненный литием. Литий вводится в сосуд в атмосфере инертного газа, а затем сосуд герметизируется электроннолучевой или аргонодуговой сваркой. Толщина стенок оболочки из ниобня 0,5 - 1 мм. Сорбционный элемент нагревается индукционной катушкой 3 или печью сопротивления.Насос присоединяется к вакуумной системе и откачивается вспомогательным насосом до давления 1 10 - 4 мм рт. ст, Затем сорбционный элемент нагревается до температуры 1000 С, и насос может производить откачку системы до давления 10 - " мм рт. ст. Наиболее эффективно предлагаемый насос откачивает кислород и кислородсодержащие газы (Н 20, СО, С 021, Скорость откачки кислорода составляет 2 л/сек см на поверхности ниобиевой оболочки, а кислородсодержащих газов "-0,2 л/сек см.На фиг. 2 приведены кривые изменростей поглощения кислорода оболониобия с литием и без лития,355381 Г час Составитель Н. Дудкинарловская Техред Е. Борисова Корректор Л, Царь едакто каз Збб 919 Изд,1539 Тираж 406 Подписи4 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ипография, пр, Сапунова,бционпо-активного металла, например ниооия, отличающийся тем, что, с целью повыщения долговечности поглощающего элемента и увеличения непрерывной работы пасоса, сороирующий элемент выполнен в виде герметичного полого сосуда, внутри которого расположен щелочной металл, например литий, для непрерывной очистки ниобия от кислорода.2, Насос по п. 1, отличающийся тем, что 5 полый сосуд выполнен в виде замкнутойтрубчатой системы.
СмотретьЗаявка
1352849
Е. Н. Мартинсон, А. Г. Нестеренко, Ф. Я. Лейн, М. П. Ермакова
МПК / Метки
МПК: F04B 37/02
Метки: высоковакуумный, насос, сорбционный
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-355381-vysokovakuumnyjj-sorbcionnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Высоковакуумный сорбционный насос</a>
Предыдущий патент: Мембранный компрессор
Следующий патент: 355382
Случайный патент: Способ извлечения неоднородной многофазной среды из скважины