Способ определения адгезионной прочности покрытия

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1)5 б 01 М 19/О КОМИТЕТОТКРЫТИЯМ ГОСУДАРСТВЕННЬПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР Р",:111 ъ."Ы 11 .;, " ;" , ЛЯПСЕя"з" х"1 Б,4 юд/1 Н У ОПИСАНИЕ ИЗО К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИОННОЙ ПРОЧНОСТИ ПОКРЫТИЯ(57) Изобретение относится к технологииизготовления полупроводниковых приборов,а именно термоэлектрических охладителей,и может быть использовано для определенияадгезионной прочности коммутационныхсплавов с термоэлементами в условиях, соответствующих условиям эксплуатации.Целью изобретения является повышениепроизводительности определения адгезион 801534377 А 1 ной прочности соединений в термоэлементах путем обеспечения требуемых температур вследствие выделения или поглощения теплоты Пельтье в соединении коммутационный сплав - полупроводниковый термоэлектрический материал. На подложку 1, выполненную из полупроводникового термоэлектрического материала, на обе ее стороны наносят коммутационный сплав 2, на который припаивают медные пластины 3. Через соединение пропускают электрический ток таких величины и направления, чтобы вследствие эффекта Пельтье соединение нагревалось или охлаждалось до требуемой температуры. При каждом значении температуры к одной из сторон соединения прикладывают отрывающую нагрузку. Получают зависимость адгезионной прочности покрытия от температуры. 1 ил, 1 табл,зИзобретение относится к области технологии изготовления полупроводниковых приборов, а именно термоэлектрических охладителей, и может быть использовано для определения адгезионной прочности коммутационных сплавов с термоэлементами в условиях, соответствующих условиям эксп. луатации,Целью изобретения является повышение производительности определения адгезион ной прочности соединений в термоэлементах путем обеспечения требуемых температур вследствие выделения или поглощения теплоты Пельтье в соединении коммутационныи сплав - полупроводниковый термоэлектри. ческий материал.На чертеже представлена схема осущест. вления способа.На подложку 1, выполненную из полупроводникового термоэлектрического материала, на обе ее стороны наносят коммутационный сплав 2, на который припаиваот медные пластины 3. К медным пластинам 3 подключают источник 4 постоянного тока типа Б 5-21. Ток в цепи контролируют амперметром 5, а температуру контактов измеряют хромель-копелевыми термопарами 6 с помощью универсального вольтметра 7, Свободные спаи термопар опускают в сосуд 8 Дьюара и термостатируют при 0 С. С одной стороны соединение закрепляют в захвате 9 разрывной машины, а к другой стороне со. единения прикладывают отрывающу 1 о нагрузку в направлении силы Е.Через образец посредством медных пластин пропускают постоянный ток. При этом направление и величину тока подбирают таким образом, что на контакте слоя коммутационного сплава с термоэлементами, где производится стрыв, вследствие выделения или поглощения теплоты Пельтье получается необходимая температура,Предлагаемый способ позволяет получить температуры на контакте от - 3035 С ло температуры плавления коммутационного сплава, равной 35 С, а также определить зависимость адгезионной прочности покрытия (коммутационного сплава) от температуры.Пример. Определяют адгезионную прочность коммутационного сплава, нанесенного ьа поверхность термоэлектрического полугроводникового материала и- и р-типа прое оди мости. Из материалов и-типа на основе ВЬТез -В 25 ез и р-типа на основе В 12 Тез - ЯЬТез вырезают образцы длиной 1012 мм и поперечным сечением 1215 мм. На торцы образцов наносят коммутационный сплав состава 57 Я В - 43 Я Яп с т. пл, -140 С.Толщина слоя адгезива составляет 0,050,1 мм. К торцам припаивают медные пластины толщиной 0,5 мм и площадью 1215 мм,10 Через образец пропускают ток величиной2,56 А. При указанных значениях тока в зависимости от его направления на контактах х уста на вливается температура от - 3035 до - 135 С. При каждом фиксированном значении силы тока, т. е. температу.ры контакта, производят нормальный отрыв слоя коммутационного сплава от подложки с помощью разрывной машины.Полученные данные представлены в таблице.20 Измерениям- -3 соответствует направление тока, при котором на контакте поглощается теплота . Пельтье (т, е. контакт охлаждается), а измерениям 5 - 7 соответствует направление тока, при котором на контакте выделяется теплота Пельтье (т. е. контакт нагревается).формула изобретенияСпособ определения адгезионной прочности покрытия, заключающийся в том, что в соединении подложки с покрытием создают перепад температуры, к покрытию прикладывают поочередно отрывающие нагрузки при разных значениях температуры и определяют адгез ионную проч ность в за виси- мости от температуры, отличаюиий.я тем, что, с целью повышения производительности определения адгезионной прочнссти соединений в термоэлементах, подложка в которых выполнена из полупроводникового термоэлектрического материала, а покрытие - в виде коммутационного сплава, нанесенного на обе стороны подложки, страдающие нагрузки прикладывают к одному из торцов соединения, перепад температуры создают путем пропускания тока через соединение дс помощью медных пластин, которые припаивают к слоям коммутационного сплава, а каждое значение темгературы получают путем изменения направления и величины тока до возни кновения эффекта Пельтье.тока, А и-типа проводимости р-типа проводимости Составительд. БалаеваРедактор В. Петраш Техред И. Верес Корректор Л. ПатайЗаказ 38 Тираж 485 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 415Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 О 1 6,5 2 3 3 2 4 О 5 -0,8 6 -2,5 7 -3 Температураконтакта,при которойпроизводитсяотрыв, о С