Сканирующее устройство

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 104 С 02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ВД, ф)"Д .у у1 Б,;: САН ОБРЕТЕНИЯ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ Цель изобре она частот лебаний сис линиях связи, ширение диапа ния - ра бственны 6 езонансныхэлеканирующее устрой ническ ментствоние со держи эледиэлектри одом 2, н ечкусаА.И.Дудони кое оснопорных гядо дсоп 1. К ече 1 о 1 д 8д Ьапдс пяКег я ап р 1 д ЙСТВОится к канатора предназначени птиче(56) РеСегяеп К.Е. Бдясаппдпр щдггог. - 1 ВГ 11980, чо 1, 24, р 631,Вгоо 1 я К,Е. Г 1 дсгощещодц 1 асогя Гог дага ггргосеяядп 8, - БР 1 Е, 198Брасда 1 1 дВМ Модц 1 агосасдопя, р. 46.(54) СКАНИРУНЩЕЕ УСТР (57) Изобретение отно ростроению, а именно оптического излучения нымдля использования ребрах 3 которого установлена полупроводниковая пластина 4, в которойсФормирована консоль 5 с подвижнымэлементом 6, и выполнены микрополость 7, заполненная терморасширяющейся жидкостью 8, и соединенный сней микрокапилляр 9, расположенныйвдоль консоли 5 и подвижного элемента 6, Над микрополостью 7 выполненнагревательный элемент 11, Путемнагрева терморасширяюшейся жидкости8 и ее расширения заполняется микрокапилляр 9, при этом меняется массасистемы консоль 5 - подвижный элемен6 и изменяется собственная резонансная частота. 2 ил,Изобретение относится к приборостроению, а именно к сканаторам оптического излучения, предназначенным для использования в оптических измерительных системах, оптических линиях связиеЦель изобретения - расширение диа" пазона частот собственных резонансных колебаний системы подвижный элемент " 10 консоль.На фиг. 1 показано сканирующее устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Сканирующее устройство содержит 15 диэлектрическое основание 1 с электродом .2, подключенным к источнику переменного напряжения (не показан), на опорных ребрах 3 которого установлена полупроводниковая .зазем- ,20 ленная пластина 4, в которой методом травления сформирована консоль 5 с подвижным элементом 6, В полупроводниковой пластине 4 также методом травления сформировайы микрополость 7, которая заполнена терморасширяющейся жидкостью 8, и микро- капилляр 9, расположенный вдоль консоли 5 и подвижного элемента 6. Микрополость 7 с терморасширяющейся ЗО жидкостью 8 и микрокапилляр 9 герметизированы электрически проводящим покрытием 10, которое электрическизаземлено (заземление не показано, . Над микрополостью 7 выполнен нагревательный элемент 11, расположенный на диэлектрическом покрытии 12, которое электрически изолирует нагревательный элемент 11 от электрически , проводящего покрытия 10 и располага ется над иикрополостью 7.На поверхность подвижного элемента 6 нанесено зеркальное отражающее покрытие 13.Сканирующее устройство работает следующим образом.При приложении переменного напряжения к электроду 2 и проводящему покрытию 10 с частотой, равной частоте собственных резонансных колебаний системы консоль 5 - подвижный элемент 6; вследствие проявления переменных электростатических сил притяжения между электродом 2 и подвижным элементом 6 возникают механические колебания подвижного элемента 6 с амплитудой, пропорциональной амплитуде приложенного напряжения.При помощи дополнительного электрического источника (не показан) чеГ рез нагревательный элемент 11 пропускается ток, он нагревает находящуюся под ним в микрополости 7 терморасширяющаяся жидкость 8, под действием тепла, выделяемого нагревательным элементом 11 жидкость 8 нагревается, расширяется и заполняет соединенный с микрополостью 7 микрокапилляр 9, при этом изменяется масса консоли 5 с подвижным элементом 6, а в результате этого изменяется и собственная резонансная частота системы консоль 5 - подвижных элемент 6.Изменяя объем поступающей в микро- капилляр 9 терморасширяющейся жидкости 8, можно в широких пределах перестраивать собственную резонансную частоту системы консоль 5 - под- вижный элемент 6, а в результате получить равномерную амплитуду колебания подвижного элемента 6 в максимально широком диапазоне частот. Формула изобретенияСканирующее устройство, содержащее диэлектрическое основание с уйравляющим электродом, подключенным к источнику переменного покрытия,на ребра которого установлена заземленная полупроводниковая пластина, в которой методом травления сформирована консоль с подвижным отражающим элементом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения диапазона частот собственных резонансных колебаний системы подвижный отражающий элемент - консоль, в полупроводниковой пластине дополнительно выполнены микрополость и микрокапцлляр, на которых выполнено электрически проводяЩее покрытие с обеспечением герметизации, в микрополость помещена терморасширяющаяся жидкость и над ней установлен нагревательный элемент, а микрокапилляр размещен вдоль консоли и подвижного отража тельного элемента.1444692 Составитель С, О Техред М, Хода нич ректор А.Обручар,а ое Производственно-полиграфическое предприятие, г, Уиг роектн едакторЗаказ 65 2/44 Жираи 533 ВНИИПИ Государственаог по делам изобретений 113035, Москва, И, Раувоиитета СССРоткрытийая иабев де 4(5