Устройство для получения монокристаллов кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
;1 ит(.н гн( н 1 ПИ к изоье-ейная ИДЕТЕЛЬСТВ ОРСКОМ писная группа1 б 1 нилков, А. Г. Дудиоргун, Г. Л, Пекелиоцкий А. В, Бамунер, А, С. Васильев. Н. К,Л, Л. Кочергин, А. Ю. Малинин, В. В. Ю. Б, Петров и А. Е. С УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯОНОКРИСТАЛЛОВ Заявлено б июля 1960 г. за672360/22омитет по делам изобретений и открытий при Совет Министров СССР Опубликован Бюллетене изобретений1 а 1961 г. В известных устройствах для получения монокристаллов кремния больших сечений, выполненных в виде вертикальной установки для бестигельной зонной плавки с индукционным нагревателем и электромагнитным подпором жидкой зоны, удается получать слитки кремния диаметром не более 15 - 17 мм.Предложенное устройство позволяет получить слитки монокристаллического кремния диаметром 20 - 40 мм и длиной до 400 - 500 мм, что во много раз повышает производительность плавильного агрегата и значительно расширяет возможности приборостроения.С этой целью устройство выполнено в едином экранированном корпусе и снабжено ламповым инвертором для оегулирования частоты низ кочастотного генератора, индуктор которого монтирован под плавильным контуром.На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, выполненное и едином экранированном корпусе; на фиг. 2 - схема плавильной печи.Основными элементами устройства являются двухчастотный генератор 1 и плавильный агрегат 2, плавильная камера 3 которого имеет плавящий 4 и низкочастотный 5 индукторы.Генератор 1 предназначен для одновременного воздействия на зону расплава токов двух частот: высокой (5 Мгц) и низкой, регулируемой в пределах от 8 до 25 Кгц. Это обеспечивает проведение плаво". слитков различных диаметров, каждому из которых соответствует своя частота тока, создающего необходимый электромагнитный подпор и поддерживающие усилия.Низкочастотный генератор собранра, в котором используются импульсыугольной форме, которую имеет и на по схеме электронного инверто анодного тока, близкие к прямопряжение на аноде генераторнойМ 139440лампы За счет постоянного напряжения на аноде лампы в период ее проводимости и прямоугольной формы анодного тока резко до 90% возрастает к.п.д. лампы и мощность. отдаваемая ею,Плавильная печь (фиг 2) имеет плавильную камеру 3, верхнюю 0 и нижнюю 7 траверсы, редукторы 8 ручного и 9 механического перемещения камеры 3, привод и другие узлы.Плавильная камера 3 состоит из двух зажимных головок 10 смонтированных на траверсах б и 7, и кварцевой трубы, внутри которой через вильсоновские уплотнения вводятся штоки 11, между которыми закрепляется обрабатываемый слиток 12. К зажимным головкам 10 подведена вода для охлаждения уплотнителей, через ниппель верхней головки в камеру ьводят газ, выход которого обеспечивается через ниппель нижней головки,Предмет изобретенияУстройство для получения монокристаллов кремния больших сечений, выполненные в виде вертикальной установки для бестигельной зонной плавки с индукционным нагревателем и электромагнитным подпором жидкой зоны, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что устройство выполнено в едином экранированном корпусе и снабжено ламповым инвертором, с целью регулирования частоты низкочастотного генератора, индуктор которого монтирован под плавильным контуром.139440 р л Составите,чь И. С, Щукин Редактор Е. Г. Манежева Техред А. А, Кудрявицкая Корректор М. И. Козлова Годп. к печ. 1.Х 11-61 г Зак. 11381 д. 2/б Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 4.формат бум. 70 К 08/в Тираж 750 ЦБТИ при Кмитете по делам изобретений прп Совете Министров ССсСР Москва Центр М. Черкасский пер., Объем 0,26 пзд. л. Цена 5 коп. и открытий
СмотретьЗаявка
2252966, 06.07.1960
Бамунер А. В, Васильев А. С, Данилков Н. К, Дудин А. Г, Кочергин Л. Л, Малинин А. Ю, Моргун В. В, Пекерис Г. Л, Петров Ю. Б, Слухоцкий А. Е
МПК / Метки
МПК: C30B 13/28, C30B 29/06
Метки: кремния, монокристаллов
Опубликовано: 01.01.1961
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-139440-ustrojjstvo-dlya-polucheniya-monokristallov-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для получения монокристаллов кремния</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления пластмассовых сцинтилляторов
Следующий патент: Изложница для охлаждения и кристаллизации файнштейна
Случайный патент: Гранулированное удобрение для сахарной свеклы