Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа

(59 4 Н ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ МАГНИТНОИ ЛИНЗСКОПА(57) Изобретенэлектронноопти относится к облас кого приборострое ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(56) Авторское свидетельство СССРФ 1050009, кл. Н 01 3 37/14, 1982.Патент Японии У 49-22577;кл. 99 С 32, опублик. 1974.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ТОКОМЫ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОния. Цель изобретения - расширениедиапазона режимов регулирования токалинзы, Устройство содержит программируемый запоминающий блок 1, блок 2выбора режима работы, цифроаналоговый преобразователь 7, усилитель 8мощности и обмотку 9 линзы, Введениемагистральных элементов 3 и б, кодового регулятора 4, блока 5 управления и образование новых функциональных связей обеспечивает возможностьпроизвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведениеэтого режима и тонкой подстройки тока.1 илеИзобретение относится к электроннооптическому приборостроению, в частности к системам управления током магнитных линз электронных микроскопов.5Цель изобретения - расширение диапазона режимов регулирования тока линзы за счет возможности произвольнойустановки тока в экспериментальномрежиме, воспроизведение этого режима 10и тонкой подстройки тока.На чертеже показана схема устройства.Устройство для управления содержитпрограммируемый запоминающий блок 1,имеющий расшиРенные функциональныевозможности и дополнительные входы,Первый вход запоминающего блока 1соединен с выходом блока 2 выбора режима работы который содержит пере 1;0ключатели, соединенные с шифраторами,Блок 2 выбора режима работы устанавливают ступень увеличения, ускоряющее напряжение, вид работы микроскопа. Переключатель блока 2 выборарежима работы может также установитьсвободный режим работы, в которомоператор имеет возможность установитьрежим произвольных токов в линзе;Второй вход запоминающего блока 1соединен с первым входом первого магистрального элемента 3, который может быть выполнен, например, в виделогической схемы И, и вторым выходом(выходом старших разрядов) кодовогорегулятора 4, выполненного, например, на оптронных парах с кодовымидисками.Кодовый регулятор 4 имеет порозньвывеценные младшие и старшие разряды,40причем число младших разрядов выбрано из расчета обеспечения компенсации дрейфа поля линзы током ее обмотки.Третий вход запоминающего блока 1соединен с первым выходом блока 545управления, содержащего источник питания, соединенный с переключателемна два положения,1Выходы блока 5 управления являются 50выходами командных сигналов: первыйвыход - запись в запоминающем блоке,второй - работа с кодовым регулятором, третий - работа с запоминающимблоком. Второй и третий выходы блока 5 управления соединены соответственно с вторым входом первого магист.рального элемента 3 и первым входомвторого магистрального элемента 6 также выполненного в виде логической схемы И, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока 1. Объединенные выходы магистральных элементов 3 и б подключены соответственно к входам старших разрядов цифроаналогового преобразователя 7, соединенного выходом с усилителем 8 мощности, подключенным к обмотке 9 линзы, Входы младших разрядов цифроаналогового преобразователя 7 соединены с первым выходом младших разрядов кодового регулятора 4.1Устройство работает следующим образом,Работа устройства появляется на примере работы в режиме установки экс. периментальной величины тока. Оператором посредством переключателей блока 2 выбора режима работы устанавливаются: значение ускоряющего напряжения, режим работы - свободный, ступень увеличения (порядковый номер ступени увеличения на переключателе соответствует порядковому номеру свободного режима). Переключатель блока 5 управления устанавливают на рабо. ту с кодовым регулятором, при этом с второго выхода блока 5 управления поступает сигнал на первый магистраль. ный элемент 3, Поеледний открывается, соединяя старшие разряды кодового регулятора 4 с цифроаналоговым преобразователем 7, а второй магистральный элемент 6 (так как на третьем выходе блока 5 управления сигнала нет) закрывается. Управляя кодовым регулятором 4 (вращением его кодовых дисков), устанавливают по четкости изображения нужный ток в обмотке линэЪ.Убедившись, что ток линзы выбран правильно, оператор посредством переключателя блока 5 управления (первый выход) поцает команду на запоминание старших разрядов кода, выбранного тока в линзе, Число старших разрядов кода определяется стабильностью материалов линзы, температурных и других параметров, а также условий окружающей среды. Число младших разрядов кода определяет пределы, в которых оператору каждый раз необходимо поцстраивать ток линзы для получения оптимального по качеству изображения при тех рабочих условиях, которые имеют место в настоящий момент.1327203 1 О 20 25 Составитель В,ГаврюшинРедактор М.Петрова Техред Л.Олиййык Корректор В,Гирняк Заказ 3403/50 Тираж 698 , Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г,Ужгород,;ул.Проектная, 4 Этот цикл работы оператор производит один раз, затем при необходимости вернуться к данному режиму переключателем на блоке 5 управления (по третьему выходу) включает командный сигнал работы с запоминающим блоком, открывая второй магистральный элемент 6, при этом код старших разрядов с выхода запоминающего блока поступает на цифроаналоговый преобразователь 7. Далее оператор осуществляет лишь тонкую подстройку посредством выходов младших разрядов кодового регулятора 4, добиваясь наилуч шего иэображения. Формула .изобретения Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа, содержащее запоминающий блок, соединенный с выходом блока выбора режима работы, и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь и усилитель мощности, снабженный клеммой для подключения к обмотке линзы, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью расширения диапазона режимов регулирования тока линзы,оно снабжено кодовым регулятором,блоком управления и двумя магистральными элементами, при этом выходы магистральных элементов соединены спервым входом цифроаналогового преоб-:разователя, второй вход которого соединен с первым выходом кодового регулятора, второй выход которого соединен г, первым входом первого магистрального элемента и первым входом второго магистрального элемента, второйвход которого соединен с выходом запоминающего блока, третий вход которого соединен с первый выходом блокауправления, соединенного вторым итретьим выходами соответственно с вто.рым входом первого магистрального эле.мента, второй вход которого соединенс выходом запоминающего блока.