Интерферометр

,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 191 (11 94 СО В 9/О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯА ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АН БС стаков во СССР1979. мери- овать- ещеик- су- постилиОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(57) Изобретение относится к ительной технике и может исполься для измерения линейных перений объектов, Цель изобретениявышение точности измерения - дгается путем уменьшения влияни нейных температурных деформацийстанины интерферометра. Пучок излучения от источника 1 проходит линзы 2и 3 и расщепляется светоделителем 4на два, Линза 3 расположена междулинзой 2 и светоделителем 4 на определяемом по расчетной формуле расстоянии от перетяжки пучка после линзы 2. Два пучка, отразившись от стражателей 5 и 6, 7 и 8, интерферируютна светосоединителе 9. Интерференционная картина регистрируется фотоприемниками 1 О и 11, и в счетчик 13импульсов записывается количествотерференционных полос, по которымдят о перемещении объекта. 1 ил.Изобретение относится к изме-:,.:и- тельной технике и может быть ислол - зовако для измерения линейных перемс - щений объектов.Пель изобретения - повьЕеееееЕие ТО 1- ности измерения путем уменьеееения влияния линейных тееепературных дефор. маций станины иеЕтерферометра за счет расположения линз, формирующих илеок. между источником излучении и свето: делителем,На чертеже изображена ОПТЕгческая схема иктерферометраИнтерферомРтр сОдержит ис;Оче 1 ик 1 когерентного излучеь;ия, расположен" ные последовательно по хоцу излучения линзы 2 и 3, светоделител, 4, це.1 я,1 в .й пучок излучения надва пучка Отра ,а тели 5-8, расположенные геопареЕО каждом из пучков, Светосоедикнтень и оптически свяэанкь.е с ним два фо го приемника 10 и 11 предназначекь 1,11 л: - ;. эакрепления на объекте 12, .Фотоег;и:и- ники 10 и 11 ра.сположекьЕа пути Вза" имно перпендикд:1 яерпьех иктерйепеее;Еиоп. кых потоков после светосОепикитРля 9 так, что апертуры фотоприемников 10 и 11 смещены друг Относительно друга на 1/4 пеирины интерференционной полосы, Фотоприемники 1 О и 11 электрически связаны со счетчиком 13импульсов,Линза 3 расположена по ходу изл. -чения между линзОЙ 2 и светоде:1 и елем 4 ка расстояншГ2Т.+с 1, ) - Г 3 -Г-Р ",й- (1, +й )2 1-"1+1от перетяжки пучка после ,инзы 2,где Х - ЬокусеЕое ОасстояЕп:е лиЕезе.Б. - конфокалькый параметр 11 учкаапосле линзы 2;Е., - длина пути ее;кон, соответствующая нулевому 11 орядку ентРрферРИ 1 тиис 1 - расстояние от линзыда свеТОДЕЛИ Е РПЯ Интеоферометр работает следую 1 е,иобразом,Выходящий из источника 1 когерентного излучения световой пучок прохс".дит линзы 2 и 3 и разделяется свето -делителем 4 на два пучка, Каждый иэдвух пучков, отразиьпись от отража-:телей 5 и 6, 7 и 8 соответственно,.направляется на светосоедикитель 9,который совмеща.ет Оба пучка и капранляет на фотоприемники 10 и: 11,. Расстояепее между линзой 3 и перегяжкой геучка после линзы 2 Выбирается так, что Еееретяжка пучка послелинзы 3 располагается в месте нулевой разности хода интерферирующихпучков, Вследствие симметричности пучка излучения относительно перетяжкипо Всей длине хода светосоединителя 9 0 и:1 ощади иктерферирующих пучков равныи контрастность интерференционнойкартины максимальна и постоянна,При перемещении объекта 12 со светосоедикителем 9 и фотоприемниками 10и 11 вдоль пучков изменяется разностьхода пучков, что вызывает перемещение интерферекционкых полос в плоскости фотоприемников 10 и 11, 0 величине перемещения объекта. 12 судят почислу полос, зарегистрированному реверсивным счетчиком 13 импульсов,Формупа из обретенияИнтерферометр для измерения линейнь:.х перемещееЕий, содержащий две линзы, источник когерентного излучения,расположенные поспедовательно по ходу излучения светоделитель, делящий10 пучок излучения на два, четыре отражателя, расположенные попарно в каждом из пучков, и предназначенные длязакрепления на обьекте светосоединитечь, два фотоприемника, оптическисвязаккые со светосоединителем, и3 гсчетчик импульсов, электрически связанный с фотоприемниками О т л ич а и щ и й с я тем, что, с цельюповышееЕия точности измерения, линзье":таковлекее последовательно по ходуДизлучения между источником излученияк светоделителем таким образом,чтоВторая по ходу излучения линза уста 11 ое 1 леееа на расстоянииО г перетяжки пучка после первой походу излучен 11 я ли:Еэы,Ееее .= - а Окусное расстояние второйходу излучРИИя Лины;) ГР - кокфокальеЕый параметр пучкапосле первой по ходу иэлучеЕЕИЯ .Г 1 ИНЗЫ;.ь - длина пути пучков, соответствующая нулевому порядку интерферееЕциид - расстояеЕие от второй по ходуизлучения линэь: до светоделителя.1326879 Составитель А.Гордеевактор Т.Лазоренко Техред В,Кадар Корректор Т,Колб Заказ 3269/3 ВНИИПИ г и 113035,шс Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород роектна Тираж 676 Государстве делам изобре осква, Ж,Подписмитета СССРоткрытийя наб., д, 4/