Установка для жидкостной химической обработки

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ латин,евозников во СССР 2, 1975.о СССР 2, 1980.ЛЯ ЖИДКОСТРАБОТКИ, вклюяд ванн с техззг ь ююр ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) (57) УСТАНОВКА ДНОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ОБчающая прямолинейный р нологическими жидкостями, кожух и связанный с приводом через кинематическую пару и вал кривошип с пальцем, шарнирно соединенным с подвеской, несущей кассеты, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности работы, и качества обработки, она снабжена размещенным внутри кожуха качающимся водилом, имеющим дополнительный привод и связанным с последним посредством полого вала, при этом вал кривошипа эксцентрично смонтирован на качающемся водиле, а между валом кривошипа и водилом, водилом и кожухом и полым валом и кожухом имеются уплотнения.Изобретение относится к устройствам для химической обработки изделий в жидких средах (очистка, травление, полировка и т.п,) и может найти применение в производстве электровакуумных и полупроводниковых приборов.Целью изобретения является повышение надежности работы и качества обработки.На, фиг. 1 показана установка, разрез, перпендикулярный направлению ряда ванн; на фиг. 2 - то же, вертикальный разрез по направлению ряда ванн.Установка содержит ряд ванн 1, камера 2 над ними ограничена кожухом 3. Изделия обрабатываются и транспортируются в кассетах 4. Пневмоцилиндр 5 своим штоком 6, который имеет опоры 7, соединен с зубчатой рейкой 8, сцепленной с зубчатым колесом 9. Оно закреплено на валу 10, имеющем опоры 11 и соединенном с зубчатым шкивом 12. Последний через зубчатый ремень 13 связан с зубчатым шкивом 14, который закреплен на валу 15, имеющем опоры 16. Своим консольно выступающим концом вал 15 входит через кольцевое уплотнение 17 в камеру 2 и скреплен с криво- шипом 18. Палец 19 кривошипа шарнирно соединен с подвеской 20, несущей группу кассет 4 за счет сцепления ее выступов 21 с выступами 22 кассет. Пневмоцилиндр 23 своим штоком 24, который имеет опоры 25, соединен с зубчатой рейкой 26, входящей в зацепление с зубчатым колесом 27, Оно закреплено на полом валу 28, который имеет опоры 29 и своим консольно выступающим концом введен через кольцевое уплотнение 30 в камеру 2 и сцеплен с качающимся водилом 31, несущим опоры 16 вала 15. По варианту установки уплотнения 32 оно контактирует с внешней поверхностью полого водила 31, имеет радиус, превышающий расстояние между осями вала 15 и полого вала 28. Подвеска 20 шарнирно соединена с пальцами кривошипов. двух одинаковых механизмов, имеющих общий привод от пневмоцилиндрв 5 и 23.Расстояние между параллельными осями валов 15 и 28 в ,5 раза превышает расстояние между параллельными осями вала 15 и пальца 19, соотношение чисел зубьев шкивов 12 и 14 составляет 4:1.При работе установки водило 31 и кривошипы 18 двух механизмов перемещаются синхронно. К моменту окончания обработки изделий в ваннах 1 пневмоцилиндры 5 и 23 неподвижны, Первым совершает прямой ход пневмоцилиндр 5 и через шток 6, зубчатые рейку 8 и колесо 9, вал 10, зубчатые шкивы 12, 14 и ремень 13 при неподвижном водиле 31 и опорах 16 приводится во вращательное движение вал 15. Кривошип 18 5 1 О 15 20 25 ЗО 35 40 45 5 О поворачивается на определенный угол и своим пальцем 19 перемещает подвеску 20, выступы 21 которой входят в зону сцепления с выступами 22 группы кассет 4. Далее при неподвижном пневмоцилиндре 5 и зубчатом шкиве 12 совершает прямой ход пневмоцилиндр 23. Через шток 24, зубчатые рейку 26 и колесо 27 и полый вал 28 передается вращение водилу 31. За счет сцепления зубчатого ремня 13 с неподвижным зубчатым шкивом 12 и зубчатым шкивом 14 при вращении опор 16 вместе с водилом 31 получают вращение вал 15 и кривошип 18 с пальцем 19.В результате сложения вращательных движений водила 31 и кривошипа 18 кассеты 4 с изделиями за время прямого хода пневмоцилиндра 23 перегружаются в последующие ванны. Траектория перемещения пальца 19, подвески 20 и кассет 4 является частью укороченной гипоциклоиды ЗЗ (фиг. 2) . При шаге расположения ванн, равном 1, вертикальные и горизонтальные участки траектории отличаются от прямых линий не более чем на 0,0031, а в местах сопряжения скруглены дугами радиуса г- -0,11, Приводы и передачи, осуществляющие перемещения кривошипа 18 и водила 31, могут отличаться от выше описанных, но для получения требуемой траектории перемещения кассет принципиальное значение имеют оговоренные конструктивные и кинематические данные кривошипа и водила,Для интенсификации обработки изделий в ваннах при неподвижном пневмоцилиндре 5 с приводом от пневмоцилиндра 23 штоку 24 сообщается возвратно-поступательное перемещение на некоторую часть полного хода, при этом кассеты 4 имеют возвратно-поступательное перемещение в ограниченных пределах. После окончания этого процесса следует обратный ход пневмоцилиндра 5 и затем обратный ход пневмоцилиндра 23. Перемещения звеньев кинематических цепей аналогичны описанным, но противоположны по направлению. В результате выступы 21 подвески 20 выходят из зоны сцепления с выступами 22 кассет 4, они остаются в ваннах 1, а перегрузочный механизм совершает обратный ход, возвращаясь в исходное положение.При прямом и обратном ходах перегрузочного механизма работают кольцевые уплотнения 17 и 30 или 32. Они установлены на концах вала 15 и полого вала 28 или водила 31, выступающих за пределы зоны расположения кинематических опор и передач, отделяют от камеры 2 кинематические опоры 7, 11, 16, 25, 29 и передачи с зубчатыми рейками, колесами и шкивами 8, 9, 12, 14, 26, 27.1217754 иг едактор М. Банда к аз 1069/25 мч Составитель Б ура Техред И. Верес Тираж 833 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений13035, Москва, Ж - 35, Рау филиал ППП Патент, г. УжгоолчановКорректор МПодписноеомитета СССРоткрытийкая наб., д. 4/5д, ул. Проектная,