Растровый оже-микроанализатор

(5)4 Н 01 3 37/256 ЭСЕСЬЮЗНАЯ ВАЖЖ;":,.ТЕХЙИ;ДВВБЯЙОТЕИ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯХ АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(56) Патент ФРГ Иф 2245397,кл. Н 01 7 37/28, опублик. 1978.Патент США В 4205226,кл. Н 01 Л 39/00, опублик. 1980.(54) (57) 1. РАСТРОВЫЙ ОЖЕ-МИКРОАНАЛИЗАТОР, содержащий соединенныемежду собой по корпусу колонну с ЯО 1173463 А электромагнитной формирующей системой и камеру образцов, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью увеличения предельного разрежения за счет увеличения допустимой температуры прогрева камеры образцов, внутренние полости колонны и камеры образцов разделены металлической мембраной.2. Оже-микроанализатор по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что соединение колонны и камеры выполнено по их периферии через теплоиэолирующие элементы.Изобретение относится к электронно-зондовым приборам, в которых вторичные элементы, в том числе и ожеэлектроны, возникающие в результате бомбардировки первичным электронным 5 пучком поверхности исследуемого образца, используются для получения количественной и качественной информации о химическом составе поверхности образца как в режиме сканирования, так и при точечном анализе,Цель изобретения - увеличение предельного разрежения за счет увеличения допустимой температурыпрогрева камеры образцов, 15На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.Металлическая мембрана 1 приварена к наружной стенке электромагнитной линзы 2 Формирующей системы и к 20 внутреннему стакану 3 верхней крышки 4 камеры 5 образцов, Через кронштейны б проходят охлаждаемые полые болты 7 со штуцерами на концах. Болты проходят внутри опорных тепло изолирующих элементов, например керамических втулок 8, и ввинчены в выступы крышки 4, обеспечивая тем самым Фиксацию колонны 9 в пространстве и передачу ее веса помимо мембра ны через втулки 8 на камеру образцов. В камере образцов расположен анали,затор 10 и объектодержатель 11. Патрубки 12 служат для соединения с вакуумной системой, а штуцеры 13 - для соединения с системой охлаждения,Устройство работает следующим образом.В колонне 9 Формируется электронный пучок, ВозбуждакиДИЙ вторичные 40 электроны с поверхности образца, которые анализируются по энергиям анализатором 10, При прогреве камеры 5 образцов происходит передача тепла электромагнитной колонне 9, что может отрицательно влиять на электронно-оптические параметры формирующей системы, Тонкая кольцевая вакуумно-плотная металлическая мембрана 1, разделяющая полости колонны и камеры образцов, сводит к минимуму передачутепла от камеры к колонне. Фиксация положения колонны 9 и передача ее веса на камеру 5 образцов обеспечивается через кронштейны б, жестко связанные с колонной, и через расположенные на некотором расстоянии от колонны опорные теплоизолирующие элементы - втулки 8, через которые проходят полые охлаждаемые болты 7, ввинчиваемые в крьппку камеры 5 образцов, Материалы теплоизолирующих втулок 8 выбираются так, чтобы минимизировать передачу тепла к колонне 9 и создать необходимый градиент температуры между ней и камерой образцов. Этому же способствует использование охлаждающей воды в период прогрева для охлаждения электромагнитных линз 2 и полых болтов 7.Наличие мембраны уменьшает переток тепла к колонке при прогреве камеры образцов, а дополнительное охлаж. дение колонны и полых стягивающих болтов проточной водой способствует увеличению градиента температуры между камерой и колонной. Такая конструктивная схема позволяет прогревать камеру до 250-350 С при сохранении темопературы колонны не более 60-80 С. Повьппение температуры прогрева камеры увеличивает более, чем на порядок коэффициент диффузии газов с внутренних вакуумных поверхностей, уменьшая время обезгаживания и, следовательно, время откачки прибора, а также давление в нем остаточных газов..Шеки ин оррект Заказ 5073/5 Тираж б 79 Подписное НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 5, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5