Патенты с меткой «оже-микроанализатор»

Номер патента: 1173463

Опубликовано: 15.08.1985

Авторы: Алимов, Краснушкин, Соловьев, Топорков

МПК: H01J 37/256

Метки: оже-микроанализатор, растровый

...на концах. Болты проходят внутри опорных тепло изолирующих элементов, например керамических втулок 8, и ввинчены в выступы крышки 4, обеспечивая тем самым Фиксацию колонны 9 в пространстве и передачу ее веса помимо мембра ны через втулки 8 на камеру образцов. В камере образцов расположен анали,затор 10 и объектодержатель 11. Патрубки 12 служат для соединения с вакуумной системой, а штуцеры 13 - для соединения с системой охлаждения,Устройство работает следующим образом.В колонне 9 Формируется электронный пучок, ВозбуждакиДИЙ вторичные 40 электроны с поверхности образца, которые анализируются по энергиям анализатором 10, При прогреве камеры 5 образцов происходит передача тепла электромагнитной колонне 9, что может отрицательно влиять на...