H01J 37/256 — с использованием сканирующих лучей

Номер патента: 327470

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бойко, Специальное, Шмаков

МПК: H01J 37/256

Метки: вб1числения, величине, ихдиаметра, л1икрообъектов, плотности, прибор, распределения, функции

...видеоимпульсы с выхода первой линии задержки, т. е, видеоимпульсы предыдущей строки сканирования, Схема определения конца мцкрообъекта выдает сигнал конец микрообъекта ца вход схемы управления тогда, когда вцдеоимпульс от данного микро- объекта ца предыдущец строке сканирования це накладывается ца видеоимпульс текуцгес.На два входа схемы сравнения длительностей видеоимпульсов поступают видеоимпульсы с выхода сканирующего микроскопа и с выхода первой лиии задеркки. Схема 5 выдает сцгцал на схему управления 4 тогда, когда длительность видеоимцульса от данного микрообъекта ца предыдугцей строке сканирования больше длительности видеоимцульса от того же микрообъекта ца текущей строке сканирования. Для выпуклых частиц первый сигнал,...

Номер патента: 1173463

Опубликовано: 15.08.1985

Авторы: Алимов, Краснушкин, Соловьев, Топорков

МПК: H01J 37/256

Метки: оже-микроанализатор, растровый

...на концах. Болты проходят внутри опорных тепло изолирующих элементов, например керамических втулок 8, и ввинчены в выступы крышки 4, обеспечивая тем самым Фиксацию колонны 9 в пространстве и передачу ее веса помимо мембра ны через втулки 8 на камеру образцов. В камере образцов расположен анали,затор 10 и объектодержатель 11. Патрубки 12 служат для соединения с вакуумной системой, а штуцеры 13 - для соединения с системой охлаждения,Устройство работает следующим образом.В колонне 9 Формируется электронный пучок, ВозбуждакиДИЙ вторичные 40 электроны с поверхности образца, которые анализируются по энергиям анализатором 10, При прогреве камеры 5 образцов происходит передача тепла электромагнитной колонне 9, что может отрицательно влиять на...