Устройство для измерения деформаций диффузно отражающих объектов

СС 1 ОЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 1511 С О 1 В 11/ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРСКОМУ СВйдЕтЕЛьСТБУ(56) 1.Хохлов В.В. Гологгетеродинная интерферомеопорным пучком, Труды П кмолодых ученых Б 1 ИФ ЛГУ,с.68-7 О, деп,ВИНИТИ, У 4прототип ( э т точно афическая рия с однимонференциит216,1982 ГОСУДАРСТВЕННОЙ НОМИТЕТ СССОО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯДЕФОРИАЩФ ДИФФУЗНООТРАЖАЮЩИХОЬЪЕКТОВ, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучения, транспарант с приводом интерферометр сдвига, состоящий иэ двух параллельных дифракционпы решеток с параллельно ориентированными штрихами, два фотоприемника и фазометр, подключенныйк выходам фотоприемников, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюповышения точности измерений оноснабжено установленным между источником когерентного излучения и транспарантом гетеродинным интерферомет,ЯО, 112681,;, .А ром сдвига с апертурной диафрагмой,величина сдвига которого равна диаметру его апертурной диафрагмы, транспарант выполнен в виде спекл-фотографии с разнесенной спекл-струтурой, промодулированной интерференционными полосами, ориентированными перпендикулярно вектору смещенияразнесенной спекл-структуры, и установлен под углом Брэгга к оптической оси так, что напраю 1 ение сцвига гетеродинного интерферометра лежит в одной плоскости с векторомсмещения разнесенной спекл-структуры, проекция вектора смещения нанаправление, перпендикулярное оптической оси устройства в плоскостисдвига гетеродинного интерферометрасдвига, равна величине этого сдвига,решетки интерферометра сдвига установлены параллельно плоскости транспаранта так, что штрихи решеток ариен=:тированы перпендикулярно векторусмещения разнесенной спекл-структуры, один из фотоприеюшков установленв ходе излучения, прошедшего черезтранспарант без отклонения, а другой фотоприемник установлен в ходеизлучения рассеянного на транспаран2 б 82Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь:зонано для контроля деформаций диффузно ОтрЯжЯющих ОбъектовНаиболее близким к иэобре"еникПО ТЕХНИхЕСКОЙ СУЩНОСТИ И ДОСтсГЯЕиыи реэультатаи является устройстводля измерения деформаций цифОуэнсотражающих объектов, содержащеепоследовательно установленные источник когерентного излучения.транспарант с приводом,интерфероиетрсдвига состоящий иэ двух паралчель.ьгх дифракционых решеток с парап-лельно ориентированными штрихами,,цва фотоприемника и фаэометр ПодКЛЮЧЕЩЫй К НЫХОПЯМ СОТООИЕ,ЦИКОНВзаимное перемещение решеток в нап.равлении, перпендикулярном штрихамприводит к смещению частоты одногсиз лучей, что позволяет пэоиэводитьподсчет интерференционных полос 11Недостаток известного устройстна - невысокая точность измерений,обусловленная раэъюстировкой паралпельности штрнхон решеток в процесс,.ИХ ОТНОСИТЕЛЬНОГО ПЕРЕМЕШЕНИЯ.Цель изобретения - повышениеточности измерений,Поставленная цель достигается тем, что устройство для измерения деформаций циффуэноотражающнх оосьек:тов, соержащее последова. ельно установленные исто и;ик когеоенсного ИЗЛУЧЕНИЯ ТОЯНСП ЯР а Ств НО 1 Г интерферо метр сдвига, состосгший Двух параллелььщх дифракционньгсрешеток с параллельно ориентированньий штрихями дна 0:ОтопнееиИка Б фаэометр, подключенный к выходам фОтоприРмникон, снЯбженосЯновлении между источником кс гер нтногсизлучения и транспарантом ГетероДИННЫМ ИНТРРфЕРОИЕТРОМ С;,Внга С апертурной диафрагмой, всличи; сдвига которого равна диаметру етс япертурнОй ИафряГмы трявспарант выполнен н виде спекл-фотографии с разнесенной спекл-структурой., промОдулировяннОй Бнтерфаренииониь 2 иполосами, ориентированными перпендикулярно вектору смещения рыка- СЕННОИ СПЕКПтруктуы и ,ЛЕН ПОД УГЛОМ ВРЗГГЯ К ОПТИЧЕСЭТЯК ЧТО НЯПРЯВсЕНИЕ ПВ 7 РРд.родичного интерферометря лент з ОДНОЙ ПЛОСК )СТИ С ВЕКТОРОМ Сишсьну Я разнесенной спекл струк уры прОР " ция вектора смещения на направление, перпендикулярное оптической оси уст-, ройства в плоскости сдвига гетеродинлого Нтерферометра сднига, равнавеличине этОГО сдвига решетки н нтерферометра сдвига установленыпараллельно плоскости транспаранта так, что штрихи решеток ориентиронаны перпендикулярно векторт смещения разнесенной спекл-с:труктуры, один иэ фотоприемников установлен в ходеизлучения прошедшего через транспарант беэ отклонения, а другой фоториемник установлен в ходе излучениярассеянного на тэанспаранте,На чертеже изображена оптическая.хема устройства для измерения деаармаций диффуэноотражающих объектов,устройство с.одержит источник 1когерентнс:го излучения, ГетеродинныйТерферометр 2 сдвига транспарант,выполненный в виде спеклфотографии 3кон.ролируемаго объекта, интерферометр -: сдвига, фотоприемники 5 и б,ваэаметр устройство работает следующимобразом,гетерор;-нный Интерферометр 2 сдвиГа состоящий, например, нэ вращаю ейся радиальной решетки и днух эбъективсВ, формирует два пучкя иэлу-ения с различными частотами, сдвиг .ежду пучками равен их диаметру,Пучки с:свешают установленную эод улои Ьрэгга х оптической Оси спеэп-фотографию 3 на которой деоОрмация сбъекта зарегистрирована .О схеме. с маскированной япертурои при,сем мевцу экспозициями фотография смещалась н награвлении параллельном лни, соединяющей центры иафрагм объектива Проекция век-ора с.иещения спекл-структуры на направление,. перпендикулярное ОптическОй Оси устройстня в плоспсости цвига ге 1 еръдинногс ин 1 ерферомРт: а сдвига, Ванна величине сдвига межцу пучками излучения поэтому зле;Риты спекп-структуры зарегистрированные на спекл-. фотографии 3, освщаются с различной частстой, . Нтерсерометр 4 сдвига состоящий .з двух парацпельных дифракционньж ;ЕаЕТОК, чотЯНОНЛЕННЫХ ПЯРЯЛЛЕЛЬНО сгсек -фотографии 3 совмещает раз-, :-;есенные г простванстве пучки, хэторые и-.,терферируют между собой, сьэто, в риемник 5 регистрирует сигналСоставитель С,ГрачевТехрфд М,Надь Корректор О,Билак Редактор А.Долинич Заказ 8679/30 Тираш 586 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035,Москва,Ж,Раушская наб.,д,4/5 филиал ППП "Патент", г.ушгород,ул,Проектная,4 3 11268 который определяется интерференцией излучения, не рассеянного на спеклфотографии 3. Этот сигнал является опорным, его фаза не зависит отвеличины смещения элементов спеклструктуры, фотоприемник 6 регистрирует сигнал, образующийся в результате интерференции лучей, исходящих от идентичных элементовспекл-структуры. В фазе этого сигнала заложена информация о деформации 12 4объекта. Изменение фазы относительно фазы опорного сигнала регистрируется фазометром 7. Приводне показан ) перемещает спекл-фотографию 3 для исследования деформаций различных точек объекта.Точность измерения деформаций данным устройством выше, чем в протЬ- типе, поскольку в нем требуется про- изводить сканирование решетками интерферометра.