Интерференционный отрезающий фильтр

(54)(57) 1ЗАЮЯИЙ ФИЛ ТРЕачную ИНТЕРФЕР ТР, содер последова ней перво жащии протельно рай и второсостоящими тр по п. 1 отл в кач ч аве м 2. Фищ и й поло- многоодложк енными лойными я тем, что высоким пок телем пр нала систем аний, а ем прел ате ления использован герала с низким показатемоноокись кремния. ьволновых по спев материалов с ся четвер олщине сл низким по чередующитическойвысоким е ателями пр ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) 1. Фурман Ш.А. Тонкослойныетические покрытия. Л., "1 ащинострение", 1977, с77-78.2. Крылова Т.Н. Интерференционпокрытия. Л., 1973, с. 81 (протот ломления и выполненными с центром надлине волны 3 и 3 соответственно, при этом первый и последний слои пер вой и вторрй многослойных систем выполнены из материала с высоким показателем преломления и оптическойтолщиной 3 /8 и/8 соответственно, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения интегрального коэффициента фона при сохранении м симального пропускания, между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломления и оптической толщиной, равной 3/8.Изобретение относится к интерфе"ренционным покрытиям физики тонкихпленок и может найти широкое приме"нение в оптике, астрономии, спек"тральных и космических исследованиях, в частности в аналитическом приборостроении интерференционные фильтры могут быть использованы в качестве монохроматизирующих элементов длявыделения полос поглощения аналиэируемых газовых компонентов,Известен интерференционный фильтр,содержащий стеклянную, кварцевую иликакую-либо иную прозрачную подложку, два четвертьволновых зеркала, 15образованных чередующимися слоямидиэлектриков с высоким и низким показателями преломления, при этом между зеркалами расположен промежуточный диэлектрический слой с оптической толщиной, кратной половинедлины световой волны и ,Недостатком такого устройстваявляется то, что область максимального отражения сравнительно невелика и имеет, кроме того, осцилляцию, т.е. участки с низким коэффициентом отражения.Известен интерференционный отрезающий фильтр, содержащий прозрач- З 0ную подложку с последовательно расположенными на ней первой и второймногослойными системами, состоящимииз чередующихся четвертьволновых пооптической толщине слоев материаловс высоким и низким показателями преломления, и выполненными с центром1на длине волныи Я соответственйо.при этом первый и последний слоипервой и второй многослойной системы выполнены из материала с высоцким показателем преломления и оптической толциной/8 и ,8 соответственно 2 .1Известная конструкция расширяетобласть максимального отражения, ноне устраняет осцилляции коэффициента отражения в области блокированИя, что приводит к увеличению интегрального значения фона. 501 ель изобретения - уменьшениеинтегрального коэффициента фонапри сохранении максимального пропус"кания.Поставленная цель достигается 55тем, что в интерференционном отреза.ющем фильтре, содержащем прозрачнуюподложку с последовательно расположеяными на ней первой и второймногослойными системами, состоящимииз чередующихся четвертьволновыхпо оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления и выполненными сцентром на длине волныисоответственно, при этом первый и последний слои первой и второй многослойных систем выполнены из материала с высоким показателем преломления и оптической толщиной Я (8 и(8 соответственно, между первойи второй многослойными системамивведен согласующий слой материалас низким показателем преломления иоптической толщиной, равной 5/8,При этом в качестве материала свысоким показателем преломления использован германий (е); а материала с низким показателем преломления -двуокись кремния (510),На фиг,приведена конструкция,интерференционного отрезающего фильтра; на фиг, 2 - спектральная характеристика предлагаемого фильтра ссогласующим слоем; на фиг, 3-то же,с согласующим слоем в области блокирования, где Т - коэффициент пропускания,% - длина волны (мкм),Устройство содержит подложку 1, слои 2 с высоким показателем преломления, слои 3 с низким показателем преломления и согласующий слой 4,Из фиг, 2 и 3 видно, что в области максимального отражения фильтра отсутствуют участки с низким коэффициентом отражения, чем улучшаются эксплуатационные характеристики фильтра, повышается его избирательность.Например, для интерференционного отрезающего фильтра, состоящего из слоев германия и моноокиси кремния, для 13-слойной системы введение согласующего слоя приводит к уменьшению значения интегрального пропускания в области блокирования на порядок.Предлагаемое устройство может быть использовано во многих областях науки и техники: в оптике, астрономии, спектральных и космических исследованиях так как позволяет уменьшить осцилляции коэффициентаз 1125588 4отражения в области блокирования, что этом коэффициент пропуСкания и прйводит к уменьшению интеграль- не усложняя технологии изготовного значения фона, не уменьшая при ления .1 р Ямнм Составитель И.Осташенкоедактор Р.Цицика Техред .А.Бабинец Корректор С.Шекм аказ иал ППП "Патент", г.Ужгород,ул.Проект,Рг Зб/35 Тираж 49 б ВНИИПИ Государственног по делам изобретени 113035, Москва, Щ, РПодписноекомитета СССРи открытийшская наб.,д.4/5