Способ контроля чистоты обработки поверхности

(у)4 С 01 В 15/ ЕТЕНИ с у, М ЬФ 4 ЬцВЯафЮЯ АВЮ"ЩЫ:П ТВУ 31Карамянитут ядер 1 епсе Парнасов омеров по Атомизда ип). ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТ ОПИСАНИЕ ИЗ К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТ(56) 1. Тиг 1 сечхсЬ А.Зс3480, р. 672-673.2. Румянцев С.В,Применение, бета-толщинв промьппленности. М.,980, с. 72-74. (протот 801105001 д(54) (57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийсяв том, что направляют на контролируемую поверхность поток ионизируных ющего излучения под углом к ней ирегистрируют интенсивность обратнорассеянного поверхностью излучения, 1,134 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью расширения диапазона иэмере- В.С. ния, угол падения выбирается в диакрытий пазоне 60+15 по отношению к поверхности, угол выхода обратно-рассеяну Фоного излучения - 10 й 5 , а в качестве источника ионизирующего излученияиспользуют альфа-источник. е001 1 1105Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, к способам для измерения шероховатостиповерхности с помощью волновых излучений или потоков элементарных частиц.Известен способ контроля поверхности, реализуемый устройством, состоящим из источника альфа-частиц,детектора и ЭлекТронной системы, 1 Оизмеряющей спектр обратно-рассеяных на образце альфа-частиц для определения элементного состава вещества 1,1.Его недостатком является то, что 15оптимизация условий определенияядерного состава материала исключает чувствительность устройства кнеровностям поверхности.Наиболее близким к изобретению щоявляется способ контроля чистотыобработки поверхности, заключающий-.ся в том, что направляют на контролируемую поверхность поток ионизирующего излучения под уГлом к ней и 2регистрируют интенсивность обратно-рассеянного поверхностью излучения 2 ,Его недостатком является узкийдиапазон действия для контроля толь- ЗОко сравнительно крупных неровностей,соответствующих 2-4 классу точностиобработки. Это ограничение связано сособенностями пробега бета-частиц ввеществе, а именно с относительнобольшой величиной среднего пробегабета-частиц (десятки и сотни микро метров) и с бо:;ьшим разбросом пробегон,Целью изобретения является расши Орение диапазона измерения контролируемых неровностей в область микронеровностей, соответствующих средним классам точности обработки вплотьдо 8 класса,45 точника ионизирующего излучения используют альфа-источник.На чертеже показана схема устройства, реализУющего способ контролячистоты обработки поверхности.С одной стороны от объекта 1 контроля расположены коллимированныеисточник 2, детектор 3 излученияи электронная схема 4 регистрацииобратно-расссеянного поверхностьюизлучения, Угол о падения излучениявыбран в диапазоне 60+10 по отношению к поверхности, угол ф выходаобратно-рассеянного излучения -105 . В качестве источника 2 ионизирующего излучения использован альфа-источникИсточник 2 и детектор3 заключены в корпуса-коллиматоры5 и 6,Способ осуществляется следующимобразом.Альфа-частицы выходят из корпусаколлиматора 5 через фольгу и падают на поверхность объекта контроля.Рассеянные на угол 75 (относительноисходного направления) частицы вьюходят под углом около 15 к поверхности объекта контроля, проходятчерез фольгу, затем через корпус-коллиматор 6 и регистрируются детектором 3, Все элементы закреплены наподставке 7 и расположены в условиях атмосферного давления воздуха.Электрический сигнал с детектора 3излучения усиливается и регистрируется в схеме 4 регистрации, котораяопрецеляет интенсивность обратно-рассеянных альфа-частиц, рассеянныхобъектом контроля, которая зависитот чистоты обработки поверхности(при постоянных условиях измерения),Таким образом, при увеличении неровностей поверхности объекта контроля интенсивность рассеянных частицубывает, Цель достигается тем, что по способу контролячистоты обработки поверхности, заключающемуся н том, что направляют на контролируемую поверх ность поток ионизирующего излучения под углом к ней и регистрируют интенсивность обратно-рассеянного поверхностью излучения, угол падения излучения выбирают н диапазоне55 60+15 по отношению к поверхности, угол выхода обратно-рассеянного излучения - 10+5, а в качестве исНаибольшая чувствительность способа к микронеровностям объекта контроля создается н случае, когда угол падения излучения выбирается в диапазоне 60+15 по отношению к поверхности, а угол выхода обратно-рассеянного излучения - 10+5. Альфа-источник по сравнению с другими типами источников позволяет расширить диапазон контролируемых микронеровностей вплоть до размера десятых долей микрометра из-за малого пробега альФа-частиц.Редактор Л.Утехина Техред С.Мигунова КорректорМ,Максимишинец Заказ 5766/3 Тираж 651 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 310500Определение класса обработки по-верхности с помощью данного способа производится путем сравнения измеренной скорости счета рассеяния от образца с градуировочной кривой зависимос-ти скорости счета рассеянных альфа 1 4частиц от класса обработки поверхнн"ти, Градуировочная кривая должна бытьполучена с помощью эталонов обработ -ки поверхности, сделанньж из тогоже материала, что и контролируемыйобразец, при этом же уровне дискриминации порогового устройства