G01B 15/08 — для измерения шероховатости или неровности поверхностей

Номер патента: 647521

Опубликовано: 15.02.1979

Авторы: Киселева, Турянский

МПК: G01B 15/08

Метки: качества, поверхности

...с гкьк вращения карусели.И таком случае для любого ре(тг(новского пуа в тучах его пересе ения с кругом вращения образцов углы наклона к контролируемой поверхности будут равны ввиду того, что они образованы хордой и двумя радиусами, и, соответственно, будут равны доли отраженного излучения, регистрируемого детекторами 9, 10 в моменты прохождения контролируемой поверхности через сече 10 ние рентгеновского пучка. Однако, как отме чалось выцте, практически контролируемая поверхность при каждой новой установке образца 7 оказывается смещенной от выбранного положения на некоторый угол Ь(р. Тем 15 не менее при контроле по предлагаемому способу это не приводит к возникновению ошибки, присущей известному способу и равной 1 - 1 р+ Л(р),...

Номер патента: 672480

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Зубков, Киселева, Турянский, Цыпкин

МПК: G01B 15/08

Метки: качества, поверхности

...технологические циклы обработки,Указанный недостаток обусловлен влиянием на величину коэффициента отражения рентгеновских, лучей плотности по верхностного слоя, толщина которого, какправило, непостоянна.Кроме того, этот способ контроля малоинформативен: отсутствуют данные остепени однородности поверхностного слоя,Бель изобретения - повышение точности и информативности контроля,Поставленная цель достигается тем,что фиксируют угол скольжения Р рентгеновского пучка относительно контролируемой поверхности в интервалах от 2-2,5до 5-7 расчетных значений критическогоугла полного внешнего отражения контролируемого образца и регистрируют угловое распределение рассеянного излученияв интервале углов рассеяние от Р до 2 МПри прохождении...

Номер патента: 859810

Опубликовано: 30.08.1981

Авторы: Зубков, Киселева, Сисакян, Турянский

МПК: G01B 15/08

Метки: качества, поверхности

...покрытия 300-1000 И удаетсяобеспечить повторение геометрического рельефа оптически полированной поверхности. В результате на внешней 40и внутренней границах раздела возникает корреляция в расположении такихособенностей геометрического рельефакак выступы и впадины, Юоторые припропускании через них рентгеновского 45излучения могут являться источникамирассеянного излучения. В случае нанесения слоя строго фиксированнойтолщины такая корреляция приводитк появлению интерференционных максимумов на угловой диаграмме рассеяния,причем интенсивность этих максимумов несет информацию о геометрическом рельефе поверхности. Для наблюдения интерференционной картины иоднозначности получаемых из нее результатов необходимо выполнение следующих...

Номер патента: 1105001

Опубликовано: 23.08.1985

Авторы: Бугров, Карамян

МПК: G01B 15/08

Метки: поверхности, чистоты

...вплотьдо 8 класса,45 точника ионизирующего излучения используют альфа-источник.На чертеже показана схема устройства, реализУющего способ контролячистоты обработки поверхности.С одной стороны от объекта 1 контроля расположены коллимированныеисточник 2, детектор 3 излученияи электронная схема 4 регистрацииобратно-расссеянного поверхностьюизлучения, Угол о падения излучениявыбран в диапазоне 60+10 по отношению к поверхности, угол ф выходаобратно-рассеянного излучения -105 . В качестве источника 2 ионизирующего излучения использован альфа-источникИсточник 2 и детектор3 заключены в корпуса-коллиматоры5 и 6,Способ осуществляется следующимобразом.Альфа-частицы выходят из корпусаколлиматора 5 через фольгу и падают на поверхность объекта...

Номер патента: 1270561

Опубликовано: 15.11.1986

Авторы: Зверев, Иванов, Янчукович

МПК: G01B 15/08

Метки: поверхности, шероховатости

...рентгеновскоеизлучение, например, для возбужденияатомов с атомным номером, меньшим13 -М -частиц, для возбуждения более 50тяжелых атомов - мягкое рентгеновскоеизлучение, источниками которых могутбыть рентгеновские трубки, радиоизотопные источники, ускорители заряженных частиц. Энергию первичного излучения выбирают такой, чтобы его проникающая способность была одного порядка с характерными размерами шероб 1 1ховатостей, но большей энергии иониэации, соответствующей внутреннейоболочки атома для мягкого рентгеновского излучения, и большей 1 МэВ дляд;частиц, Угол падения первичного излучения выбирают в пределах 10-309что повышает чувствительность измерений, Угол регистрации вторичного характеристического рентгеновского иэ-а,лучения должен...

Номер патента: 1375953

Опубликовано: 23.02.1988

Авторы: Алексушин, Шульц

МПК: G01B 15/08

Метки: поверхности, шероховатости

...угломна по)верхность исследуемого образца 2.Флуоресцентное характеристическоеизлучение отбирают под угломи егоинтенсивность измеряют устрдйством3 вьделения и регистрации. В качестве такого устройства можно использовать, например, кристальный монохроматор, пропорциональный счетчик с последующим выделением характеристического излучения пороговыми устройства-ми и т.п,Энергию первичного излучения выбирают исходя из получения максимальной 45 чувствительности для данного интервала шероховатости поверхности образцаи достаточную для возбуждения выбранного флуоресцирующего элемента. Энергию изменяют напряжением на рентге 50 новской трубке с помощью селективных фильтров сменой изотопов и т.п. Для получения максимальной чувствительности измерений...

Номер патента: 1392360

Опубликовано: 30.04.1988

Авторы: Григорьев, Мышкин, Холодилов

МПК: G01B 15/08

Метки: поверхности, твердых, тел, шероховатости

...точках.Высоту шероховатости профиля опре-.деляют по формуле(1)а 6 Бгде Б, и Я - интенсивность вторичного электронного излучения до и после поворота 35соответственно;Ь 9 - угол наклона поверхности;1 - расстояние перемещения40пучка электронов, присканировании.Реализация способа осуществляласьна растровом электронном микроскопе1 ЯМА.Исследовалась поверхность тест-образца, имеющего в сечении треуголь-ный профиль, представляющая собойпример поверхности с детермированнойшероховатостью.Образец помещали в камеру объектов 50микроскопа, где создавали вакуум10 -1 К Па. На образец направлялиэсфокусированный пучок электронов,Взаимодействуя с поверхностью образцапучок вызывал эмиссию вторичных элек тронов, интенсивность которых регистрировалась...