Прибор с зарядовой связью

(яр Н ГОСУДАРСТ В Е Н НОЕ ПАТЕ НТН О ЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПДТЕНТ СССР) ИСА 1-1 ИЕ ИЗО ТЕ Н АВТОРСКОМ И 3 ЕПЬС(56) Вето А.Б. и др, Иатрицный Фор,мирователь видеосигнала на бб 816 элементах ПЗС. Электроннал промышленность, 1977, вып, ., с. 95-97.Патент Великобритании 1 л 1578949, кл. Н 1 К, 1980,. Изобретение относитсл к полупроводниковой технике, в частности к и электроды рекрываюаряда,оказыва зарядов льзован х прием ереноса подложк увствит ласти с льностьектра по 14(л ои связьюпереноса го поте ала выс инеи облас ия закрыта элект оповерхность кремн р дами переноса.Наиболее близким к изобретению является прибор с зарлдовой связью, содержащий электтроды переноса заряда, перекрывающие канал переноса, снабженные выступами в направлении переноса заряда, поггерецный размер которых не превышает размера, на ко торый р:1 спространяется облас гь пространственного эарллч я юдложке,. тегральным м связьюи мо при создании ков иэображеИзвестен (ПЗС), содер .из поликристК недоста носится низк икросхемам с ожет быть испо отвердотельныния,прибор с зарядовжащий электродыаллицеского кремния.ткам этого прибора отая чувствительность ви спектра, так как вс(5) (57) ПРИБЙР С ЗЛРЯРОВОИ СВЯЗЬЮ,содержащий электроды переноса зарядаперекрывающие канал переноса, снабженные выступами в направлении переносазаряда, поперечный размер которых непревышает размера, на которое распространяется область пространственногозаряда в подложке, о т л и ц а ющ и й с я тем, что, с целью увеличения быстродействия, выступы имеютФорму трапеции, большее основание которой примыкает к электроду переноса, перекрывающему канал переноса За счет того, цтреноса имеют выступщие цасть канала ичасть поверхностиется открытой, и цприбора в синей обвышается.ПроФиль поверхно под каждым электродом переноса носит ступенцатый характер с увелиценным пороговым напряжением под тупающей частью электрода,. Зарядовыепакеты хранятся .под частями электродов, полностью перекрывающими канал переноса, и разделяютсл потенциальными барьерами выступающих частей электролов переноса, Выступающиечасти электродов переноса с увелиценным пороговым напряжением экранируют краевые поля от прилегающихэлектродов Поэтому прн переносе эарлда отсутствуют продольные текущиеполя ускоряющие пернос "1"татказаряда, и профиль поверхностного по"тенциала носит резко выраженный ступенчатый характер. Отсутствие тянущих полей с продольной компонентойограничивает бысгродействие ПЯС сэлектродами, имеющими выступающиечасти,Целью изобретения является увеличение бцстрщействия.10Этсдостигается тем, что в приборе с зарядсзой связью, содержащем.электроды йереноса заряда, перекрывающие канал переноса, снабженныевыступами в направлении переноса заряда, поперечный размер которых непревышает размера, на которое рас. пространяется область пространственного заряда в подложке, выступы име"ют форму трапеции, большее основа" цние которой примыкает к электродупереноса, перекрывающему канал переноса.На фиг,1 изображены электроды переноса; на фиг.2 - разрез структуры 25в направлении переноса; на Фиг,3 "профиль поверхностного потенциалапри передаче напряжения на электроды.устройство содержит каналы пЕ"реноса 1, разделенные высоколегиро-, 3 рванными областями стоп-каналы 2,электроды переноса 3 и 4, снабженныевыступами 5 в Форме трапеции, электроды 6 и 7,ПЗС изготовлен по многослойнойполикремниевой технологии с самосовмещающимися затворами, Стоп-каналы2, ограничивающие каналы переноса заряда, изготовлены ионной имплантаци"ей Выступы 5 электродов пеРеноса40содержат узкую и широкую части каналов переноса заряда. Широкая часть . электрода перекрывает весь каналпереноса, узкая часть электрода имеет вид равнобедренной трапеции, примыкающей большим основанием к широ"кой части электрода переноса..Прибор работает следующим образом,При установлении на электродах3 и 4 напряжений порядка 8 В и 0 Всоответственно под электродом 3 происходит накопление Фотогенерированного заряда. После накопления зарядпереносится к выходному устройству.Для этого с электрода 3 снимается, ана электрод 4 подается отрицательноенапряжение порядка 10-15 В. Поверхностный потенциал под узкой частьюэлектрода 4 становится равным поверхностному потенциалу под широкой областью электрода 3 и зарядовый пакетпереносится из-под электрода 3 подэлектрод 4Так как каждая узкая часть электрода переноса имеет Форму равнобедренной трапеции, примыкающей своимбольшим основанием к широкой частиэлектрода переноса, то профиль поверхностного потенциала под ней носит плавно изменяющийся характер сдостижением предельного значения подширокой частью электрода. Поэтомупри переносе заряда возникает силь".ное тянущее поле в направлении переноса, ускоряющее перенос остатковзарядового пакета и существьно увеличивающее эффективность переноса навысоких частотах порядка 10"12 мГц,т.е, увеличивается быстродействие,Данное техническое решение можетнайти применение в приборах с зарядовой связью в диапазоне высокихчастот,1094528 Редактор Техред И,Иоргентал.Корректор тентф, г. нат оизводственно-издательский ком род, ул. Гага Зэкзя 3085ВНИИПИ Гос Тираж рственного комитета 113035, Иосква, Подписноеизобретениям и открытиям при ГКН5, Раушская наб.; д. 4/5Фе еЬ ев