Способ определения времени релаксации заряда на поверхности твердотельного электрода

(59 4 СССРНРЫТИИ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 21ехнический ин С.Борназя льство СССР 9/12, 1981.(54) СПОСОБ О ЛАКСАЦИИ ЗАРЯ ДОТЕЛЬНОГО ЭЛ (57) Изобрете роизмерительн чено для иссл состояний пол НИЯ ВРЕМЕНИ РЕПОВЕРХНОСТИ ТВЕР КТРОДАие,относится к электй технике и предназнадования поверхностныхпроводников, диэлектри АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидеВ 970272, кл. С 01 К ков и металлов, применяемых в полупроводниковой технике, Цель изобретения - расширение функциональных возможностей эа счет измерения временирелаксации заряда на поверхностныхцентрах накопления. Для этого электрод помещают в электрохимическую измерительную ячейку и подают внешнююразвертку потенциала. Вольт-амперныехарактеристики получают при двух разнящихся скоростях развертки, обеспечивающих регистрацию максимума нестационарного разрядного тока. Значениесдвига между максимумами делят наразности этих же скоростей. При этомв каждом случае развертку начинаютот постоянного начального значенияисходного потенциала электрода, 2 ил.3 14014различных Ч (осциллограмма Т получена при Ч = 40 мВ/с, осциллограмма 11при Ч = 80 мВ/с).Блок-схема устройства содержит5исследуемый электрод 1, электрод 2сравнения, вспомогательный платиновый электрод 3, электрохимическуюизмерительную ячейку 4 с электролитом, потенциостат 5, позволяющий10поддерживать потенциал постоянным,или изменять его по заданной скорости в зависимости от времени по линейному закону, запоминающий осциллограф 6 и миллиамперметр 7. 15За начальное значение исходногопотенциала развертки принят равновесный электродный потенциал,Способ осуществляют следующим обр,азом. 20Исследуемый электрод 1 помещаютв электрохимическую измерительнуюячейку 4 с электролитом, который выбирается с учетом его ингибирующихсвойств относительно коррозии данного материала. В режиме разомкнутойцепи на потенциостате 5 устанавливают начальное значение исходного потенциала, от которого начинаетсяразвертка потенциала, Начальное значение исходного потенциала выбираютиэ области потенциалов, где ожидается наблюдение максимума нестационарного тока, послечего потенциостатприводят в режим замкнутой цепи ина миллиамперметре 7 фиксируют уста 35новившееся значение стационарного тока ячейки, которое должно быть одинаково для различных Ч.Скорость развертки потенциала Чвыбирают с учетом возможности регистрации максимума нестационарного то. ка, поскольку с увеличением Ч максимум получается отчетливее. Зависимость тока от времени развертки С(от потенциала ( = СЧ) прн двух раз 45личных Ч регистрируют на экране запоминающего осциллографа, который работает в режиме запоминания и ждущейразвертки, т,е, движение электронно)Чг где Си С - время (отсчитанное от начала развертки с осциллографа) появления максимумов нестационарного тока при двух скоростях развертки потенциала Ч, и Ч соответственно. Формула изобретения Способ определения времени релаксации заряда на поверхности твердотельного электрода, заключаощнйся в том, что электрод помещают в измерительную ячейку, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и умень" щения времени измерения, в качестве измерительной ячейки используют электрохимическую, на электрод воздействуют линейно нарастающим потенциалом в двух последовательных циклах измерения при разных скоростях нарастания, нарастание потенциалов в обоих циклах производят от фиксированного начального значения, регистрируют моменты появления максимумов нестационарного разрядного тока в каждом цикле измерения, определяют время релаксации заряда по формуле где Си- моменты появ ле ния максимумов нестационарного разрядного тока;значения скоростей нарастания потенциаловв обоих циклах,и 4, го луча начинается одновременно с началом изменения потенциала, что обеспечивается связью между осциллограФом и потенциостатом. Затем на осциллограммах, полученных при двух различных Ч, фиксируют время появления максимума нестационарного тока, по которому рассчитывают/45 Тираж 772 П ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., писное д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие,город, ул, Проектная, 4