Электродуговой испаритель

,ОПИСАНК АВТОРСХО ВИДЕТЕЛЬС ТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СС ЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ(21) 3263536/18-21 (25) 3478062(18-21 (22) 30.2.80: (46) 07.11,88, Вюл, В 41 (72) Л,С,Гуревич и С.Н.Назиков ,(53) 621.793. 14 (088.8) ,(56) Блинов И.Г., Дороднов АМ., Минайяев В.Е. и др. Вакуумные сильнб" . точные плазменные устройства и нх применение в технологическом обору" довании м 3 вроэлектроники. Обзор по электронной технике. .вып. 8 (269), М; ЦНИИ"Электроника", с 65, 974.Саблев Л.11и др. Электродуговой сорбциоиный высоковакуумный агрегат ВЭД- Сб. Вопросы атомной науки и,техники. Серия: физика и техника вы-; сокого вакуумавып. , Харьков, 1973 Э (54) (57) ЭЛЕтрОДуГОВ 0 Й ИСПАРИтКЛ 1, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолирован ным экраном, и заземленный фпанец, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьвения надежности работы,он снабжен. дополнительнымприанодным экраном и изолятором, размещенными . между прикатодным экраном и фланцем испарителя..Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для получения геттерных слоев в ис" парительных нонногеттерных насосах.Известен злектродуговой испари" тель, используемый в испарительных геттерных насосах, выполненный в виде расходуемого катода, размещенного на фланце и изолированного от него с помощью изолятора, и электростатического экрана, окружающего расходуемый катод и изолятор.Недостатком известного испарителя является недостаточная надежность ра боты испарителя, обусловленная воз.можностью переброса катодных пятен на нерабочую часть расходуемого ка" тода.Наиболее близким техническим решением к изобретению явпяетсй электродуговой испаритель, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроиэолйрованным экраном, и заземленный флаиец, 2Недостатком известного испарителя является низкая надежность работы испарителя вследствйе закорачивания за" ворамежду расходуемым катодом и электростатическим экраном матерна.: З 0 лом расходуемогО катода в процессе работы испарителя, что приводит к пе"реходу катодных пятен дуги на экран,. запылению изолятора и.:как следствие 1 к аварийному выходу электродуговогоиспарителя иэ строя.Цель изобретения " повышение на- .дежности работы испарителя., Указанная цель достигается тем,что электродуговой испаритель, со" держащий расходуеиый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном, и заземленный фланец, снаб-жен дополнительным прианодным экраном и изолятором, размещенными междуприатомным экраном и фпанцем испари" . теля.. юНа чертеже представлена конструкция электродугового испарителя.Испаритель содержит расходуемый 50атод 1 с рабочей зоной испарителяматериала, ограниченный прикатоднымэкраном 2, который с помощью изолятора 3 электрически отделен от дополнительного прианодного экрана 4, укреп ленного на изоляторе 5 испарителя,электрически изолирующего катод 1 отэазеиленного Фланца 6 испарителя. Электродугоной испарнтель работает следующим образом,Катодю 1 е пятна, являющиеся источником испаряемого материала, перемещаются по рабочей торцовой поверхности расходуемого катода 1, ограниченной прикатодным экраном 2. В процес"се .работы испарителя зазор между ка".тодом и экраном постепенно уменьшаезся за счет напыления испаряемого материала на часть прикатодного экране,расположенную вблизи эоны испарения.После возникновения короткого замыкания между катодом и экраном катодныепятна переходят на прикатодный эКран.Под воздействием собственного магнитного поля испарителя, возникающегоза счет его рабочего тока, катодныепятна перемещаются по поверхностиприкатодного экрана в сторону местаподвода тока к испарителю, т.е. :.всторону изолятора 5. Однако испарениематериала прикатодного.экрана не может привести к .выходу изолятора 5 изза наличия прианодного экрана 4, Дпязапыления изолятора 5 необходим переход катодных пятен на прианодный эк.ран, который возможен только при наличии короткого замыкания между при-;катодным и анодным экранами. Иожносчитать, что сопротивление этого ко-.роткого замыкания не превышает сопро-:тивления вакуумной дуги, т,е. должнобыть ниже 1 Ом. Для . нормальной работы электродугового испарителя необхо-,.димо, чтобы сопротивление его изоля-тора 5, превьвпало величину 10 Ом,поэтому время работы испарителя после возникновения короткого замыканиядо момента его аварийного выхода изстроя из-за запыления изолятора 5увеличийается примерно в 10 раз.Этопозволяет, в частности, устранятьслучайные "мостиковые" контакты между катодом и электростатическим экраном беэ разборки испарителя за счетпрожигания этих контактов рабочим током дуги.Кроме того, предложенная конструкция электродугового испарителя позволяет не только сигнализировать аварийное состояние работы испарителя(короткое замыкание между расходуемым катодом и электроизолированнымэкраном), .но н производить отключение источника питания. Для этого прикатодный электроизопнронанный экранподсоединяется к положительному полю3015148 4 су источника питания через реле тока, аварийного состояния, в его нормаль нормально разомкнутый контакт кото- но замкнутый контакт " я цепи источрого установлен в цепи сигнализации ника питания испарителя, едактортор Л.Пилипенко Заказ 551ое рощводстэд, ул. Проектная,