Раствор для травления термокомпенсаторов из молибдена и его сплавов

(19) И 1) ЗСЮ С 23 с 1 02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,1970, с, 108,(54)(57) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ТЕРМО; КОМПЕНСАТОРОВ ИЗ МОЛИБДЕНА И ЕГО СПЛАВОВ, содержащий перекись водорода и соляную кислоту, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью удаления с поверхности термокомпенсаторов алюмосилицидов молибдена при сохранении плоскопараллельности сторон термокомпенсатора, он дополнительно содержит фтористйй аммоний при следующем соотношении компонентов, вес.В;Перекись водорода 5-60 фтористый аммоний 1-25 Соляная кислота ОстальноеИзобретение относится к химическойобработке элементов полупроводниковыхприборов путем травления и может бытьиспользовано для реставрации термокомпенсаторов из молибдена и сплавовна основе молибдена. 5При производстве силовых полупроводниковых приборов одной из технологических операций является соединение кремниевой диффузионной структуры с термокомпенсатором с помощью 10алюминия или силумина. Затем послеметаллизации обработки и защитыфаски определяются вольт-амперныехарактеристики прибора.Приборы, которые не соответствуюТ 15требованиям по вольт-амперным характеристикам, бракуются. При этом возникает необходимость в повторномиспользовании остродефицитного идорогостоящего термокомпенсатора.Забракованные приборы нагревают дотемпературы расплавления силуминаи снимают с термокомпенсатора кремниевую структуру. Поверхность реставрируемого термокомпенсатора 25в этом случае с одной стороны покрытаалюмосилицидом молибдена и остатками силумина; а с другой стороныокислами молибдена, которые должныбыть полностью удалены без нарушенияплоскопараллельности сторон и структуры поверхности.Известен раствор для обработкиповерхности молибдена и его сплавов (1 следующего состава, вес.Ъ:НС 1 5-8 35ОстальноеЭтот раствор используют для удаления окислов молибдена.Для реставрации термокомпенсаторовданный раствор не пригоден, так как 40он удаляет только силумин и не растворяет алюмосилициды молибдена,образовавшиеся в процессе сплавленияНаиболее близким к предлагаемомуявляется раствОр Ц р содержащийр 45вес .Ъ:Перекись водорода 48,4Соляная кислота 51,6Этот раствор удаляет с реставрируемого термокомпенсатора остаткиприпоя и частично окислы, однако слои-50алюмосилицидов молибдена не стравливает. Раствор взаимодействует споверхностью термокомпенсатора,в результате чего образуются неровности,нарушается плоскопараллельность сторонЦель изобретения - удаление споверхности термокомпенсатора алюмоссилицидов молибдена при сохранении плоскопараллельности сторон термокомпенсатораПоставленная цель достигаетсятем, что раствор для травления термокомпенсаторов из молибдена и егосплавов, содержащий перекись водо"рода и соляную кислоту, дополнительно содержит фтористый аммоний приследующем соотношении компонентов,мас.Ь:Перекись водорода 5-60фтористый аммоний 1-25Соляная кислота ОстальноеРаствор хорошо восстанавливаетповерхность термокомпенсатора отокислов, равномерно стравливаетприпой и алюмосилициды молибдена,образовавшиеся в процессе сплавления,не нарушает плоскопараллельностисторон термокомпенсатора, так какне вступает с ним во взаимодействие,стоек к разложению и пригоден длямногократного использованияНижний и верхний пределы по БНГи Н 20 с выбраны с учетом эффективногоих взаимодействия с алюмосилицидамимолибдена, которые образуются привзаимодействии термокомпенсаторас припоем при сплавлении, а такжес возможностью полного растворениясоли фтористогср аммония в смесикислот, стойкостью травителя к разложению и многократного его использования,П р и м е рДля приготовлениятравителя в полиэтиленовой посудесмев,вали 36 НС 1 (плотность 1,85г/см ), 30 8 О (плотнОсть1112 г/см ) ь БН 4 ГсОбразцы для травления были взятыиз бракованных серийных приборов,Предварительно с них были удаленыкремниевые структуры. Для этогоприборы нагревались до температуры,превышающей температуру распая, ис помощью пинцета кремниевая дьффузионная структура удалялась с термокомпенсатора. Удаление кремниевыхструктур возможно и другими механическими способами,Для определенья взаимодействиятравителя с термокомпенсатором быливзяты чистые молибденовые диски.Было приготовлено три составапредлагаемого раствора и раствор попрототипу. Растворы приготавливалипоследовательным смешиванием ирастворением в полиэтиленовой посудекомпонентов.Составы растворов и результатыих испытаний приведены в табл. 1-2.1063864 Таблица 1 Время Компоненты раствора Вес реставрируемогообразца Количествостравленного Температура травления,С травления,мин 1Н О ИН Р , НС 1,37 59 П р и м е ч а н и е. Алюмосил,икаты не. стравливаются. Таблица 2 Количество стравливаемого молибдена, г1 Вес молибденового диска Компоненты травителя Время травления, мин НС 1после до трав травления, гИзвестный 0,1421 51,6 5,6835 48,4 5,5414 20 Предлагаемый 39 5,6789 70 5,6698 59 5,7134 5,6758 5,6679 5,7126 0,0031 0,0019 0,0008 20 1,0 60 25 20 ВНИИПИ Заказ 10478/29 Тираж 956 . Подписное Филиал Г 1 ПП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4 Остатки припоя после снятия кремниевых структур удаляются в течение небольшого промежутка времени. Химические соединения, образовавшиеся в процессе сплавления, стравливаются равномерно по всей площади образца.Из табл. 2 видно, что известный раствор сильно взаимодействует с молибденом, а предлагаемый практи 5,3427 0,9854 30 5,6898 0,8791 20 5,6528 0,9291 6 чески не вступает во взаимодействие 50 с материалом термокомпенсатора,что позволяет сохранить плоскопараллельность его сторон и не требуетдальнейшей механической обработкишлифовкой.55 Продукты травлени не стойкиеилегко растворяются в воде. Травитель устойчив к разложению, что позволяет его использовать многократно.