Способ обработки изделий из кварцевого стекла

ЯО, 10100 СОЮЗ СОВЕТСНИХОИВВЗИЩ,ЮЕПРЕСПУБЛИК СЯ):С 03 С ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ21) 3002985/29-33(,56) 1. Патент ФРГ Р 1771077,кл. С 03 С 17/00, 1972.2. Патент Франции Р 2169340,кл., С 03 С 17/22, 1973 прототип 54) 157) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙИЗ КВАРНЕВОГО СТЕКЛА путем нанесения покрытия фосфата металла итермообработки, о т л и ч а ю щ и й -,с я тем, что, с целью увеличения термостойкости, покрытие наносятиз смеси двуокиси циркония и ортофос,форной кислоты в соотношении 1:1,5 -.для определения термической устойчивости изделия промывают в зтиловом спирте 1 ГОСТ 8314-57), затем 15 мин нагревают в муфельной печи при 1000 С и быстро погружают на 5 мин в воду с температурой 20 С. Образцы выдерживают 13-17 теплосмен беэ растрескивания и отслаивания покрытия.В таблице приведена термостойкость изделий из кварцевого стекла с покрытием Количество теплосмен при соотношении 2 г 02,НЗРО моль) Максимальная температура обжига,1:2,5800 15 16 15 13 17 14 900 17 14 16 1100 Изобретение относится к.обработкеповерхности стекла осаждением изжидкой фазы и может быть использованов полупроводниковой и стекольнойпромышленности.Известен способ обработки иэделийиз кварцевого стекла путем нанесенияпокрытия из мелкокристаллическогокристобалита 13Однако такое покрытие может работать только при постоянной температуре, так как иэ-эа различия ТКЛРкристобалита и кнарцевого стеклаоно разрушается при изменении температуры.Наиболее близким к предлагаемому 15по технической сущности и достигаемому результату является способ обработки иэделий из стекла путемнанесения покрытия фосфатов металловИ-У 11 групп и термообработки 2.указанный способ характеризуетсянедостаточно высокой термостойкостьюколичество выдерживаемых теплосмен5-6).Целью изобретения является увеличение термостойкости.Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу обработкиизделий из кварцевого стекла путемнанесения покрытия фосфата металлаи термообрабо:ки, покрытие наносят ЗОиз смеси двуокиси циркония и ортоФосфорной кислоты в соотношении1:".,5 - 1:3, а термообработку осуществляют при 800-1100 сС.Сущность изобретения заКлючается 35 фв том, что на поверхность изделия иэкварцевого стекла наносят кристаллический слой, в качестве которогоиспользуют двуокись циркония и ортофосФорную кислоту в соотношении 1:1,5 - 401:3,Реактивы тщательно перемешивают,наносят на трубку иэ кварцевого стекла и подвергают термообработкепри 800 - 1100 С 10 мин. В результате на понерхности трубки образуется кристаллический слой, состоя-щий из безводных фосфатов циркония,преимущественно иэ пирофосфата циркония 2 гР 20 ), обладающего ТКЛР,близким к кварцевому стеклу (5 10 Способ осуществляется следующим образом.Подготовка шликера, Просеивают двуокись циркония марки Х 4 через сито 10000 отв/см,засыпают в емкость с мешалкой или н химический стакан и небольшими порциями при перемешивании добавляют ортофосфорную кислоту до достижения соотношения порядка 1:2 соотношение мольное ). Используют 85 НРО+ марки Х 4. Пере. мешивание продолжают до получения однородной массы.Подготовка поверхности иэделий. Поверхность изделий иэ кварценого стекла тщательно обезжиривают техническим спиртом. В случае высокой загрязненности поверхности иэделие травят 20 мин в 20-ной планиконой кислоте, промывают дистиллированной водой и протирают спиртом. Нанесение покрытия. Приготовленный шликер наносят на изделие при помощи пульверизатора или кистью так, чтобы обеспечить равномерный слой толщиной 0,05-0,3 мм. Подготовленное таким образом изделие устанавливают в печь и поднимают температуру до 800-1100 С. Скорость подъема температуры 400 С н час, вью держка при максимальной температуре 10 минПо приведенной технологии наносят покрытия на плоские образцы из кварцевого стекла марки КВф 45 мм и испытывают на термостойкость .по ГОСТ 22293-76. При этом изменяют соотношения компонентов и максимальной температуры обжига.1010032 Составитель Г. БуровцеваРедактор Н, Горват 7 дхред И,Гайду Корректор Л. Бокшан Заказ 2394/8 Тираж 484 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по депам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/",Лфилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Для удобства пользования в скобках приведены количества мп 85 НРО+ на 10 ч 2 г 02. Иэ приведенной таблицы видно, что обжиг уже при 800 С придает достаточную термостойокость иэделию. Рентгенофаэовый и 5 дифференциально-термический анализы показывают, что структура пирофосфата циркония при этой температуреуже сформирована и в интервале 8001100 ОС изменяется незначительно. Перегрев свыше 1100 С нецелесообразен, так как структура йеизменяется, а повышение температуры приводит к перерасходуэнергии.