Способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов

(22) Заявлено 27,03,81 (21) 3266419/18.с присоединением заявки ре -51) 1 Ю 23/ еударететнный коиите СССР о делаи изебретений н открытий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ВВОДО И ВЫВОДОВ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВИзобретение относится к электронной тех=нике, в частности к производству электровакуумных приборов.Известен способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии, заключающийся в металлизации керамических деталейи пайки их твердыми припоями 1);Однако керамика обладает весьма высокимизначениями коэффициента вторичной эмиссии,при работе прибора с поверхности керамичес 1 Оких деталей могут возникать значительные потоки вторичных электронов, что приводит кизменению параметров приборов и нарушаетстабильность их работы,Известен также способ изготовления металло.1 экерамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов, включающий операции металлизации части поверхности керамических деталей, нанесения антидинатронногопокрытия на поверхность керамики с после 20дующим его вжиганием и пайки.При этом в качестве антидинатронного покрытия может быть использовано покрытиена основе нитрида бора (21,В этом способе, однако, не удается обеспечить высокое качество и надежность соединения пайкой металлокерамических деталей, так как летучие продукты разложения антидинатронного покрытия на основе нитрида бора, возникающие в процессе его вжигания в керамику, активно взаимодействуют с предварительно нанесенным металлизационным слоем, вызывая образование дефектов в слое металлизации, Такие дефекты, проявляющиеся в виде темных пятен или остеклованных участ.ов металлизированной поверхности, резко снижают надежность соединения металлокерамических деталей, что, с свою очередь, при. водит к снижению ресурса электровакуумныхприборов.Цель изобретения - повышение надежности соединения металлокерамических деталей элек. тровакуумных приборов.Поставленная цель Достигается тем, что со. гласно способу изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электро- вакуумных приборов, включающему операцииСпособ изготовления металлокерамнческнхвводов и выводов энергии электровакуумных приборов, включающий операции металлиэации части поверхности керамических деталей, нане.сепия антидинатронного покрытия на поверхность керамики с последующим его вжиганием и пайки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности соединения керамических деталей, после нанесения на керамчку антидинатроиного покрытия на металлизированную поверхность наносят защитное покрытие в виде суспензии порошка ЗЗ алунда в биндере сразмером: зерен 2-10%от толщины защитного покрытия, которое удаляют после вжигания антидинатронного покрытия. Составитель Е, ПчеловТехред М,Рейвес Редактор А, Долинич Корректор Е. Рошко Заказ 7889/71 Тираж 761 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 96678металлизации части поверхности керамическйхдеталей, нанесения антидинатронного покры.тия на поверхность керамики с последующимего вжиганием и пайки, после нанесения накерамику антидинатронного покрытия наметаллизированную поверхность наносят эа.щитное покрытие в циде суслензии порошка .алунда в биндере с размером зерен 2 - 10%от толщины защитного покрытия, которое .удаляют после вжигания антидинатронного 10покрытия.Указанный размер зерен порошка алундаобусловлен тем, что при меньшем размере .зерен частицы алунда припекаются к металло.керамическому покрытию, нарушая его целостность, а .нри большем размере не удается обеспечить достаточно плотную упаковкучастиц алунда в защитном покрытии, при ко.торой предотвращен доступ летучих продуктовразложения антидинатронного покрытия к метало: ствие продуктов разложения антидинатронногопокрытия, образующихся в процессе его вжигания с металлнзационным покрытием эасчет плотной. упаковки частиц. После вжигания защитное покрытие удаляют. Эта операцияможет быть осуществлена одновременно с удалением незакрепившегося слоя антндинатронногопокрытия, например, смыванием проточнойводой,Предлагаемый сйособ изготовления металло.керамических соединений с антидинатроннымпокрытием позволяет улучшить качество иповысить надежность металлокерамическихсоединений,П р и м е р. На вакуумную поверхность25 керамических деталей наносят антидинатронное покрытие на основе нитрида бора, послечего на металлизированную поверхность этихдеталей наносят суспензию, состоящую изпорошка алунда и бнндера, В качестве биндера используют раствор нитроклетчатки в изоамилацетате, Соотношение алундбиндер = 1:1.Размер зерен составляет около 5% от тол.шины защитного покрытия. Вжигание антидииа. 4тронного покрытия проводят при 960 - 1100 С,После вжигання незакрепившийся слой анти 6 4динатронного покрытия смывают проточной водой одновременно с защитным покрытием,Разбраковка показывает, что на металли зированной поверхности всей партии деталей дефекты не обнаружены. Средняя термостойкость металлокерамических соединений составляет 30 циклов, При параллельном изготовлении керамических деталей без нанесения защитного покрытия наблюдаются дефекты на металлизационном слое, Из партии в 15 штук 5 штук забракованы из.за наличия остеклованных участков на поверхности металлизации. На оставшихся деталях наблюдается занижение термостойкости, которая составляет 23 цикла.Предлагаемый способ улучшает качество и повышает надежность металлокерамических соединений, Выход годных вводов и выводов энергйи повышается в среднем на 15 - 20%. Формула изобретения Источники информациипринятые во внимание при экспертизе1. Ерошев В, К. Металлокерамические вакуумно-плотные конструкции, М "Энергии", 1970, с, 10-12.2, Бетыгии В. И., Метелкин И. И., Решетников А. М. Накуумно.плотная керамика и ее спаи с металлами,М"Энергии", 1973, с. 33 (ппатотип).