Способ термокомпенсации тензомостов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВ ВТИЛЬСТВУ Соеэ Советских Социалистимеских Республик(22) Заявлено 28.03.80 (21) 2903824 у 25-28с присоединением заявки Йо(5 ЦМ, Кл,з 6 01 В 7/18 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(088. 8) Дата опубликования описания 30. 12. 81.И. Ваганов и А.Б. Носкин а, Iнам ни осковский ордена Трудового Красн инженерно-физический институттель 54) СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ Т МОСТО 2 Изобретение относится к измери-тельной технике, а именно к способам термокомпенсации тензомостов.Известен способ терглокомпенсации тензомостов, заключающийся в том, что присоединение тензорезисторов осуществляют проводниками из различных материалов образующих с материалом тензореэисторов терглопары, а в мостовую схему вводят импульсный источник питания, периоди-. чески отключающий питание, измеряют выходной сигнал с мостовой схемы при включенном и отключенном источнике питания, определяют их разность, которую и используют в качестве выходного сигнала с термокомпенсированного тенэомоста 1 Д,Недостатками данного способа является сложность аппаратурной реализации, связанная с необходимостью использования проводников из специально подобранных материалов и синхронизатора, а также низкая точность, связанная с влиянием переходных процессов при включении и выключении источника питания на результат измерений.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому положительному эффекту к изобретению являетсяспособ термокомпенсации тензомостов,заключающийся в том, что измеряютсопротивления тенэорезисторов в рабочем диапазоне температур, по ука.занным величинам определяют значения1 сопротивлений термостабильных ком,пенсационных резисторов и подключаютих последовательно и параллельно тензореэисторам. Сопротивления компенсационных резисторов определяют .пу,тем вычисления температурных коэффициентов сопротивления с последующим определением сопротивлений из 15 системы управлений. нулевого балансамостовой;.:схемы 2 .Недостатком данного способа является сравнительно низкая точность, 20 связанная с неучетом изменения сопротивления тензорезисторов при их саморазогреве протекающим током.Цель изобретения - повышение точности термокомпенсации тенэомоста.5 укаэанная цель достигается тем,что при заданном напряжении питаниятензомоста предварительно измеряютпадения напряжения на тензореэис.торах и измеряют сопротивления каж- ЗО дого тенэореэистора при данном паде894345 15 Формула изобретения Составитель С. СурковТехред А. Вабинец Корректор С. Шекмар Редактор С. Тараненко Заказ 11437/60 Тираж 645 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,4 нии напряжения на этом тенэорезисторе.Способ термокомпенсации тенэомоста осуществляется следующим образом.Интегральные кремниевые преобразователи давления с квадратной мембраной толщиной 10 мкм и размерами 1 х 1 мм с диффузионными тенэорезисторами р-типа с сопротивлениями 150-200 Ом собирают в мостовую тенэореэисторную схему. Для измерения сопротивлений тензорезисторов используется универсальный потенциометрический измерительный прибор УНИПМ. Измерения осуществляются в рабочем диапазоне температур, например, при двух значе-ниях температуры окружающей среды (20 и 50 С) при подключении мостовой тензорезисторной схемы к источнйку постоянного напряжения (2, 3 и 5 В). Для измерения номинальных значений компенсационных тенэорезисторов по стандартной методике используют внутренний источник питания прибора УНИПМ, Исследованиям подвергается двадцать образцов преобразователей давления. Задают напряжение питания мостовой тензорезисторной схемы и измеряют падения напряжения на тензореэисторах, а затем с помощью прибора УНИПМ измеряют сопротивления тензорезисторов при измеренных на каждом из тенэореэисторов падениях напряжения, соответственно. Полученные значения сопротивлений подставляют в уравнения нулевого баланса мостовой схемы, иэ которых вычисляют значения сопротивлений компенсационных резис торов. После этого .компенсационные резисторы с указанными значениями подключают последовательно и параллельно в тензорезисторную мостовую схему, после чего определяют максимальную величину температурного дрейфа нуля в процентах от выходногосигнала на границе линейного диапазона преобразования и максимальнуювеличину абсолютного значения напряжения начального разбаланса.Применение изобретения позволяетповысить точность иэлерений эа счетснижения температурного дрейфа нуляи напряжения начального раэбалансапри включении в мостовую тензометри О ческую схему компенсационных резисторов, значения которых определенына основании измерения сопротивленйй тензорезисторов при рабочих падениях напряжения на них,Способ термокомпенсации тензомостов, заключающийся в том, что изЩ меряют сопротивления тензорезисторовв рабочем диапазоне температур, поуказанным величинам определяют значения сопротивлений термостабильныхкомпенсационных резисторов и подключают их последовательно и параллельно тензорезисторам, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповыщения точности, при заданномнапряжении питания тензомоста пред-,варительно измеряют падения напряжения на тенэореэисторах и измеряют сопротивления каждого тензорезистора при данном падении напряженияна этом тензореэисторе,35Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1 Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2627382/25-28,кл. 6 01 В 7/18, 1978.40 2, Сгибов А.П., Трухачев Б.С.Температурная компенсация ухода нулямостового тензопреобразователя.