Способ изготовления фотошаблонов

(и) 860363 Союз СоветскикСоциапнстичесинкРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(5)М. Кл.Н 01 1. 21/302 Н 05 К 3/06 6 03 Р 7/20 Ртаударстееаиый кетаитет СССР ав делей изобретений н отерьпий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ Изобретение относится к методам изготовления фотошаблонов печатных плат, интегральныхсхем и других приборов с использованиемкоординатографов и может быть использовано.в приборостроении электронной и радиопромьтшленности.Известен способ изготовления фотошаблонов,включающий выполнение схемных элементов вувеличенном масштабе на фотоорнгинале, фотографирование его с уменьшением на фотоплен.ку 11),Недостатком способа является его сложность, необходимость использования высокоточного оборудования.Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является способ изготовления фотошаблонов, включающий позиционирование фотопластины. относительно схемных элементов и нх проецирование на фотопластину в умень. шенком масштабе, проявление фотопластины, позиционирование фотопластины относительно заготовки фотошаблона и экспонирование заготовки фотошаблона через фотопластину,В способе создается библиотека схемныхэлементов, положение которых постоянно поотношению к установленной на фиксатротанноеместо заготовки фотошаблона,При таком принципе построения библиотекисхемных элементов на промежуточном оригтенале или библиотечном диапазоне - эталонехранятся геометрические данные схемы: реперыфотошаблонов и полупроводниковых пластин,конфигурации резисторов, базовых змиттерных коллекторных окон н т. п, Эти изображения проецируются через уменынающий объек.тив на фотопластину поочередно н такимобразом получается изображение всего технологического слоя, которое используется какуменьшенный оригинал для мультипликации 2. Недостатком указыптого способа являетс низкая технологичность, вызванная необходимостью последовательной взеимной юстн. ровки осн схемного элемента и центра выбран. ного участка фотопластины ио тому же закону, по которому схемный элемент смещается меха. ниэмом позиционирования, а также необходи860363 25 ВНИИПИ Заказ 7578/32 Тираж 784 Подписное Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 мостью точной установки всего фотошаблонаотносительно механизма позиционирования,Цель изобретения - упрощение процессаизготовления фото шаблонов,Указанная цель достигается тем, что в способе изготовления фотошаблонов, включающемпозиционирование фотопластнны относительносхемных элементов и их проецирование нафотопластину в уменьшенном масштабе, прояв.ление фотопластины, позиционирование фотопластииы относительно заготовки фотошаблонаи экспонирование заготовки фотошаблона че.рез фотопластину, все упомянутые операциивыполняют при закреплении фотопластины вбазирующей технологической рамке, причем позиционирование фотопластины относительносхемных элементов и позиционирование ее относительно заготовки фотошаблона проводят наодном и том же механизме позиционирования,Изготовление фотошаблонов в соответствиис предлагаемым способом осуществляют следу.ющим образом.Предварительно изготавливают оригиналысхемных элементов на отдельных пластинахдля создания библиотеки элементов.В базирующую технологическую рамкузакрепляют фотоплвстину; совмещают уменьшающую проекционную систему устройства длярепродуцировании с механизмом позициониро.ваиия координатографа и устанавливают рамкус фотопластиной в механизм позиционирования.Устанавливают один из схемных элементовв устройство дяя 1 епродуцирования, выводятмеханизмом позиционирования рамку с фото.пластиной в нужную позицию, производятрепродуцирование схемного элемента с уменьшением, например, в масштабе 10:1, Этн операции повторяют до получения на фотопластиневсего набора схемных элементов. Далее прово.дят проявление фотопластииы, не освобождаяее из технологической рамки, обеспечивающейточное базирование каждого из схемных элементов как в процессе изготовления фотопластины,так и при использовании ее в процессе вычерчивания фотошаблоиов,Отсоединяют устройство для репродуцирова.ния с уменьипиощей проекционной системойот механизма позиционирования координатогра.фа и устанавливают рамку с фотоцлвстиной втот же механизм позиционирования. Устанавливают механизм позиционирования с фотопластинойв исходное положение и пристуаиот к вычерчиванию фотошаблоиа,Полученную фотопластину в рамке нсполь.зуют при вычерчивании фотошаблонов в той жесветовой головке, на которой она изготовлена,Это обеспечивает высокую повторяемость пози.цнонировання каждого схемного элемента вовремя изготовления фотопластнны и при ее использовании в процессе вычерчивания фото.шаблонов н как следствие, высокую точностьвычерчивания фотошаблоков в пределах одного 1 О слоя, а при изготовлении нескольких фотошаблонов многослойных печатных плат - точноесовмещение элементов рисунков различных слоев. В предлагаемом способе возможно упрощение 15 конструкции механизма, так как при работепо этому способу достаточно добиться высокой повторяемости позиционирования (а не абсолют.ной точности перемещений при позиционировании), кроме того, возможно отказаться от гро.моздкого репродукционного аппарата высокой точности. Формула изобретения Способ изготовления фотошаблонов, включающий позиционирование фотопластины относи%Этельно схемных элементов и их проецирование на фотопластину в уменьшенном масштабе, проявление фотопластины, позиционирование фото- пластины относительно заготовки фотошаблона и экспонирование заготовки фотошаблона через фотопластину, о т л и ч а ю щ н й с я тем, что, с целью упрощения процесса и заготовления фотошаблонов, все упомянутые операцю вы 1- нолняют при закреплении фотопластины Ь базирующей технологической рамке, причем позиционирование фотопластнны относительно схемных элементов и позиционирование ее относительно заготовки фотошаблона проводят на 4" одном и том же механизме позиционирования,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Каплан Л, М., Масютин Г. Г Томашев 45 ский Д.И. и Крацивина Г.А. Изготовление фотошаблона полосковых линий СВЧ узлов напрограммном коордннатографе. - "Обмен опы.том в радиопромышленности", 1973, Ио 10,с. 55-56,5 о 2. Введение в фотолитографию. Под ред,В, П. Лаврищева, "Энергия", 1977, с. 80