Способ измерения давления разреженногогаза

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскикСоциалистическимиРеспублик(22) Заявлено 130779 (2 ) 2797508/18-10с присоединением заявки Но(51)М, Кл,з О 0121/02 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения Научно-исследовательский институт приклащр 9математики н кибернетики при Горьковскомуниверситете им. Н. И, Лобачевского(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ РАЗРЕЖЕННОГОГАЗА Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения давления сильно разреженного газа.Известен способ измерения давления сильно разреженного газа, основанный на регистрации ионного тока или измерении теплопроводности газа 1 .Недостаток этого способа заключает ся в том, что он не позволяет регистрировать давление ниже 10 " - 10 отор.Известен способ измерения давления разреженного газа, который состоит в отборе пробы газа сжатии его в резервуаре и измерении давления ртут ным манометром 2 .Недостаток известного способаниэкая точность из-за попадания паров ртути в исследуемый газ,Целью изобретения является повыше ние точности измерения и расширение диапазона измерения.Эта цель достигается тем, что в способе измерения давления разреженного газа, основанном на отборе пробы газа в предварительно обеэгаженную камеру и его сжатии, отбор ,пробы газа и его сжатие осуществляют молекулярным насосом с ротором на магнитной подвеске, а значение дав лення исследуемого газа определяют по градуировочной зависимости значения давления газа от скорости вращения ротора при заданном давлении пробы газ аНа фиг. 1 изображена градуировочная зависимость исследуемого давления Р от скорости вращения ротора при заданном давлении пробы газа, рав- ном 10 фтора на фиг. 2 - устройство для реализации предложенного способа.Устройство для реализации способа содержит объем 1 с исследуемым газом, камеру 2 для отбора пробы, молекулярный насос 3 с ротором на магнитном подвесе. Насос 3 снабжен двухходовым краном 4, Для предварительного обезгаживания камеры 2 применяют форвакуумный насос 5. Камера 2 снабжена датчикомдавления 6, который через регулятор 7 управляет скоростью вращения ротора молекулярного насоса 3.Способ заключается в следующем.Подготовленный этап способа состоит в обезгаживании стенок устройства путем их прогрева под вакуумом. Для этого двухходовой кран 4 переводят в положение,:соединяющее молекулярный насос 3 с форвакуумным насосом 5, Этими насосами откачи.вают камеру отбора 2. При этом каме836537 Формула изобретения БЙИИПИ Заказ 3102/ Тираж 907 Подписн ра 2 и насос 3 прогреваются (устройства прогрева на фиг. 2 не показаны).После обезгаживания устройства нагрев камеры отбора 2 и молекулярного насоса 3 отключают. Краном 4 соединяют молекулярный насос 3 с исследуемым объемом 1 и сменой направления вращения ротора молекулярного насоса 3 осуществляют отбор пробы газа и его сжатие, При отборе пробы скорость вращения ротора молекулярного насоса 3 плавно регулируется датчиком давления б через регулятор 7 до получения пробы заданного давления Р. По получении требуемой пробы срабатывает датчик давления 6, фиксируют скорость Г вращения ротора 15 насоса и по градуировочному графику фиг. 1 определяют давление Р исследуемого газа в объеме 1.Глубина измеряемого вакуума предлагаемым способом резко увеличивается Щ за счет очень высокого коэффициента сжатия газа молекулярным насосом с ротором на магнитном подвесе, который составляет 10 О, .Например, если давление пробы газа Р поддерживается 5 равным 10-4 тор, диапазон измеряемых давлений, при которых режим работы насоса свободномолекулярный, равенР = 10 . - 10 тор.Кроме того, взятие пробы и сжатие ,газа с помощью молекулярного насоса позволяет повысить точность измерения давления исследуемого газа, так как благодаря магнитной подвеске и предварительному обезгаживанию исследуе" мый вакуум ничем не загрязняется в отличие от способа, при котором сжатие газа осуществляется рабочей жидкостью (ртутью).Важным преимуществом предлагаемого способа является непрерывный характер измерений, что его отличает от прототипа. Способ измерения давления реэреженного газа, основанный на отборе пробы газа в предварительно обезгаженную камеру, и его сжатии, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, отбор пробы газа и его сжатие осуществляют молекулярным насосом с ротором на магнитной подвеске, а значение давления исследуемого газа определяют по градуиро вочной зависимости значения давления газа от скорости вращения ротора при заданном давлении пробы газа. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Дашман С. Научные основы вакуумной техники. М "Мир", 1964,с. 143.2. Дашман С. Научные основы вакуумной техники, М., "Мир", 1964,с, 202 (прототип). Филиал ППП "Пат ент ",г. Ужгород, ул, Проектная,