Патенты с меткой «разреженногогаза»

Номер патента: 836537

Опубликовано: 07.06.1981

Авторы: Иванов, Сергиевский

МПК: G01L 21/02

Метки: давления, разреженногогаза

...Камера 2 снабжена датчикомдавления 6, который через регулятор 7 управляет скоростью вращения ротора молекулярного насоса 3.Способ заключается в следующем.Подготовленный этап способа состоит в обезгаживании стенок устройства путем их прогрева под вакуумом. Для этого двухходовой кран 4 переводят в положение,:соединяющее молекулярный насос 3 с форвакуумным насосом 5, Этими насосами откачи.вают камеру отбора 2. При этом каме836537 Формула изобретения БЙИИПИ Заказ 3102/ Тираж 907 Подписн ра 2 и насос 3 прогреваются (устройства прогрева на фиг. 2 не показаны).После обезгаживания устройства нагрев камеры отбора 2 и молекулярного насоса 3 отключают. Краном 4 соединяют молекулярный насос 3 с исследуемым объемом 1 и сменой направления вращения...