Сканирующий интерферометр

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ИТВЛЬСТВУ Союз Сфаетских Сфцианистичесиих Респубпик(221 Заявлено 020779 (21) 2791582/25-28с присоединением заявки йо(51)М, л,з 6 01 В 9/02 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий(54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частностик интерференционным приборам, и может быть использовано в качествесканирующего иьтерферометра ФабриПеро.Известен сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное зеркалои подвижное зеркало, установленноена упругом элементе, связанном сосредством перемещения - приводом 11.Однако этот интерферометр позволяет обеспечитьлишь малые переме- .щения рабочих элементов интерферо"метра. с высокой линейностью и чувствительностью и имеет малую устойчивость к вибрациям в направлении,перпендикулярном к плоскости кручения,Кроме того, при сканировании, происходит смещение подвижного зеркала в 20плоскости отражающей поверхности,что вносит дополнительные ошибки визмерения.,Наиболее близким к предлагаемомуявляется сканирующий интерферометр, 2 ссодержащий два параллельных зеркала,одно из которых неподвижно, основание,расположенные на нем упругий цилиндрический элемент, на торце которого установлено другое зеркало, и 30 привод. Интерферометр содержит также ФПанец, соединенный с одним концом упругого гофрированного цилиндра с продольными гофрами, другой конец гофрированного цилиндра жесткозакреплен. Фланец с зеркалом связанс приводом 2).Недостатком этогоинтерферометраявляется то, что при передаче крутящего момента от привода на упругий гоФрированный цилиндр с помощьюэлементов, например тросика, на подвижное зеркало передаются несимметричные и переменные дополнительныевредные силы, действующие в радиальном направлении и возникающие вследствие неточностей изготовления.элементов привода. Вредные силы вызывают вибрации подвижного зеркала,нарушают параллельность зеркал илинейность сканирования, что приводит в конечном итоге к снижению точности сканирования,Цель изобретения - повышение точности сканирования.Поставленная цель достигаетсятем, что интерферометр снабжен сильфоном, установленным соосно с упругим цилиндрическим элементом, адинконец которого связан с основанием823847 Формула изобретения НИИПИ Заказ 2082/53 Тираж 642 Подписное Патент Филиа г,ужгород, ул.Проектная,через подшипник и кинематическисоединен с приводом, а другой соеди нен с упругим элементом,На чертеже изображена принципиальная схема сканирующего интерферометра. 5Интерферометр содержит основание2, расположенные ыа нем упругий ци"линдрический элемент 2, привод 3, неподвижное зеркало 4 в оправе 5, на 1 ружную обойму подшипника 6. На другом Оконце упругого элемента 2 смонтировано подвижное зеркало 7 в оправе 8.Сильфон 9, установленный соосно супругим цилиндрическим элементом 2,одним концом закреплен жестко к унругому элементу, другим к внутреннейобойме подшипника 6, которая связана кинематически с приводом 3,Интерферометр работает следующимобразом.Крутящий момент от привода 3 через подшипник 6 передается сильфоном9 упругому элементу 2. При скручиваниии меняется длина .угругого элемента и подвижное зеркало 7, закрепленное на его конце, перемещается относительно неподвижного зеркала 4.Подшипник 6 ограничивает радиальные перемещения сильфона 9, которыемогут возникнуть при передаче крутящего момента от привода. Небольшиеже радиальные и осевые перемещения,передающиеся от привода 3, воспринимаются и гасятся гофрами сильфона 9.Жесткость сильфона в радиальном иосевом направлениях незначительна,поэтому вредные силы воспринимаютсяподшипником сильфона и не действуютна упругий элемент 2 с подвижнымзеркалом 7. При скручивании сильфон обладает наибольшей, жесткостью и передает на упругий элемент только крутящий момент. Жесткость упругого элемента имеет наибольшую величину в осевом и радиальном направлениях, а на скручивание - незначительную.Таким образом, введение сильфона между приводом и упругим элементом позволяет исключить воздействие вредных сил на сканирующий орган интерФерометра.Кроме того, использование предлагаемого устройства в сканирующем интерферометре позволяет значительно повысить точность сканирования. Сканирующий интерферометр, содержащий два параллельных зеркала,одно из которых неподвижно, основание, расположенные на нем упругийцилиндрический элемент на торце которого установлено другое зеркало,и привод, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения точностисканирования, он снабжен сильфоном,установленным соосно с упругим цилиндрическим элементом, один конецкоторого связан с основанием черезподшипник и кинематически соединенс приводом, а другой соединен с упругим элементом.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 360561, кл, 6 01 Л 3/06, 1971.2.Авторское свидетельство СССР9 535453, кл. 3 01 В 9/02; 1975 (прототип).