Интерферометр для исследования качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей

ОПИЮИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскнк Социалистических Республик(51) М. Кл. С 1 01 В 9/О 087 с присоеднн (23) Приорит и заявк Государственный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий 78. Бюллетень 635(43) Опубликовано 25 (45) Дата опубликов ия описания 080 2) Авторы изобретен(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И ПРОЗРАЧНЫХ НЕОДНОРОДНОСТЕЙтительлоклнениыблоккартиИзобретение относится к измерительной технике, предназначено для исследования качества оптических элементов и прозрачных неоднородностей и может найти применение в 5 производстве, з.снятом изготовлением оптических элементов, а также при исследовании газов, жидкостей и других прозрачных сред.Известен интерферометр для иссле" 10 дования качества оптических элементов, содержащий источник света, осветительную систему, рассеивающую пластину, формирующую рабочий пучок, заполняющий всю апертуру исследуе о мого оптического элемента и узкий опорный пучок и систему наблюдения интерференционной картины 11 .Недостатком известного интерферометра являются большие потери света и невозможность высокоточного кОнтроля из-за аберраций, возникающих вследствие неидентичности пучков, используемых в схемах изготовления пластины.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для исследования ка" чества оптических элементов и прозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленные после" довательно по ходу лучей осве ную систему, светоделитель, б фокусировки пучка лучей, выпо й в виде сферического зеркала,наблюдения интерференционнойны и регистратор 2 .Однако неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействиям в известном интерферометре приводит к потере точности при контроле оптических элементов, а ограниченная апертура прибора, вызванная аберрациями светочувствительного элемента, приводит к понижению точности. Для повышения точности измерений светоделитель выполнен в виде плас" тины с центральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным в отверстии светоделителя под углом 90 к его поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающего компонента с положительной оптичес" кой силой.На чертеже дана схема прецлагаемого интерферометра.Он содержит источник 1 света, ос" ветительную систему 2, светоделительную пластину 3 с центральным отверс625132 Формула изобретения тием, в котором под углом 90 д к поверхности светоделителя помещеноплоское зеркало 4, блок фокусировки,выполненный в виде отражающего компонента 5 с положительной оптическойсилой, блок 6 наблюдения с регистратором (на Фиг. не показан) .Интерферометр работает совместнос исследуемой системой 7 и устанавливается(в зависимости от контролируемого объекта) либо в центре кривизны сферического зеркала, либо вФокусе исследуемого, объекта, установленного перед автоколлимационнойотражающей поверхностью,Принцип действия прибора представлен на примере исследования сферического зеркала. Свет от источника 1 16монохроматического света направляется на осветительную систему 2. Послевыхода из нее пучок светоделительной.пластийой 3 делится на дваопорный и рабочий. Опорный пучок, 20отражаясь от светоделителя 3, фокуси"руется на поверхности проверяемойсистемы 7, отражается от нее и проходит в блох 6 наблюдения.Рабочий пучок проходит светоделитель 3, попадает на отражающий компонент 5 и Фокусируется на поверхностизеркала 4 в автоколлимационной точке О, поступает на проверяемую сис-.тему 7 и обратно на отражающий компонент 5, светоделнтельную пластину,где объединяется с опорным пучком,и в блок 6 наблюдения.Образовавшаяся интерференционнаякартина характеризует качество поверхности системы 7. При контролепрозрачных неоднородностей проверяемая система 7 заменяется образцовойи вблизи иее помещается исследуемаясреда. Форма интерференционных полосможет регулироваться либо перемещением всего интерферометра относительно точки 0 центра кривизны системы 7, либо перемещением и наклонами отражательного компонента 5.Параметры и положение осветительной системы 2 выбираются такими,чтобы введший иэ него пучок собирался точно на поверхности проверяемой системы 7. Для осуществления этого, осветительная система имеет осевое перемещение вдоль оптической оси.Отражательный компонент 5 может быть выполнен в виде зеркала типа Манжена, либо в виде положительного объектива, работающего совместно с плоским зеркалом и имеющего перемещение вдоль оптической оси для фокусировки рабочего пучка в автоколлимационную точку О. Интерферометр для исследованиякачества оптических элементов ипрозрачных неоднородностей, содержащий источник света, установленныепоследовательно по ходу лучей осветительную систему, светоделитель,блок фокусировки пучка лучей, блокнаблюдения и регистратор, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповьадения точноси измерений, светоделитель выполнен в виде пластины сцентральным отверстием, интерферометр снабжен плоским зеркалом с отражающим покрытием, расположенным вотверстии светоделителя под углом90 к поверхности, а блок фокусировки выполнен в виде отражающегокомпонента с положительной оптической силой.Источники информации, принятыево внимание при экспертизе:1. Патент СШЬ Р 3799673,кл. 356-109, 19722. Техническое описание интерферометра ИТ, выпуск ГОИ.625132 казЦНИИ 88/35 Тираж 872 ПодписноеГосударственного комитета Совета Министровпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 лиал ППП фПатентф, г.ужгород, ул.Проектная,4 Составитель В,Горшковедактор Т.Шагова Техред К. Гаврон Корректор М